全球硅基OLED产业发展研究报告.docx

Mk半身体总示檀京 STNiXOCSTN4CD全球硅基OLED产业发展研究报告一、概述（一）发展背景自1897年德国K.F.布劳恩（KarIFerdinandBraun,1850年6月6日-1918年4月20日）发明阴极射线管（CRT,又称布劳恩管）以来，人类开始步入电子显示时代，此后的一百多年来，多种显示技术不断涌现，尤其是平板显示技术已深刻影响电子信息产业发展。到今天为止，平板显示技术在人们的工作、生活和学习过程中发挥着越来越重要的作用，是关系到国计民生的重要产业。而中国显示产业在近十余年的快速发展中，在全球显示产业中扮演着越来越重要的角色。到2022年，中国大陆地区TFT-LCD面板产能约占全球的65%,同时AMOLED、MiCrO-LED、硅基OLED产业等均处于快速发展阶段。图1平板显示技术分类平期显示接京（FPD）TN-UO资料来源：显示技术简明词典1 .显示技术加速迭代近百年来，显示技术的发展不断加速，电子显示产品的发展也大致经历了如下几个历史阶段：第一个阶段：20世纪50年代开始，随着CRT技术的产业化，黑白CRT和彩色CRT相继成为人们生活中最重要的显示设备，CRT技术风靡半个多世纪。第二个阶段：20世纪90年代，CRT技术、等离子显示(PDP)技术、液晶显示(LCD)技术并行发展。2000年后，随着液晶显示(LCD)技术的完善及具备相关技术优势，液晶显示技术在竞争中胜出，逐步成为市场上主流的显示技术。直到今天，液晶显示依然是最重要的显示技术。第三个阶段：进入21世纪后，随着电子技术、材料技术等学科技术的发展和生产工艺的日渐成熟，液晶显示不断往大尺寸化方向发展，有机电致发光显示(OLED)技术逐步实现产业化生产。同时，Micro-LED.硅基OLED(Micro-OLED)等技术快速发展，显示产业呈现百花齐放的发展态势。2 .硅基OLED技术优势硅基OLED(又称：OLEDOS、Micro-OLED),是以单晶硅作为集成式驱动背板而制作的前沿OLED显示器件。其主要工艺是将有机发光器件制作在已集成视频信号处理和像素驱动阵列的单晶硅集成电路芯片上，并为每个像素配备输出电流可控的CMOS晶体管和电荷存储电容，从而实现有机发光器件与CMOS电路相结合的技术。硅基OLED具有自发光、高分辨率、高对比度、高色域、大视角、响应快、发光效率高、功耗低、厚度薄、质量轻、体积小、易于携带等诸多优异特性。硅基OLED十分适合应用于近眼显示类智能设备，例如AR/VR、头戴式视频播放器、头戴式家庭影院、头戴式虚拟现实模拟器、头戴式游戏机、飞行员头盔系统、红外夜视仪、头戴式医疗救护与医用诊断系统等。图2硅基OLED结构示意图 KBWfc 动电跳 AMRI帐 OLFDJtMN 遗明阳辍（公大极） 巅色过仪彩色H示 保护*片资料来源：奥雷德表1几种显示技术性能对比对比指标LCDMicro-LED硅基OLED亮度3,OOOnit100zOOOnit100rOOOnit分辨率400PPI1,500PPIlz500PPI功耗高低低可视角度高高高寿命长氏长响应时间皂秒纳秒纳秒运行温度<0C100C-100-120-1001C-120C对比度5000:01:00OOCO.资料来源：MiCro-LED技术路线图（二）硅基OLED产业链概况1 .硅基OLED产业链硅基OLED产业链包含上游原材料，中游OLED面板制造以及下游OLED应用，其中上游包括硅基板、驱动IC、光胶显影材料、封装材料等；中游为硅基OLED微显示器面板的制造；下游则是各种终端应用产品。图3硅基OLED显示产业链示意图2 .硅基OLED参与企业硅基OLED问世以来，最初主要是欧美企业参与其中，其中包括1996年成立的美国eMagin,2007年成立的法国MICR00LED,2010年成立的德国德累斯顿微显示器有限公司(WD)等。eMagin产品2001年即应用于F-15E战斗机，F-35第三代头盔以eMagin提供的OLED微型显示器替代了原有的LCD微型显示器。2005年英国MicroEmissiveDisplays(MED)发布第一款商业化微显示器eyescreen,并商业出货。SONY于2011年发布了其首款0.5英寸XGA(1024×768)OLED微型显示器产品，并应用于其同品牌的A77、A65、NEX-7、NEX-5N等4款相机产品作为电子取景器用途。美国Kopin公司2017年首次引入OLED微型显示器，并于2018年开始提供2KX2K分辨率样品。国内最早进行硅基OLED产业化的是云南北方奥雷德，其于2008年注册成立。公司于2009年贯通生产线工艺，制备出了第一片全彩色OLED微型显示器样片，并通过了技术鉴定，其产品技术指标达到国际领先水平，2010年第一片合格产品下线，开始进入小批量试制阶段。近年来，国内有多家企业参与硅基OLED的技术研发与生产，主要包括合肥视涯、京东方、南京国兆、清越光电、芯视元、熙泰等企业。（三）技术难点硅基OLED的生产，包括阳极像素点制作、有机发光材料镀膜、薄膜密封、彩色过滤层制作、玻璃贴片、分选切片封装等工艺流程。图4硅基OLED生产工艺流程2、阳极像素点 制作3、竹机发光材4薄腰密封5、彩色过滋层6鼓第贴片 制作7.分选切片封 装8.测试检依硅基OLED产品生产的技术工艺中存在三大重要生产环节，同时也是三个技术上的难点。1、阳极制作工艺阳极制作工艺的优劣对于提升产品亮度及良品率具有非常重要的意义。阳极像素点制作系将金属阳极制作在硅片上，主要包括光刻、金属镀膜工序。光刻工序将显示器像素图形从掩膜版转移到硅片上,确定显示器尺寸大小和对位标记。金属镀膜工序完成金属阳极的蒸镀,起到连接硅片驱动电路和OLED有机发光层的作用。硅基OLED项目结合了半导体及面板显示两个领域。在整个硅基OLED微型显示器的制备过程中，阳极像素制备是基础。硅基OLED微型显示器像素点尺寸及像素间距较小，对于显示器像素点的制作工艺有很高的要求。硅基OLED微型显示器的像素点制作以光刻为主要技术手段，根据单元显示器像素结构排布图形及结构，制备满足产品分辨率的像素图形。光刻技术直接影响到显示器的像素点结构和质量,进而影响硅基OLED微型显示器的光电特性和寿命。单独使用半导体行业工艺或传统OLED行业工艺均难以实现稳定可靠的硅基OLED阳极制备。2、蒸镀工艺有机发光材料镀膜系在制作完阳极的硅片上蒸镀空穴传输层、发光层、电子传输层、阴极层在内的多层有机发光材料薄膜，是影响显示器产品性能的关键工序。蒸镀工艺将多层有机发光材料依次蒸镀至驱动背板晶圆，从而得到能够自发光的OLED器件结构。其有机发光材料的选择、蒸镀膜厚、结构的搭配直接决定了硅基OLED产品的亮度、色域、画面的均匀性等性能指标。3、薄膜封装工艺有机材料在大气环境中遇水容易失效，产品屏体密封效果决定产品可靠性以及产品品质。薄膜密封是指在硅片表面生成致密的薄膜,以达到阻挡水分子、氧气分子的作用，属于OLED微型显示器的关键工序，成膜质量关系到整个OLED微型显示器的寿命和良品率。密封工艺是影响全球OLED量产的重大关键技术难题。OLED一旦接触潮气和空气，有机发光膜将失去发光功能，如何根据OLED材料的特性，设计高效、低缺陷、高密度的薄膜密封技术来对OLED微型显示器进行有效密封，是制备硅基OLED微型显示器的关键问题。表2硅基OLED主要工艺环节及设备对良率的影响工艺环节工EiI样被避务及制白事的副已因未尤勤(Rff)工2光川工艺王要包含破控魅健健Hl设各PW).化竽气相汽积设缶(CVDh*九机、涿股显彩设,干注剂慢设番等Sm设番对产品的M王费是粒号物，的按，的导将船超出艘格会产生R示怠等IIKb导作失败JI光和濠岐艮能避啻H产品的箕主爨是关色尺寸的均一性和光道或本的蕾控，超出4m*M产品典O加及显示收累不均到惇设备川产品m主要是到倬购度及过程中产生的n当辕不鬟,归超出短格会器响产品阴极盛解的均A性.号数产品产生亮度不均相就不真苹健设爸属于蜃空设备，对产居的Ibg王要是H粒内量.81件TRl的修庾切为性的菅控，如超比规格妾便产品的显示黑点加从而导露a洋邑生标偏移及a件失依HltXSH装工艺主费包合写离子IVS阻化掌，相元股也官(re).*7SRtSft(AuO、以及用于彩色送比5制作的ACtlI舒*、光矶,清济设苗等.设备讨产品的要响王费是铮轲我的青投，加里超出要求，会导致产品的NiI包不良加，从Inl号*8件失效和色戏无区设”产品的彰王曹体现在有色法无区M料的制作餐量的拉，如果发生科科的创育及成IW均加至号超出量控要求，产品会出觌Ile及显示股果不均等.博体工2属体工艺王妻包含刀舱切副帆苓设青，由于采用亚垩村展厢保取71能成特W也商H产品的衣主98切副精度的拉，超出四格«聆费产鼻无法显示面薄府掩懵废程娟工艺模里工艺王妻包含邦定机台.用试电化设笛等常理微电设品安说各封产品的千$响,询何情*和,内艮悯射的不如垦篇出依格.资料来源：清越光电注：光刻（背板）工艺良率较低的原因：硅基OLED显示器PPI高达4,000-8,000,对工艺、环境洁净度的要求非常高，光刻（背板）工艺易受异物颗粒影响导致最终产品出现黑点不良。硅基OLED光刻（背板）工艺主要制作微显示器的阳极图形，包括阳极反射层、像素限定层和金属引线层，每个膜层的工序都须经过成膜、涂胶、曝光、显影、干法刻蚀和去胶6个步骤，由于易受异物颗粒影响，每道工艺都不可避免地产生一定的不良率。此外，硅基OLED的刻蚀环节需要刻蚀的膜层及工艺条件具有自身特点，比如光刻胶厚度不均在芯片制造中不会造成明显不良，而在硅基OLED则会导致点屏时出现局部显示不均（MUra条纹）等问题，导致不能直接沿用成熟的半导体制程，必须自行不断摸索、持续改进适合产品的生产工艺。因此相比其他工艺环节，光刻（背板）工艺环节良率较低。二、硅基OLED发展现状从目前国内外硅基OLED行业发展的现状来看，硅基OLED技术仍处于行业发展的初期，行业内具备大规模提供商用硅基OLED显示器的企业较少；但全球各大显示厂商均已在该领域进行了产线布局，其中美国eMagin公司和法国MicroOLED公司的产品主要应用于军事领域，日本的索尼公司则已将硅基OLED产品用于消费电子领域，尤其是应用于苹果最新发布的MR产品。国内如云南创视界光电科技有限公司、云南北方奥雷德光电科技股份有限公司、南京国兆光电科技有限公司、合肥视涯信息科技有限公司等已建成或加快建设8英寸或12英寸的硅基OLED微显示器生产线。区域发展概况国外对硅基OLED微显示器的研究较早，公司和研究机构也比较多，如美国的eMagin和KOPin、法国的MiCrOOLED公司、日本的索尼等公司以及韩国的汉阳大学、日本的九州大学等研究机构。欧美国家公司较早进入产业化阶段，随后日本索尼和众多国内企业参与其中。包括美国eMagin公司、英国MicroEmissiveDiSPlayS(MED)公司、德国FraUnhOferIPMS研究机构、法国、日本索尼以及奥雷德、京东方和视涯科技等硅基OLED企业。1 .欧美美国eMagin是最早将硅基OLED微显示器量产的公司，在2001年eMagin发布了世界上第一款VGA(640X480)单色硅基OLED显示器，用在手表屏幕上。其产品2001年应用于FT5E战斗机，F-35第三代头盔以eMagin提供的OLED微型显示器替代了原有的LCD微型显示器。2019年12月，eMagin公告的两项重大订单均为军用订单，其一为美国陆军ENVG-B(增强型夜视双目镜)项目。除军事用途外，eMagin还积极拓展工业检测、医疗器械等专业市场，并获得了苹果、Valve、LG等公司的战略投资。该公司在美国拥有晶圆工厂，主要服务于军方。2022全年营收达到3050万美元(约合人民币2.10亿元)。2023年5月，eMagin宣布，与三星显示器(SamsungDisplay)完成最终整合协议。三星以2.18亿美元价格收购eMagin,于2023年10月完成交易。MICROOLED成立于2007年，总部位于法国格勒诺布尔市。MlCRooLED于2011年发布其首款产品0.38英寸WVGA（800X480）0LED微型显示器，并于2012年发布0.61英寸产品。法国PhotonisTechnologiesS.A.S.与瑞士STMicroelectronics分别在2010年、2012年对Microoled进行了战略投资。Microoled的产品主要用于近眼显示系统，如电子取景器、视频眼镜、运动光学、军事用途及医疗器械等领域。2015年，Microoled宣布已售出超过15万颗o.38英寸Wvga微型显示器。2020年，Microoled宣布融资soo万欧元，加速消费级AR解决方案的研发。Kopin成立于1984年，总部位于美国特拉华州。Kopin是一家InT族半导体产品和微型平板显示器生产研发商，致力于创造、开发、制造及销售可穿戴技术（包括零部件与概念系统）及显示产品和设备，主要产品包括LCD、LCoS显示器及光学镜头、专用集成电路。2017年，KoPin首次引入OLED微型显示器，并于2018年开始提供2KX2K分辨率样品。同时，KOPin将OLED微型显示器与其PanCakeTM光学设计方案相结合，制造更为便携的VR系统。美国光芯科技于2023年1月从美国KopinCorporation分拆出来，专注于消费者增强现实和虚拟现实（AR/VR）的应用。美国光芯科技为AR/VR智能眼镜耳机的两个关键组件提供解决方案，其设计的高性能OLED微型显示器的硅基背板设计和轻薄的全塑料PanCaks光学器件，可将巨型的沉浸式图像从微型显示器投射到人眼。美国光芯科技已经从美国KopinCorporation获得相关知识产权的许可，包括背板和PanCake”光学器件的专利和设计。德国弗劳恩霍夫有机电子、电子束和等离子体技术研究所(FraunhoferFEP)是一家领先的国际研究机构，致力于开发电子束和等离子体技术以及有机电子和光电子领域的工艺和技术。2021年，FraunhoferFEP公布分辨率为QVGA320X240级别的双色硅基OLED屏。在SIDDisplayWeek2023上，FraunhoferFEP展示了多个微型显示产品，其中包括号称当时世界上最小像素尺寸(2.5m)的最新OLED微显示器。2 .中国近年来，国内多家企业参与硅基OLED技术的研发与生产，其中最早介入该领域生产的是云南北方奥雷德。云南北方奥雷德云南北方奥雷德光电科技股份有限公司是由昆明物理研究所等五家研究所及云南省投资控股集团有限公司、云南冶金集团股份有限公司、上海索酷图像技术有限公司等8家单位投资组建，于2008年5月12日完成工商注册。公司于2009年5月14日贯通生产线工艺，制备出了第一片全彩色OLED微型显示器样片，并通过了技术鉴定，其产品技术指标达到国际领先水平，2010年3月第一片合格产品下线，进入小批量试制阶段，2017年销售收入突破1亿元。经过持续创新和刻苦攻关，公司已成为能够批量生产和销售AMOLED微型显示器的专业厂商，使中国成为继美国之后，全球第二个掌握AMOLED微型显示器研发技术及批量生产的国家。目前公司可以提供WVGA/SVGA/SXGA分辨率的彩色、白光和高亮绿光AMOLED微型显示器系列化产品及模组，产品广泛应用于观察、头配、监视、模拟训练系统以及工业检测、医疗器械、AR/VR/MR.消费电子等领域。国兆光电国兆光电成立于2019年，总部位于南京。国兆光电由南京电子器件研究所（中国电子科技集团有限公司第五十五研究所）牵头设立。公司建立了完整的硅基OLED工艺生产线，具有完备的驱动芯片设计、器件工艺、封装、硬件开发等硅基OLED微型显示技术体系，多次获得省部级荣誉称号。现已拥有硅基OLED微显示方面的专利50余项,覆盖芯片设计、器件工艺、硬件开发等。公司现有SVGA、XGA、SXGA.FHD系列硅基OLED微显示器件，尺寸包括0.36英寸、0.39英寸、0.60英寸、0.61英寸、0.77英寸、0.96英寸，分辨率从800X600到1920X1080,具有功耗低、体积小、分辨率高以及温度工作范围宽等优点，同时可为客户提供定制化的产品和服务。公司产品主要应用于智能眼镜、电子取景器等行业，消费类的近眼显示应用系统以及其他需要微型、高分辨率显示的应用领域等。目前其新的12英寸硅基OLED产线正在建设中。合肥视涯合肥视涯成立于2017年，总部位于合肥。合肥视涯硅基OLED微型显示器生产线于2019年11月投产，此前L03英寸2.5K×2.5K分辨率与0.72英寸1920X1200分辨率两款产品已于2019年7月点亮。2020年11月，合肥视涯技术有限公司宣布完成了首次批量订单的交付。2022年8月25日，大疆发布全球首款采用硅基OLED屏幕的消费级FPV飞行眼镜Goggles2,采用视涯研发和生产的0.49英寸1920X1080MiCrOoLED微型显示屏。目前视涯已推出0.32、0.4、0.49、0.57、。62、072、083、L03英寸等多款显示屏。1.03OLEDoS分辨率2560×2560亮度1800nits对比度500,000:1色彩FullRGB接口MIPI视涯L03英寸产品湖畔光芯湖畔光芯（湖畔光电子公司）成立于2022年5月，由湖畔光电和美国KOPIN共同发起设立，公司位于中国宜兴环境保护科技园区，主要从事大尺寸超高清、高亮度硅基OLED微显示器的研发和生产，是目前全球唯一一家能够生产1.31英寸超高清、高亮度硅基OLED微显示器的企业。产品主要应用于VR/AR智能眼镜，具有大尺寸、高分辨率、低功耗、高刷新率等优势。2023年5月24日其12英寸产线开工建设，一期工程总投资超过30亿元，用地面积7.93万平方米,总建筑面积10万多平方米。新建成的两条12英寸硅基OLED微型显示器生产线年产量将达到900万片1.31英寸OLED微型显示器。第一条生产线将于2024年10月份投入试运行,2025年1月份正式投产。第二条生产线预计2025年底投产。2023年5月16日，湖畔光芯宣布与松下电器达成合作。此前，湖畔光芯已与松下以及美国lightingsilicon公司三方建立长期战略合作关系，松下新一代的智能VR眼镜产品MeganeX已搭载湖畔光芯的第三代硅基OLED显示器，产品预计将在2023年上市。昆山梦显昆山梦显电子科技有限公司（以下简称“梦显电子”）成立于2018年，是苏州清越光电科技股份有限公司（原为昆山维信诺科技有限公司，以下简称“清越科技”）的控股子公司，在昆山建有一条硅基OLED8英寸生产线。梦显电子已开始向客户批量出货硅基OLED产品，2022年度实现营业收入为480.67万元，目前正在逐步提高产品出货规模。梦显电子母公司清越科技于2022年12月28日正式登录科创板，股票代码：688496o清越科技IPO共募资超过8亿元，根据清越科技招股说明书记载,拟将所募资金中1.5亿元用于硅基OLED显示器生产线技改项目。安徽熙泰安徽熙泰智能科技有限公司成立于2016年，位于安徽省芜湖市，致力于为全球用户提供优质的硅基OLED微型显示器产品及技术支持。2022年11月14日，熙泰科技全资子公司芜湖微显智能科技有限公司12英寸硅基OLED微显示模组项目厂房封顶仪式举行。芜湖微显项目设计月产能1.8万大片12英寸晶圆，包含硅基OLED微显示屏生产及模组制造，预计2023年年底实现首片产品点亮。项目封顶标志着熙泰科技将成为同时拥有“8+12”英寸微型显示屏及配套模组生产线的微显示制造企业。2023年5月，熙泰科技在SID显示周上推出多款硅基OLED微显示屏。最新推出的1.03英寸微显示屏，分辨率2560×2560,MIPl标准视频接口，亮度超2500nit,功耗较同尺寸同亮度产品降低40%以上。此外还展示了0.49英寸(1920X1080)、0.39英寸、0.6英寸等硅基OLED显示屏。高性能0.49英寸、4K1.2英寸、L42英寸、L7英寸产品持续开发中，预计2023年下半年至2024年相继亮相。云南创视界2017年，京东方与奥雷德、云南省滇中产业发展集团、高平科技合作，共同投资IL5亿元人民币在云南省昆明市建设国内首条大型OLED微显示器件生产线项目，成立昆明京东方显示技术有限公司(现名为“云南创视界光电科技有限公司”),从事OLED微显示器件的生产、销售及研发。云南创视界光电8英寸硅基OLED生产线于2019年8月实现量产。2019年12月26日，京东方发布公告，为满足AR/VR高端市场需求，提升项目公司竞争力，拟投资34亿元，用于12英寸OLED微显示器件生产线建设。设计产能：12英寸晶圆每月投入量1万片，主要产品：0.99英寸、1.31英寸OLED微显示器件，计划分三阶段实施。项目第一阶段由公司自有资金进行投资，2021年起已实现小批量量产出货，2022年实现稳定交付，正常运营中；项目第二阶段及第三阶段暂未安排启动。2023年5月，京东方L3英寸4K(3552X3840)MicroOLED显示器于SIDDisplayWeek首发亮相。2023年10月31日，京东方公告称拟将“对云南创视界光电增资并建设12英寸硅基OLED项目”的承诺投入募集资金金额100,000.00万元变更至“京东方第6代新型半导体显示器件生产线项目”。南京芯视元南京芯视元电子有限公司是一家专注于智慧显示芯片研发的公司，公司产品主要有硅基LCoS微显示芯片、硅基MiCroOLED微显示芯片、硅基MiCrOLED微显示芯片，国内完全自主研发硅基微显示芯片，批量提供硅基LCOS微显示芯片、硅基MiCrOOLED微显示芯片、硅基MiCroLED微显示芯片的厂商，公司产品广泛应用于5G光通信WSS>AR/VR眼镜、头盔显示、车载HUD>3D打印、全息成像、空间光调制器等新兴领域。目前公司硅基微显示系列产品包括0.26英寸、0.39英寸、0.52英寸、0.69英寸、0.37英寸等多种规格的LCoS屏,在硅基OLED、硅基MierOLED和硅基MiCrOQLED领域可批量提供驱动背板。芯视佳深圳市芯视佳半导体科技有限公司成立于2020年，是一家专注于硅基OLEDIC设计及硅基OLED微显示屏研发制造的创新型科技企业。2023年6月17H,芯视佳12英寸硅基OLED产业园项目在安徽淮南市高新区正式开工。项目总投资65亿元,其中一期投资15亿元，项目占地面积198.7亩。规划月产能达4000片晶圆，主要生产硅基OLED微显示屏，应用于AR/VR等领域，预计年产值达35亿元。两期完成投产后产值预计可达100亿元以上。项目计划于2024年7月份将搬入设备，12月份点亮产品，2025年正式进入量产阶段。3 .日韩地区索尼2015年10月，索尼宣布将半导体、电池及存储媒体业务独立出来成立半导体解决方案公司，其下属熊本技术中心负责OLED微型显示器相关业务。SONY于2011年发布了其首款0.5英寸XGA(1024X768)0LED微型显示器产品，并应用于其同品牌的A77、A65、NEX-7、NEX-5N等4款相机产品作为电子取景器用途。2014年，SONY推出了0.23英寸nHD+(640X400)微型显示器，主要用于可穿戴设备，已应用于其同品牌的智能眼镜产品；其720P的微型显示器已应用于ODG公司的AR眼镜。2023年6月，苹果发布首款头显产品一一AppleVisionPro,索尼为AppleVisionPro供应WOLED+CF方式的硅基OLED屏。2023年8月，索尼宣布将发布一款大尺寸、高分辨率的1.3英寸OLED微型显示器ECX344A,其4K分辨率有助于重建更真实的空间显示。目前，XREALAir2Pro智能AR眼镜、RokidMaxAR眼镜、小米AR眼镜等产品均搭载索尼硅基OLED屏。爱普生爱普生在OLED相关技术上有近20年的研究，已推出了多款搭载爱普生硅基OLED的智能眼镜。Epson推出的VM-40AR光学模组搭载0.453英寸1920X1080的硅基OLED屏。三星2022年初，三星显示曾表示公司正在开发MicroOLED显示器,项目正处于早期开发阶段，公司将在2023年开始建设第一条生产线,2024年量产硅基OLED显示器，并在2025年扩大产能，以便在2026年实现全面商业化。2022年12月，韩媒报道称三星已开始为300毫米中试生产线订购设备，设备供应商拟为SFAEngineering和APSystems,生产线将位于韩国牙山的三星A2工厂，三星希望产线在2023年第一季度收到首台设备，并将在2023年底开始量产，月产能为6,400片晶圆，2024年产线开始全面生产。2023年5月，eMagin宣布与三星显示器达成最终合并协议，三星显示将以2.18亿美元价格收购eMagino1.GDisplay2023年2月，韩媒报道称，Meta将与SK海力士和LGDisplay合作开发用于AR/VR头显的硅基OLED,Meta主要负责半导体设计，SK海力士负责晶圆生产，而LGDisplay则完成将OLED沉积在晶圆，并将其切割成硅基OLED面板的最后一步。2023年7月消息称，LGDisplay已经进入VisionPro硅基OLED供应链，打破了索尼独供的局面。关于SK海力士的晶圆产线，其京畿道利川总部共有3条DRAM生产线，分别是MIO、MI4、MI6。计划为硅基OLED生产晶圆的生产线是Mlo线，该生产线以12英寸晶圆为基准，每月可生产10万片。如果产品开发顺利进行，从2025-2026年将开始将每月生产3万块。另外，预计团队将利用28nm或45nm工艺节点生产硅基OLED晶圆。三、硅基OLED发展趋势(一)全球硅基OLED市场规模硅基OLED的应用，主要体现在军用领域与民用领域两方面。目前硅基OLED微型显示器在军事用途的应用主要包括瞄准、观察系统，头盔系统和模拟训练系统三个部分。首先，最主要体现在瞄准、观察系统中，每套红外热成像仪、枪支和火炮瞄准系统需要2个硅基OLED微型显示器；其次，头盔系统作为数字化士兵必要的信息装备，其市场规模有望快速提升；最后，硅基OLED微型显示器的另一军事用途是模拟训练，可取代目前应用较多的大屏幕模拟训练系统。军工产品对硅基OLED产品性能要求主要在于高可靠性。目前美国的eMagin、法国的MiCroOLED,以及国内厂商中的云南奥雷德、南京国兆光电的产品均主要面向军工产品。在民用领域方面，硅基OLED可以应用于AR、VR、可穿戴设备、数据取景器等领域。硅基OLED显示作为半导体和OLED结合的一种新型显示技术，将是VR/AR等下一代智能穿戴显示的主要方案之一。受益于AR等市场的兴起，硅基OLED产业在未来几年将迎来高速成长期。据Omdia的预测数据，到2026年全球硅基OLED产值可超过7.8亿美元。图6硅基OLED产值预测皂球硅基OLED产值规模（百万美元）（二）技术竞争格局在近眼显示、超高分辨率显示技术方面，还有另一种重要的显示技术一一Micro-LED技术，可广泛应用于手机、平板、笔记本电脑、电视、AR/VR设备、户外显示器、抬头显示器（HUD）等几乎目前所有的显示应用领域。表3近期部分AR/VR产品显示技术情况资料来源：迪思普研(DSResearch)在AR这一领域，硅基OLED技术与MiCrO-LED为竞争关系。回顾近期发布的AR产品，两者各有应用。如6月份苹果公司发布的MR产品，正是使用了硅基OLED这一技术产品。ARdisplayshipmentsharebytechnology与使用无机物发光原理的MiCro-LED相比,有机发光的硅基OLED在产品寿命和发光亮度方面均存在一定不足。从长远来看,Micro-LED在大尺寸、小尺寸显示上均有其巨大的优势，随着MierO-LED技术的不断成熟，将逐步超过硅基OLED的出货量，成为更主流的显示技术。