半导体晶圆工艺制程关键设备及关键配件项目环评报告表.docx

建设项目环境影响报告表（污染影响.）项目名称：半导体晶圆工艺制程关键设备及关键配件项目建设单位（盖章）:英凌半导体新材料（潍坊）有限公司编制日期:中华人民共和国生态环境部制一、建设项目基本情况建设项目名称半导体晶圆工艺制程关键设备及关键配件项目项目代码2211-370783-04-01-594895建设单位联系人联系方式建设地点山东省潍坊小寿光小稻田镇王望三村东300米地理坐标（东经118°56'32.95”,北纬36°49'7.17”）国民经济行业类别C3051技术玻璃制品制造：C3562半导体器件专用设备制造建设项目行业类别57玻璃制造304;玻璃制品制造305中的“特种玻璃制造；其他玻璃制造；玻璃制品制造（电加热的除外；仅切割、打瘠、成型的除外）”70采矿.、冶金、建筑专用设备制造351;化工、木材、非金属加工专用设备制造352;食品、饮料、烟草及饲料生产专用设备制造353;印刷、制药、日化及日用品生产专用设备制造354;纺织、服装和皮革加工专用设备制造355;电子和电工机械专用设备制造356；农、林、牧、渔专用机械制造357;医疗仪器设备及器械制造358;环保、邮政、社会公共服务及其他专用设备制造359中的“1”建设性质口新建（迁建）口改建扩建技术改造建设项目申报情形0首次申报项目口不予批准后再次申报项目超五年重新审核项H口重大变动重新报批项目项11审批（核准/备案）部门（选填）寿光市行政审批服务局项目审批（核准/备案）文号（选填）2211-370783-04-01-594895总投资（万元）100OO环保投资（万元）86环保投资占比嘉）0.86施工工期6月是否开工建设0否是：用地（用海）面枳（m2）无（不新增）专项评价设置情况无规划情况稻田镇工业产业园总体规划（2021-2035年）：关于同意设立稻HI镇工业产业园的批受（寿政函202013号）;4关于同意调整稻田镇工业产业园的批复（寿政函202228号）。规划环境影响评价情况环境影响评价文件名称：稻田镇工业产业园总体规划（2021-2035年）环境影响报告书召集审查机关：潍坊市生态环境局寿光分局审查文件名称及文号：关于稻田镇工业产业园总体规划（20212035年）环境影响报告书的审杳意见（寿环审字（2023）23号）规划及规划环境影响评价符合性分析一、规划符合性分析依据（寿政函202228号）批复文件，稻田镇工业产业园设置6个板块:（1）稻田工业园、（2）稻田食品产业园、（3）芳林院村集成装配式房屋及配套设施园区、（4）稻田镇丹河工业聚集区、（5）稻田镇田马工业聚集区、（6）稻田镇建材工业聚集区，本项目位于寿光市稻田镇王里三村东300米，在稻田镇工业产业园“稻田食品产业园”板块内.二、规划环境影响评价符合性分析1、本项目属于C3051技术玻璃制品制造、C3562半导体器件专用设备制造，不在稻田镇工业产业园禁止准入清单内，符合园区产业定位。2、环境准入清单：表1-1寿光市稻田镇工业产业园规划环境准入清单项目措施内容本项目情况符合性项目准入条件(1)入区项目必须符合国家产业政策与园区产业发展规划、产业定位，优先引诳产业结构调整指导目录中的鼓励类项目、有利于促进区域资源深度转化和综合利用、有利于产业链整合延伸、实现产业集群、集聚、集中发展的项目。(2)选界入驻企业时应从产业园的实际情况及规划主导产业、总体布局等方面入手，依照园区产业定位，遵循有利于发展生态产业、构建循环经济虢网体系的原则：禁止高污染、高耗能、高资源消耗和高环境风险项目入区，限制产能过剩项目入区.(3)产业因应实行污染物排放总股控制制度，把二氧化硫、疑氧化物.颗粒物、挥发性有机物等主要污染物排放总fit指标作为建设项目环境影响评价审批的前置条件，实施总量平衡和消减,鼓励通过结构调整、产业升级、循环经济、技术创新和技术改造等措施，减少园区污染物排放总At确保建成后该项H和产业园各类污染物排放总Iit符合总t控制要求.(4)所有入区建设项目必须依法开展环境影响评价，并经有审批权限的环保主管部门批准.对未通过环评审批或不符合法律法规和技术标准的项目，律不得开工建设。对于涉及使用危化品原料的项目必须把环境风险评价作为其项I1.环评的噌要内容，并提出有针对性的环境风险防控指源(5)产业园管理部门应推进区内企业的技术创新和技术改造，采用消洁生产技术及先进技术装备，降低电位产M的能耗、物耗和战少污染物的产生与排放.禁止入园企业采用落后的生产工艺、技术、设备,对于M评预测污染严重、不能稳定达标、危废不能落实安全的处理处置途径的生产项目，坚决禁止进入产业园。(D拟建项目符合国家及地方产业政策、届犷业结构调整指导目录P冲的鼓励类和允许建设项目：(2)拟足项目不属于高污染、高耗能、商资源消耗和高环境风险项目，符合产业园定位；(3)拟建项目排放污染物经环保措施处理后排放G较少无需申请总量：(4)拟建项目正依法开展环境影响评价并经有审批权限的环保主管部门批准，本项目环境风险识别氧气和无水乙酹等风险物®i,并提出环境风险防控措施：(5)本项日为半导体晶圆工艺制程关键设备制造，不属于落后产业。符行业准入条件(1)鼓励能流利用效率高，污染物排放收少，投入产出高的项目：采本项目届于4产业结构通符合用环保生产工艺，使用清洁能源，严格按照环保要求处理废水、废气、噪由和固体废物，达到环保规定的污染物排放标准和排放总量要求的项目.符合产业园发展方向和定位的高附加值企业.（2）允许在满足环境容量的前提E.符合国家的产业政策，且寿光市人民政府允许建设的机械制造、塑料、医药及服装纺织、工艺品加工、家具生产项目：废水等主要污染物排放员不憎加的食品加工项目：产能不增加的造纸项目：属于产业园主导产业上、下产业链项目。污染物排放少，经济效益好，对环境影响小的项目，（3）禁止新建电镀、化工以及其它污染严垂、能耗高的项目；涉及-,类或金属污染项目：新增污染物排放的造纸项目：其他“高污染、而耗水、高耗能、冏磁、低产出”的4户项目。整指导目录（2019年本）3鼓励类和允许建设项目,不属于“高污染、高耗水、高耗能、高风险、低产出”的生产项目：蛛、叭噪声和固体废物，达到环保规定的污染物排放标准和排放总量要求。环境准入条件优先准入园区近点引进无污染或低污染、工艺先进、技术创新、规模适中、效益好的项目，严禁生产方式落后、产品质观低劣、环境污染产戒的项目进入园区,优先进入行业应满足：能够提升规划区的内产业结构：能螭适合区域产业发展特点：能塘有效提高资源利用率：有助于形成区域性的产业链：三t入园项目，应按国家“十四五”环保规划要求配符相关环保设施项目.除列出的禁止进入行业外，其他国家产业政策禁止类的行业一律禁止进入园区本项目属于产业结构调整指导目录（2019年本）鼓励类和允许建设项目，不属于“高污染、高耗水、高耗能、高风险、低产出”的生产项目.不属于规划区禁止进入行业和其他国家产业政策禁止类的行业，项目的建设有助于提升规划区产业结构.符合禁止准入禁I上新建国家产业结构调整指导目录冲限制类、淘汰类产业才外商投资产业指导目录P中限制类、禁止类产业。不符合行业准入条件及行业规范条件的.排放异味或高浓度有机废气，且不能有效处置的项目.其他符合性分析1.产业政策符合性分析根据国家发改委第21号令公布的工产业结构调整指导目录（2019年本）3（2021年修订）,本项目石英制品制造属于鼓励类中“二十八、信息产业”“22半导体、光电子器件、新型电子元器件（片式元器件、电力电子器件、光电子片件、敏!3元片件及传感器、新型机电元件、高频微波印制电路板、高速通信电路板、柔性电路板、高性能覆铜板等）等电子产品用材料”；半导体用常压、低压炉体和扩散设备制造不属于“鼓励类、限制类、淘汰类”范围内，属于允许建设项目。木项目的建设符合国家产业政策.2,选址合理性分析本项目位于寿光市稻田镇王望三村东300米（项目地理位置见附图1）,在稻田忸工业产业园“稻田食品产业园”板块内，项目用地类型为工业用地，符合寿光市土地利用总体规划。项目地势平坦,通讯畅通,交通便利，选址合理。3、与馥坊市“三线一单”更新成果报告（2022年8月）主要内容符合性分析。表卜2号£谶坊市“三线一单”更新成果报告（2022年8月）符合性分析I1.倒1«更新后主要内容本项目情况符合性生态保护红线调整后潍坊市隔域生态保护红线总面秒为842.25k11r,占全市国上面积的5.2%,海洋生态保护红线总面积为280.61k11f,其中，陆域生态保护红线询整涉及19个环境要素分区：海洋生态保护红线调整涉及5个环境对素分区。本项目所在地不在生态保护红线范围内.符合环境质量底线1.大气环境质量目标到2025年，全市实现空气质量全面改善，全市PM5年均浓度达到40gm2（依据:潍坊中“十四五”生态环境保护规划）2.水环境质量目标到2025年,水环境班量稔步提升，省控及以上断面优良（达到或优于川类）比例达到35%,市控及以上断面劣丫类水体比例全面消除，县级及以上城市饮用水水源地全部达到In类（依据:魂坊市“卜四五”生态环本项目营运期主要污染物类别为废气、废水、固废、噪声,通过采取有效的污染防治措施后,各污染物排放满足相关符合境保护规划、潍坊市“十四五”水生态环境医护规划)3.近岸海域环境侦地目标至J2O25年，海洋生态环境稳中向好，近岸海域水质优良(一、二类)比例达到59.3%左右、劣丫类海水水质面积下降，主要入海河流国控断面实现消劣.(依据：海坊市”I四五”生态环境保护规划、潍坊市“卜四五”海洋生态环境保护规划)-1.土堆环境风险管控底线到2025年，土壤安全利用水平巩固提升，受污染耕地安全利用率完成省卜达目标，小点建设用地安全利用得到有效保障。(依据：彼坊市“卜四五”生态环境保护规划)排放标准要求;厂界噪声符合,工业企业厂界环境噪声排放标准(GB12348-2008)中2类标准要求.项1：1建成后对冏围环境影响较小.资源利用上线1 .水资源利用上线到2025年，全市年供用水总局控制在24.95亿立方米以内,农业用水比方米中有降。水资源利用效率和效益显著提高，万元国内生产总假用水量较2020年卜降9.98%.万元工业增加值用水量较2020年降低5%.农田灌溉水有效利用系数提高到06645以上,(依据：潍坊市“十四五”水利发展规划报告(2021-2025)2 .他源利用上线严格落实能源消耗总量和强度双控制度，完成省下达的能滁消费总设控制目标e煤发消纽总址压减10%左右，完成省下达的压减煤炭指标0”再生能源消费总量达到600万吨标掂煤，可再生能源电力装机总容量达到1300万千瓦，力争突破1500万千瓦以上。(依据：谶坊内能源发展“十四五”规划、潍坊市可再生能源发展“I四五"规划)本项目运营过程中消耗一定的电能、水资源等,项目资源消耗量相对尸区域资源利用量较少，符合资源利用上线要求。符合生态环境潴入清单1.空间布局约束(1)严格执行高耗能、高污染和资源型行业准入条件,提而异味、恶臭行业准入门(2)生产建设项目选址、选线应当避it水上流失Ig点侦防区和苴点治理：无法避让的，应当提高防治标准,优化施工工艺,战少地衣扰动和植被损坏范困，有效控制可能造成的水土流失.(3)从严审批高耗水.Ifii污染物排放、产生有毒有杏污染物的建设项目,对造纸、化工、化纤、印染,钢铁、焦炭等重点行业以及饮用水源汇水区域等般感区域实行新(改、扩)建项目主要污染物挂放总法然n置换或倍量置换。加强涉水企业管理，禁止无证排污或不按许可证规定排污.(4)全面开展“放乱污”企业及集群综本项目不属于高耗能、芮污染行业；项目用地属于工业用地，符合用地规划；建设项目选址、选线不在水土流失更点预防区和理点治理区内：本项目主要污染物实行排放总量减St置换或倍量置换：本项目不符合合整治行动.列入关停取缔类的，做到“阑断三消"；列入整合搬迁类的，按照产业发展规模化、现代化的原则，搬迁至工业园区并实施升级改造：列入升级改造类的，实施消洁生产技术改造。(5)严格落实排污许可制度。影里集中厂区污水处理设施出水挖定达标的纳管企业要限期退出。新建工业企业排放的含重金郁难以生化降解污染物或将盐腹水不揖接入城市生活厂区污水处理设施。6严格落实山东省化工产业安全生产转型升级专项行动总体方案要求，对进区入园企业产格把关，杜绝高旄耗'高污染、高风险项目进入化工园区：产把技改项目立项审批关,加强事中事后监管,对违规企业依法予以关停.属于“散乱污”企业。建设项目投入生产前办理排污许可并严格执行.2.污染物排放管控(1)持续推进大气污染源综合整治，深化火电、钢铁、锅炉等m点污染源治理.，强化工业挥发性有机物、异味、黄饮油烟、城市扬尘以及机动乍尾气治理，实施分阶段逐步加严的大气污染物排放标准。(2)加强工业废物处理处置。全面整治粉煤灰、工业副产石膏、冶炼渣以及脱硫、脱硝、除尘产生固体强物的堆存场所.对电子废物、废轮胎、废果料等再生利用活动进行清理整顿，规范再生资源行业企业生产经营行为.(3)推动固体废物战量化、资源化、无害化进程，逐步实现原生垃圾零填埋.加强危险废物和固体废物污染防治，推进危险废物规范化管理，确保危险废物安全处理率达到100%。(4)实施最严格的全过程环境监管措施，严防危险废物非法转移、处置。严格把控危险废物跨省处置(5)实施VOCS排放总量控制。严格执ifVOCs行业和产M标准。全面推进低VoCS含量涂料、油墨、股粘剂、清洗剂等原辅料使用.禁止建设生产和使用高VoCS含fit的溶剂型涂料、油墨、胶粘剂等项目.项目煮靖、涂蜡、粘蜡工序产生的YoCS收集后经二级活性炭处理后通过15m高排气筒PI排放：酸洗产生的酸性气体收集后经酸雾净化塔处理后通过15mIII：气筒P2排放；喷砂产生的颗粒物收集后经布袋除尘器处理后通过I5M高排气筒P3排放：物料储存、转移和输送、工艺过程尽可旎全密闭化管理，减少无组织排放.一般固废暂存于一般固废区，收集后外生综合利用:生活垃圾委托环卫部门定期清运：危险废物新存于危废钝存间，委托有资质的单位处理.3.环境风隐防控（1）建设由污染应急监控平台，加强用污染天气应急联防联控,产格按照，型污染天气应急预案X谶坊市静您型污染天气应急预案3要求，发布电污染天气预警并启动应急响应,推动应急减排措磁落实到位»本项目籽严格按照重污染天气要求进行相应的停产、限产。1,资源开发效率要求.（D能耗指标管理,在做好单耗强度控制和考核基础上，实行能耗总量控制。电点耗能行业能源利用效率达到或接近国内先进水平,新建Jfii耗能项目单位产品（产值）能耗达到国际先进水平。实施非化石能源倍增行动计划,因地制宜规模化发展风能、太阳能、生物质能等.除民生热电外，原则上不再新增燥电规模.严格执行中华人民共和国节约能源法对达不到强制性能耗限额标准要求的产能予以限期整改，整改未达标的依法予以关停。依法淘汰幺产业结构网整指导目录中属于淘汰类的生产工艺装备或生产落后产M的装宽，持续加强监管。（2）干格执行4国务院关于实行最严格水资源管理制度的懑见3规定，加强地下水资源保护.3.推行清沽生产，实施垂点企业强制性清沽生产审核，促进资源循环踪合利用.在能源、冶金、建材、有色、化工、电镀、造纸、印染、农副食品加工等行业，全面推行清洁化生产或园区循环化改造，本项F1.为非贰点耗能行业，不使用产业结构谢整指导目录X2019年）中淘汰类的牛.产工艺装需或生产落后产品的装置.4、与生态环境管控要求符合性分析。拟建项目位于潍坊市寿光市稻田慎，根据42022年度潍坊市“二级一单”调整更新成果3（潍环委办发2023M号）环境管控单元划分，本项目所在的稻田镇属于般管控单元，环境管控单元编码为ZH37078330001（详见附图）,生态环境管控要求符合性见下表：表1-3与生态环境管控要求符合性分析内$文件要求本项目情况*情况空1.殷牛:态空间内严格按照自然牛.态本项目位于符合间布局约束空间用途管IM办法（试行）执行，原则上按照限制开发区域管理。2.新、改'扩建项目，满足产业准入、总量控制'排放标准等管理制度要求的前提下，原则上实行工业项目进工业园或聚集区，集约高效发展.严禁钢铁、水泥'平板玻璃、电解稻、焦化、铸造等行业新增产能,对确有必要新建的必须实施等量或减量置换-3.该单元内仃县级批受园区，应按照园区的准入条件、行业准入规范及国家、省、市、县的相关要求确定入园项目.寿光市稻田慎工业产业园内,不属丁高耗能、高污央行业,符合园区准入条件。污染物排放管控1 .严格执行国家及我省相关排放标准要求，二弱化破、效氧化物、烟粉尘、挥发性有机物排放量不得超过区域允许持放量.2 .落实普适性水环境治理要求，加强污染预防,保证水环境质量不降低。本项目排放废气从严执行相应排放标准,废水经厂区污水处理站处理后达标排入寿光鑫河水务有眼公司污水处理厂。符合环境风险防控1.当预测到区域将出现垂污染天气时，根据预警发布按级别启动应急响应措施.实施辖区内应急减排与差异化管控.企业将根据卡污染天气要求进行相应的停产、限产等要求。符合资源开发效率要求1.在地下水超采区内,除居民生活用水与应急供水外，严禁新增地卜水取水量.确需取用地卜冰的在现有地卜水开来总量控制指标内调剂解决并逐步削减地卜水开采量。到2025年,地卜冰超采区基本消除，地卜水生态得到改善。公司响应区域管控要求项目用水由供水管网提供，不开采地下水。符合5、与山东省深入打好戴天保卫战行动计年）符合性分析,详见表合4.表17与山东省深入打好蓝天保匕战行动i符合性一览表划(20212025I划(20212025年)山东省深入打好黄天保卫Itt行动计划（2021-2025年）与本项目有关的要求本项目情况实施低VOCS含量工业涂料、油墨、皎枯剂、消洗剂等原辅料使用替代.新、改、扩建工业涂装、包装印刷等含VOCS原辅材料使用的项目，原则上使用低（无）VOCs含本项目选用低VoCS挥发原料,废气收集效率9符合at产品.2025年年底前.各市至少建立30个替代试点项目.全省溶剂型工业涂料、溶剂型油墨使用比例分别降低20、15个百分点，溶剂型胶粘剂使用量下降20%,2021年年底前，完成现有VOCs废气收奥率、治理设施同步运行率和去除率排查工作,对达不到要求的收集、治理设施进行更换或升级改造0%,环保设备处理效率90%,收集、治理设施符合要求。加强施匚扬尘精细化管控建立并动态更新施工工地清单.全面推行绿色施工,将扬尘污染防治费用纳入工程造价,各类施工工地严格落实扬尘污染防治措施其中建筑施工工地严格执行“六项措施”。规模以上建筑施工工地安装在线监测和视频监控设描，并接入当地监管平台加强执法监管,对问题严电的依法依规实施联合惩戒本项目利用现有生产车间，族工期已结束。符合6、与£潍坊市大气污染防治条例符合性分析详见表1-5表1-5与片旗坊市大气污染防治条例B符合性分析E潍坊市大气污染防治条例具体规定本项目情况是否符合第六条禁止新建、改建、扩建严里污染大气环境的项目。市环境保护主管部门应当合同有关部门,制定和调整电设项目环境影响评价审批负面清单，经市人民政府批准后向社会公布.新建排放主要大气污染物的工业项目,应当按照规划和环境保护规定进入指定园区,在规划的指定园M外新上排放大气污染物的项目,发展改革部门不得立项,国上资源部门不得供应上地环境保护部门不得通过环境影响评价审批,住房和城乡建设部广不得办理定筑工程施工许可证。巾、县（市、区）经济和信息化主管部门应当会同发展改革、环境保护等部门，制定工业产业转型升级行动计划和严重污染大气项目退出计划，报本级人民政府批准后向社会公布.对城市电成区大气环境侦13造成明显影响的项目,在市、县（市、K）人民政府规定期限内未达到治理要求的项目，应当停产，限期搬迁或者关闭。本项目位于寿光市稻田镇工业产业园内，行业类别为C3051技术玻璃制品制造C3562半导体器件专用设备制造，符合产业园定位，不属严重污染项目不公对大气环境造成明显影响.符合第十五条排放大气污染物的单位和其他生产经营者，应当保持大气污染物防治设施的正常使用.建设单位定用对含VoCS废气处再设施进行检查维护.确保环保设俯正常运行.符合第二十条任何单位和其他生产经营者在生产经营过程中，不得排放影响周边居本项目位于商光市稻田依工业产符合民正常生活的有揖有击和异味气体下列行为应当在工业园区或者市、县（巾、区）人民政府划定的区域内实施:（一新建、改建、扩建石化、焦化、制药、油漆、塑料、椽胶、造纸、饲料等易产生恶臭气体的生产项目：（二）从事贮存、m工、制造或者使用、晾的等产生异味'恶英气体的生产经营活动：（三）从事露天喷漆、啧涂、喷砂、制作玻璃钢和机动车摩擦片等易散发有毒有害气体的作业。业园内属于新建项目，加工过程产生废气均通过处理后排放,生产过程不在距天生产,产生的废气收集处理后满足排放标准。7、与£山东省涉挥发性有机物企业分行业治理指好意见的通知（鲁环发（2019）146号）符合性分析，详见表16。表1-6与鲁环发（2019）M6号文符合性一览表具体襄求本项目情况（一）推进源头替代。通过使用水性、检末、高固体分、无溶剂、辐射固化等低VOCS含成的涂料，水性、箱射固化、抽物堪等低YoCS含值的油黑，水基、热络、无溶剂、辎射固化、改性、生物降解等低VoCS含仪的胶拈剂，以及低MCS含量、低反应活性的清洗剂等，替代溶剂组涂料、油墨、胶拈剂、清洗剂等，从源头减少VOCs产生.本项目不使用含YoCS涂料、油擦、胶粘剂物料符合（二）加强过程控制。I加强无组织排放控制”J6点对含YOCs物料（包括含VOCS原辅材料、含VoCS产品、含YoCS底料以及有机聚合物材料等）储存、转移和输送、设备与管线组件滑海、散开液面逸散、工艺过程等五类排放源实施管控，通过采取设备与场所密闭、工艺改迸、废气有效收集等措施，削减YoCS无组枳排放.2 .加强设备与场所密闭管理。含VOCS物料应储存于带闭容器、包装袋，含YoCS物料转移和输送，应采用密闭管道或密闭容器、播车等.含VOCS物料生产和使用过程，应采取有效收集措施或在密闭空间中操作.3 .推进使用先进生产工艺.通过采用全密闭、连续化、自动化等生产技术，以及高效工艺与设备等,战少工艺过程无组织排放.挥发性有机液体装载优先果用底部装载方式.4 .遵循“应收尽收、分质收集”的原则，科学设计废气收集系统.将无组织排放转变为有组织排放进行控制。采用全密闭措施的，除行业有特殊要求外，应保持微负压状态，井根1本项目生产过程均在生产车间内，生产过程中产生的挥发性有机物经收集由活性炭吸附处理后有组织排放.2本项目建设过程中集气罩的设计、安装应严格按照相关规热要求。3、通过采用全密闭、连续化、自动化等生产技术，以及高效工艺与设备等，减少工艺过程无组织排放。4、本项目符合据相关规范合理设置配风量.采用局部集气罩的，距型气罩开口面最远处的YOCS无组织排放位置,控制风速应不低于0.3米秒，有行业要求的按照相关规定执行：集气罩的设计、安装应符合£机械安全局部排气通风系统安全要求§(GB/T35077-2018),通风管路设计应符合通风管道技术规程(JCJTMD等相关规范要求，YOCS废气管路不得与其他废气管路合并05 .推诳建设适宜高效的治污设施。企业新建治污设雁或对现有治污设施实施改造,应依据排放废气的浓度、如分、风量，温度、湿度、压力,以及生产工况等,合理选择治理技术.鼓励企业采用多种技术的组合工艺，提高YOCS治理效率.6 .治污设施的设计与安装应充分考虑安全性、经济性及适用性。具有黏连性、积聚自燃性、高沸点、与碳发生化学反应的有机1®气.不宜采用活性炭吸附.光催化氧化、低温等离子等治污设施。含有酸性物质的有机废气，应充分考虑对治污设施的弼蚀等影响因素.含有颗粒物的底气，为保障YOCS治污设施运行的稳定性，宜进行预处理降低颗粒物浓度.采用吸附处理工艺的，应满足才吸附法工业有机废气治理工程技术规范(HI2026)要求.采用催化燃烧工艺的,应满足斤催化燃烧法工业有机废气治理工程技术规范(IIJ2027)要求.废气分类收集处理排放,采用局部集气罩的，距集气罩开口面最远处的YOCS无组织排放位置,控制风速应不低于0.3米秒。5、本项目采用废气处理措施符合排污许可证申请与核发技术规范电子工业(HJIO31-2019)要求。(三)加强末端管控。实行重点排放改排放浓度与去除效率双重控制，乍间或生产设施收集排放的废气，YoCS初始排放速率大,等于3千克小时、重点区域大于等于2千克/小时的，应加大控制力度，除确保排放浓度稳定达标外,还应实行去除效率控制，VOCs率应不低于80有行业排放标准的按大相关规定执行.本项目车间或生产设破收集排放的废气,确保排放浓度稳定达标外,YoCS的最低处理效率90%.符合8、与山东省生态环境厅关于印发山东省工业企业无组乡排放分行业管控指导意见3的通知(孙环发(2020)309)合性分析,详见表1-7.表1-7与(瞥环发(2020)30号)文符合性一览表R符(山东省口hMk无1«播放分行业管控指导意见(卷环发20203号)与本项目有关的吴求本项目情况符含性(一)加强物料运输、装卸环节管控.厂区出入口配备车括清洗装置或采取其他控制措施，确保出场半辆本项目加强物料运输、装却环节管控，厂区道路硬化，符合清洁、运输不起尘.厂区道路硬化，平赛无破损、无积尘，厂区无裸露空地，闲时.裸露空地及时绿化或硬化，厂区道路定期洒水清扫。增加厂区绿化和硬化收少运输扬尘。（二）加强物料储存、输送环节管控，含挥发性有机物（VOCS）物料储存于密闭容器、包装袋高效密封储槽封闭式储库、料仓等：封闭式砧库、料仓设置VoCS有效收集治理设施.含YOCS物料输送，采用密闭管道或右闭容器、排乍等。生产车间保持关闭，生产车间除人员、车辆、设荒、物料进出时,以及依法设立的排气筒、通风口外，门窗及其他开11（孔）部位应随时保持关闭状态，产YOCS、颗粒物工艺配备废气处应设施。符合（三）加强牛产环节管控.通过提高工艺自动化和设备密闭化水平，减少生产过程中的无组织排放,生产过程中的产尘点和VOCS产生点密闭封闭或采取有效收集处理措施，生产设备和废气收集处理设施同步运行，废气收集处理设施发生故障或检修时，停止运行对应的生产设备，待检脩完毕后投入使用。生产设备不能停止或不能及时停止运行的按照与生产设备“同启同停”的爆则提升治理设施运行率。根据处理工艺要求，在处理设施达到正常运行条件后再启动生产设备，在生产设备停止、残留废气收集处理完毕后，方可停运处理设施.3气处理系统发生故障或检修时，对应生产工艺设备应停止运行，待检修完事后同步投入使用.符合（四加强精细化管控.针对各无组织排放环节，制定“一厂一策”深度治理方案.制定无组织排放治理设施操作规程，并建立管理台账,记录操作人员操作内容、运行、维护、检修和含YOCS物料使用回收等情况，记录保存期限不得少于三年.鼓励安装视频、空气微站等监控设施和综合监控信息平台,用于企业日常自我监督,逐步实现无组织排放向精细化和可盘化管理方式转变.本项目通过优化集气措域,合理选择收集点位,提而有组织收效率,减少无组织排放：安装规频监控用于企业日常自我监督，监督无组织精细化排放,不断提高管理水平。符9、与T关于“两高”项目管理有关事项的补充通知（鲁发改工业（2023）34号）符合性分析，详见表卜8。表1-8与“鲁发改工业（2023）34号文”符合性分析序号文件要求本工S情况符合性1“两高”项目清单,共16类产业:雌、铁合金、也解钳（含氧化铝，但不含非冶金级氧化铝）、水泥、石灰、建筑陶瓷、平板玻璃、煤电、炼化、甲醉、焦化、氮肥、钠酸、氯碱、电石、沥青防水材料.>MS目E,两高”范围内符合旗,市场的建本项目的建设是符合国家产业政策,能够促进地方经济的有利于带动扩大就业，提升当地人民的生活水平，顺应经济快速发展的需求，具有明显的经济和社会效益，项目设是十分重要和必要的。二、ift项目工科析设容建内1、项目名称:半导体晶圆工艺制程关键设备及关键配件项目2、建设性质：新建3、建设地点：山东省潍坊市寿光市稻田馔王望三村东300米。4、建设规模:利用现有车间3座,总占地面积9100平方米新购加I：中心、磨口机等生产设备104台/套“项目建成后，形成年产半导体用常压、低压、清洗、刻蚀等石英制品152吨，半8体用常压、低压炉体288支，半导体用常压、低压扩散设备的台的生产能力。5、项目组成拟建项目主要建筑物和规模见表2T.表2-1项目组成一览表程别工类项目名称项目内容备注主体匚程生产车间1#1F,钢结构,62m*72e,总建筑血积4464建利旧安装加工中心、磨II机等生产设备新建生产车间2#1F,钢结构,53m*58m,总建筑面枳307411）2利旧安装杵通军.床、玻璃车床等生产设备新建储运工程1*仓库1F,钢结构,53m*1.1.m,总建筑面积583厘，用于存放产品、原料等利旧危化品哲存区框62m*8.6®,总面枳534m2,位于1#生产车间北物J,用于安装废气冷化设施、冷却塔，存放氢气、氧气等。利旧危化品哲存区B区53m*6.5m,总面积345m位于2#生产车间北例，用于存放氮气、钝气等利旧辅助工程办公房办公室一间，用于办公利旧公用工程供水寿光市供水管网提供利旧供电寿光市稻田供电所提供利旧供暧空调供暧新建环保工程废气煮蜡、涂蜡、粘蜡工序产牛.的VoCS收集后经二级活性炭处理后通过15m高排气筒P1.排放；酸洗产生的酸性气体收集后羟酸雾净化塔处理后通过15m高排气筒P2排放：喷砂产生的颗粒物收集后经布袋除尘器处理后通过15m高排气筒P3排放：物料储存、转移和输送、工艺过程尽可能全密闭化管理，域少无组织排放新建废水生活污水经化炎池稳定化、无害化处理，生产废水经J区污水处理站处理后共同经污水管网（新建）排入寿光荔泽水务有限公司处理排放新建噪声优先选用低噪声设备,合理布置高噪声设备，对1-：«声源采取减振、消声、隔声等措施新建固废般固废收集后外仰；危险废物产生后转存危废轿存间.定期委托有资质单位处理：生活垃圾集中收集后，由市环卫部门处理：生产车间内新建危废暂存间IOmj,一般固废库30112新建6、环保投资拟建项目环保投资包括降噪系统、废气和冏废处理等,详见表2-2。表2-2建设项目环保投资一览表*类型污染工序环保措施环保投资（万元）1废气煮蜡、涂蜡,粘蜡、酸洗、喷砂、电极焊接、外观固定活性炭吸附、酸雪净化塔、排气筒、移动式烟尘净化器、布袋除尘器、管道等402废水酸洗后冲洗污水处理站、管道铺设303固废一般工业固废一般固废库0.5危险废物危废笆存间1生活垃圾垃圾桶、环卫清运0.54风险火灾、突发事件危废初存间地面防腐、防渗等105噪声机器设备时主要噪声源采取减振、消声、隔声等26其他运行维护费用、环境管理费用和检测费用2合计86相业可接7ft办公区利，布8才建项目环保投资86万元，占项目总投资的0.86$,环保投资费开受范国内.平面布置合理性分析I据现场勘查，项目所在厂区大门位于南侧，生产乍间位于厂IX.位于厂区中间,府侧为空地,厂区主干道已硬化功能区明确.置合理（建设项目平面布置图详见附图3）。主要生产设备、原材料消耗主要生产设备:项目主要生产设备104台/（套），主要设备见表2-3。表2-3主要生产设备览表在企；北侧，交通便序号设备名称设备型号数枇单位单机功率（kW）1加工中心850*500行程10台82开槽机16006Zx口83煮蜡梢200x150x1502台44酸洗槽1000x400x4001台5憎盘0100.01204台66精雕100x1004台67数控车旋转直径600.Z轴100o4台88擀口机双面三爪3502台39普通车床（500x1500）CA62504台410大锯S-6004台411小锯S-3602台212压沌机3-1Om14台2213平面磨床1600行程4台414喷砂机XA-5004台215加热台1200x6004台4市退火炉双工位100OXI2008台8017自动清洗（套）3000x500x5002台218超声波KQ-300VDB4台119水处理反渗透、EDIASSP-IO(X)2台320三坐标G1.OIbM-S2台421调直机HZJX-G2台222压缩空气SF62台3523排风机组2台3024进风机组2台3025绕丝机FD-91002台526空调机组2台10027玻璃车床OKK）01004台328跛璃车床025002504台329玻璃年床040004004台430应弧焊H08Cr2INiIOSiI台231叉车3t2地37合计101（2）本项目主要原辅材料消耗情况见表2-4.表2-4主要原轴材料消耗情况一