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    防静电作业要求规范A6.doc

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    防静电作业要求规范A6.doc

    1. 目的:定义防静电规格标准,规作业要求,防止人为静电损伤产品。2. 使用对象:凡蓝光、白光、四次元DICE及其制成品。如LAMP、SMD、PCB、成品生产所必须经过的区域、设备、人员皆适用。3. 定义:静电:指相对于观察者而言,处于静止或缓慢变化的相对稳定状态的电荷。4. 权责:4.1生产部:负责作业时连接各地线,保障产品的性能安全。4.2品保部:负责监督所有作业人员及接触产品的人员的防静电措施;地板、离子风机、防静电工作椅、台垫、防静电帘、防静电服装、防静电检测设备等进行点检。4.3维修课:负责地线网络的建立及维护,各点检点与生产设备的定时点检。5.静电常识: 5.1静电的产生及危害:5.1.1静电产生: 通常静电是由于一种物质与另一种物质的互磨擦所产生的,其中导体还可以通过感应与传导的方式产生静电。 5.1.2静电危害: 对于LED(半导体)来讲,静电的破坏有两种形式: a:热击穿:即PN介面的击穿破坏,而形成短路,造成LED缺亮或点暗。 b:金属汽化:由于ESD瞬间产生较大热能,导致LED部邦定金属汽化而形成开路,造成LED缺亮。5.2ESD(静电放电)形式:5.2.1人体形式:即指当人体活动时身体和衣服之间的磨擦产生电荷,若人手持ESD敏感的器件而不预先泄放电荷到地,磨擦电荷将会移向ESD敏感的器件而造成损坏,电子器件的主要破坏均由此形式造成。5.2.2 电子器件带电形式:即指这些ESD敏感电子器件,在作业过程中由于磨擦产生电荷,而这些电荷积累一定程度,便可以击穿LED造成损坏。5.2.3 场感应形式:指有强电场围绕,这可能来自塑性材料或人的衣服,会发生极化跨过氧化层,若电位差超过氧化层的介电常数,则会产生电弧以破坏氧化层,其结果为短路。5.3 消除静电方式及方法:5.3.1静电消除方式:a. 防止和减少静电的产生。b. 防止和减少静电的积累,即增加静电的泄漏。 5.3.2 静电消除方法:a. 降低介质材料本身的电阻率,例防静电衣、防静电椅等。b. 使周围空气电离化,对已产生之静电进行中和,例离子风机。5.3.3静电消除的措施:a. 接地:即指用导电体连接大地地线,以减少带电体与大地之间的电势差,一般可降至10V以下。b. 静电消除器:即使周围空气电离化,对已产生之静电进行中和来消除静电。c. 降低电阻率:物理方式:防静电服、防静电椅、防静电手指套等降低电阻率。化学方式:采用加抗静电剂,以增加物质润滑,以减少磨擦,防止和减少静电的产生;另降低表面电阻,减少静电积累。d. 屏蔽:指使外部流动电荷减少对物料的损坏,将电荷与敏感物料隔离,减少静电对物料的直接损坏,例防静电屏蔽袋、防静电棚等。6.容:6.1防静电标准:本公司防静电测量标准是以泄漏电流阻抗大小为基础量化的。 6.1.1 各机台,设备电阻参数见下表:(单位:欧姆)材料表面阻抗 对地阻抗 静电环/757.5*10 < R < 1*10防静电地板10R<1*10757.5*10 < R < 1*10防静电服1057.5*10 < R <1*10587.5*10 < R <1*10防静电鞋、袜1057.5*10 < R < 1*1085 7.5*10 < R <1*10防静电手套、手指套/10 5 7.5*10 < R <1*10防静电工作椅10 R<1*108 5 7.5*10 < R <1*10防静电工作台墊8 11 正面1*10 R 1*106 4 背面1*10 R 1*1010 R1*10防静电运输车10 R<1*1095 7.5*10 < R <1*10防静电PE袋、珍珠棉115 1*10 < R <1*10/防静电周转箱、盒、盘10 R<1*10/地线接地阻抗 /R<106.1.2 接地線:6.1.2.1接地以3根25mm长3m之镀锌管,每隔3m一根并排打入地下,上端离地表面0.5m深处氧焊,接头处加防锈溙密封,并联不同顔色双线引出地线。6.1.2.2接地主幹線截面積應不小於100mm²;支幹線截面積應不小於6mm²;設備和工作台的接地線應採用截面積不小於1.25mm²的多股敷塑導線,接地線顏色以黃綠色線為宜。6.1.3 设备接地和静电接地分开,新厂、老厂两栋厂房各1处防静电接地線。6.1.4 接地线分防雷保护,漏电保护,静电保护等保护措施,三种接地分开,以保障地线安全正常运作。6.1.5各站别、各工位、各机台使用单线辅设防静电线,防静电线在車間/站別、工位的连入处设防静电线点检点,各点检点的编号如附件。6.2 接地线管制:6.2.1 静电接地双线通断点检:6.2.1.1 各站别、各工位、各机台均需点检,点检结果加入月度保养记录。6.2.1.2 接地主幹线点检由维修课用万用表对各站别、各工位、各机台之间的接地线阻值量测,发现有阻值低於10需及时检修,保障各站别、各工位、各机台防静电接地线接通良好。6.2.1.3 地线与地线之间连线用焊接或端子锁螺丝固定。6.2.2 各站别、各條工位、机台双线点检位置由维修课统一标示(如图一),且每周对各点检点量测,并填写点检表格<防靜電接地線接入口點檢表>、<表面阻抗點檢表>。 (圖一)6.3防靜電地板:6.3.1防静电地板打蜡要求:必须使用专用防静电蜡。 6.3.2點檢管理: 表面阻抗值的测定: a、使用测定器:表面阻抗测试仪。 b、测定方法與測試點的選取: 圖二防静电地板: 表面阻抗检测器底部两金属片接于地板表面,以测其表面阻抗值。 測試點的選取:每個車間按同等間距選取九點測試。(如圖二) c、检测频数为:新铺垫时实施,以后1次/月。 d、记录:检测结果记录于表面阻抗點檢表。6.3.3异常处置: 对新铺设防静电地板检验时,若表面阻抗达不到要求,则要求供应商重新铺设。 6.4離子風機:6.4.1判定基准:a. 静电残留电压0±30V。b. 静电消除时间:从“+1000V”降至“+100V”及从“-1000V”降至“-100V”所需时间均在3秒之。6.4.2点检管理: (1)除静电效果检测 a、使用测定器:静电压测试仪/综合静电测试仪。 b、测定方法: 静电残留电压测量:(1) 将静电压测试仪距离子风口30cm处,测其静电压应小于“+/-30V”(2) 将静电压测试仪测试离子风下工作台,其台面静电压应小于“+/-20V”靜电消除时间测量:(1) 打开离子风机。(2) 将综合静电测试仪放置在距离子风机60cm处,并将离子风机口对着静电测试板。(3) 先将其综合静电测试仪充上高于1000V正向静电,而后观察其静电板静电在离子风机下静电由“+1000V”降至“+100V”所需消耗时间是否在3秒之。(4) 再将其综合静电测试仪充上高于1000V负向静电,而后观察其静电板静电在离子风机下静电由“-1000V”降至“-100V”所需消耗时间是否在3秒之。 c、检测频数为:1次/周。6.4.3异常处置: 达不到规格要求时,应立即停止使用,并报备维修部。6.5防静电服裝:所有进入无尘车间的人员穿着无尘服,进入非无尘车间穿着防静电衣。6.5.1防静电服装穿着标准参照下图:图三 图四6.5.2檢測與清洗: 1.檢測標準與頻將及清洗均參照靜電服靜電鞋管制規範。2.檢測結果記錄於<靜電服裝表面阻抗點檢表>.6.6防靜電工作椅: 6.6.1点检管理:表面阻抗值的测定: a、使用测定器:表面阻抗检测仪。 b、测定方法: 将表面阻抗检测器底部两金属片接于被测对象的任意表面检测,读出顯示值。 c、检测频数为:新购入时实施,以后1次/月。 d、记录:检测结果记录于表面阻抗点检表。 6.6.2、异常处置:a、新购时,若其防静电工作椅表面阻抗达不到要求,则应退回供应商,不得使用。b、测量时,其防静电工作椅表面阻抗达不到要求,则由产线更换新测试良品,并知会修务部。 6.7防靜電簾: 6.7.1判定基准:(单位:欧姆)85 防静电帘部表面阻抗: 10 < R < 10 1012 防静电帘外部表面阻抗: 10 < R < 10 6.7.2点检管理:表面阻抗检测:a、使用测定器:表面阻抗测试仪。 b、测定方法:将表面阻抗检测器底部两金属片接于防静电帘表面进行检测,分部与外部两次检测。 c、检测频数为:新购入时实施,1次/片/月。 d、记录:检测结果记录于表面阻抗点检表。6.7.3异常处置: 新购入时,防静电帘外阻抗达不到要求,退回供应商。 6.8防靜電工作臺墊: 所有的防靜電工作臺墊必須用臺墊接地線連接靜電系統。6.8.1点检管理:表面阻抗值的测定: a、使用测定器:表面阻抗检测仪。 b、测定方法:将表面阻抗检测器底部两金属片接于被测对象的任意表面检测,读出示值。 c、检测频数为:新铺垫时实施,以后1次/月。 d、记录:检测结果记录于表面阻抗点检表。 6.8.2异常处置:a、新购时,若其防静电台垫表面阻抗达不到要求,则应退回供应商,不得使用。b、测量时,其防静电台垫表面阻抗达不到要求,则由产线更换新测试良品。 6.9防靜電PE袋、周轉盒:6.9.1点检管理: 表面阻抗值的测定: a、使用测定器:表面阻抗检测器。 b、测定方法:将表面阻抗检测器底部两金属片接于防静电PE袋、周转盒表面进行检测。 c、检测频数为:新购入时实施,以后1次/月。 d、记录:检测结果记录于表面阻抗点检表。6.9.2异常处置:(1)新购入與检测异常时,应退还给厂商,禁止使用。(2)点检时,发现劣化应和新品(良品)交换。(3)使用时若发现污迹则使用去渍油清冼,发现破损则予以报废。 6.10人员:6.10.1 所有进入生产车间人员,必须佩戴相应的防静电手套或手指套、防静电服装表面阻抗每周由QC点检一次。6.10.2 所有接触到SMD、LAMP及生产各成品、半成品人员必须佩戴点检OK之静电环及防静电手套或手指套。6.10.2.1静电环点检方法:将静电环佩戴于左手手腕上,導電金屬塊須充分接觸皮膚,不得有松馳現象(圖五)将静电环测试仪自由端接在静电环的一个电极上,后用手指按下接触板按钮,亮绿灯为通过,若亮红灯则为不良。(圖六)图五 图六6.10.2.2 所有接触到产品或半产品及SMD、LAMP人员及作业人员,除特殊规定外,均需佩戴防静电手套或手指套,如有特殊规定,按特殊规定作业。6.10.2.3 所有防静电手指套每间隔两小时更换一次,記錄於<手指套更換記錄表>,防静电手套每四小时更换一次.6.10.2.4所有作业人员,必须在每天早班前自行点检静电环并做记录(QC一旁稽核),若为不良应报知领班更换,不良静电环转交维修课维修或报废。6.10.3 防静电仪器校验:静电环测试仪、表面电阻测试仪、兆欧表应按仪校规定定期校验,并列入外校仪器清单中。 6.11 设备接地点检:6.11.1 工作台垫、传输皮带、静电帘、防静电地板等各生产设施表面阻抗,每周由品保负责统一点检一次。6.11.2 工作台垫、传输皮带、静电风帘等各生产设施必须以1M接地线接地,每月由修务负责统一点检接地是否良好,并列入月度保养及记录。6.12 物料:6.12.1 所有白光、蓝光、四次元DICE制品等,必须以防静电器具盛装与周转。6.12.2 防静电物料如珍珠棉等在进料时列入IQC检验项目。 6.13貨架、物料架、工作臺: 6.13.1所有放置物料的貨架/料架,均須加鋪防靜電工作臺墊;全金屬可無須加鋪,但所有的貨/料架、工作臺須連接靜電接地系統。 6.13.2所有加鋪的防靜電工作臺墊均須連接靜電接地系統,並需保持桌墊面之清潔。6.14防靜電拖車:所有的防靜電拖車均須加裝拖車連地線,且需保證連地線效果良好,連地線不可折斷以及未接地等現象.7.參考文件:無 8.表單/記錄: <靜電環檢測記錄表> <手指套更換記錄表> <防靜電接地線接入口點檢表> <表面阻抗点检表> <靜電服裝表面阻抗點檢表>

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