GB 51209-2016 发光二极管工厂设计规范.docx

中华人民共和国国家标准鱼目GB512092016发光二极管工厂设计规范Codefordesignoflightemittingdiodeplant最新标准官方首发群：141160466最新标准定期更新I资源共享有求必应2016 10 24 发布2017 07 01 实施中华人民共和国住房和城乡建设部中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中华人民共和国国家标准发光二极管工厂设计规范GB512092016中国it划出第社出版发力网址：WWW,jhpre5!*.com地址I北总市纳城H木饵地北忸甲Il9国宏大厦CM3屋郎技城叼，100038电话（010）63906433发行部）河0华印刷包装行限公司印刷85UmmMlI68mmI323.125电张77F字2017年6月第I版2017年6月琳I次印制统一书号：155182-0107定价：20.00元版权所有侵权心臾侵权举报电用r（010）6390641H如育卬装质H同胞.词寄本计出版如蠲换第1352号住房城乡建设部关于发布国家标准发光二极管工厂设计规范的公告现批准发光二极管匚厂设计规范为国家标准.编弓为GB512092016自2017年7月1日起实施.冗中.第8.2.3、8.3.3(I),8.3.9.8.3.HJO.2.9条(款)为强制性条文,必须产格执行.本规疮由我部标准定额研究所组织中国计划出版社出版发行.中华人民共和国住房和城乡建设部2016年10月2日根据住房城乡建设部）；关于印发2010年程建设标准规把制订、修订计划的通知”建标C2O1OJ43号）的要求由T业和信息化部电子工业标准化研究院电F程标准定额站与中国电T程设计院会同有关单位共同煽制'完成.在规范编制过程中编写组根据我国发光:极管工厂的设计、建造和运行的实际情况进行广泛的陶杳研究收集广有关发光Itt管r.r的设计要求，认出总结实践经验同时考虑我国目前生产的现状,参号国外巾关的标准规范.广泛征求了国内有关单位与专家意见最后经审存定稿，本规范共分13章和3个附洪行要技术内容包括：总则术讲,族本规定.【艺总图建筑,结构动力及气体工程供暧、通风、空气两节与净化给水排水电气,防静电和空间管理等.本规他中以黑体字标志的条文为强制性条文,必须严格执行本规范由住房城乡建设部负先管理和对强制性条文的解择由工业和信息化部负货日常管理.由中国电子匚程设计院负度具体技术内容的解择。执行过程中如有意见或建议.请寄送中国电子匚程设计院（地址：北京市海淀区西四环北路160号.邮政编码：100142.传t01088193999）以便今后修订时参考.本规范主编单位、参编中位、主要起草人和主要审着人：主编单位：I业和信息化郃电孑工业标准化研究院电£工程标准定额站中国电子工程设计院参编单位：世源科技程有限公司信息产业电子第十一设计研究院科技I：程股份彳j限公司上海电子r程设计研究院彳i限公司JS门市三安光电股份有限公司主要起薇人：罗桥噤察钟景华李志伟主要审查人：徐征李道本张东城阳赵广鹏郑秉孝奉学礼白红梅李相生吴晓减张晓敏帏方俊薛长立陈阵黄继红云庚王立赵玉照杜宝强吕娠宜张同亿任兆成(E向东施红平刘国旭最新标准官方首发群：141160466最新标准定期更新|资源共享有求必应1 总则(1)2 术语(2)3 堪本规定(3)4 工艺(4)4.1 一般规定<I>4.2 基本工序与生产协作<<)4.3 工艺区划(5)1. 1设番布置(5)5 总图C6)5.1 厂址选择(6)5.2 总平面布置(6>6 也筑(B>6.1 般规定(8)6.2 防火及安全统敢(8)7 结构(IO)7.1 一般规定(m7.2 结构设计(10)8动力及气体匚程(12)8.1 冷热源(12)8.2 大家气体供应(13)8.3 特肿气体供应(14)8.4 动力气体供应(16)9供暖、通风、空气，节与净化(18)9.1 一般规定(18)9.2 供喂、通风与废气处理<l>9.3 空气调节与净化(20)9.4 防排烟(21>10给水推水(22)10.1 TftMt定(22)10.2 般给水排水(22)10.3 纯水(23)10.4 1/冷却循环水<23)10.5 废水处理(24)10.6 消防(24)11电气(26)H.1供配电与照明(26)!.2防雷与接电(27)1.3 3自控(27)H.4通信(28)1.5 5安全防护(28)12 防群电(30)12.1 一般规定<30)12.2 防砂电措施(30)12.3 防的电接地<32>13空间管理(33)13 .1一般规定(33)13.2管拨布置(33)附录A发光二极管典型牛.产环境要求(35)附录B发光二极发生产工管动力品质要求<36>附录C发光二极管光产的管生工艺流程<38)本规也用词说明<40>引用标准名录<41>附：条文说明(43)(Contents1 (JeneraIprovisions(1)2 Terms(2)3 Basicrequirements(3)4 Process(4),I.1Generalrequirements()1 .2BsicprocessandproduceCoIIaboraHon(4).3Processlayout<S)1.4Equipmenthyo<t(5)5 Siiemaster(6)5.1 Siteselectiont6)5 ,2Sitemasterplan(6)6 Architecturedesign(8)6. I(RrWralrequirements(8)7. ZFircevacuation(8)7Structuredesign(io)8. 1Generalre<uirements*()9. 2Structuraldesign(IC)8Utilitiesandgasc$(2)10. ICoolingnndheatingsource<12>11. Bulkga5esupply(13)12. 3Specialgasessupply(14)8. 1Utilitiessupply(6)9Heatingvventilation«airconditioningandcleaning(18)9. IGeneralrequirements(18)9. 2Heating.ventilationandwastegastreatnM-nt*(18)13. 3rconditioningandcleaning(20)9.4Smokeventing(21)IOWatersupplyanddrainage(22>10.1Grneralrequirements(22)10. 2Gcnaralwater.(22)!0.3Purcwaier(23)10. 4ProcesscoolingWAter(23)10. 3Wastewalertrealrnrnt(24)14. 6Fireprotection(24)15. Electricaldesign(26)15.1 Powersupplyandillumination(26)11.2Lightingprotectingandgroundconnection(27)11.3Automaiiccontrol(27)11.4Tdcfommumcation<28)H.5Safetyproecon(28>12Anti-staticdesign(30)12.I(Jencralrequirements(30)12.2ntstaticmca5ure(30)12.3Antistaticgroundconnection(32)13Spacemanagement(33)13.1Generalrequirements(33)13.2Pipelinelayout(33)Appendix A TypicalmainproductionenvironmentofLED(35)Appendix B TypicalutilitiesqualityrequirementsofLED(36)Appendix C TypicalLEDprocessflow(38)4Explanationofwordinginthiscode(40)1.istofquotedstandards(41)Addition：Explanationofprovisions(43).o.I为规发光.一极管匚厂设计做到安全适用、确保生产、经济合理、技术先进、环境保护制定本规他1.0.2本规应适用干新建，扩建和改建的发光二极管匚厂的I程设计。1.0.3发光.极管厂设计除应执行本规范外,尚应符介国家现行有关标准的规定.最新标准官方首发群：141160466最新标准定期更新I资源共享有求必应1 .0.!发光二极管lightemittingdiodc(LED)一种能够将电能转化为可见光的固态半导体器件.2 .0.2外延epitaxy在小品衬底(基片)1生长一层或多层有一定要求的、与村底品向相同或相似的单晶质的生长技术.3 .0.3金属有机化合物化学气相沉枳metal-organicchemicalvaporclcpoNt<ion(M(K*V)以m族Jl族元素的金属有机化合物和V、Vl族元素的氧化物等作为晶体生长原材料，以热分解反应方式在村底L进行气相外延生长各种Ill，族、IJM族化合物半导体及其多元薄匕单.品材料的之过程.4 .0.4空间管理spacemanagement为有效利用空间、缩短工作流程对大到整个厂区的建筑物布局、地卜管线规划小到一株建筑物内部各个专业间的配置协调而进行的设计.3基本规定3.0.I发光二极管匚厂设计应满足发光二极管产品生产丁.艺要求.并应根据具体情况为今后生产发展或生产工艺改进的需要预留条件.5 .0.2发光二极管匚厂设计应根据生产T艺的特点,采用方能环保的新技术、新设备、新材料。3.0.3发光二极管r厂设计应为施工安装、调试检测和安全运行、维护管理创造条件。6 .I一般规定6.1.1 发光二极管厂艺设计应符合下列规定：1采用效率高的生产工艺，2提高工艺流程的合理性：3采用经济、适用的T2参数；4具力适度的灵活性和适应性.4k2一工黑十口；述学Fz生产,的柔平,并为产乩的规模化生最就fe、氤后曾发群：1411604661工艺设各数最增加,工艺设备占地面积增加所需要的面积条件；最新标准之超期更新备度资涮亭“病求必应3工艺设备变更、工Z设备数盘增加所需要增加的动力条件.4.L3生产线的产能设计应符合经济规模要求；当生产线需分期实施时，2设计中应预留动力条件。4.1.4艺i生计应明确生产环境和动力供应要求并应满足生产工艺和设备IE常运行的要求，主要序生产环境要求可按照附录A执行.4.1.5工艺设计应明确工艺生产动力品版要求.发光二极管生产T艺动力晶陵要求可按照附录B执行4.1.6主要，产乍间的生产设备宜连续运转.其他辅助生产车间可根据其具体特点沌活配套.4.2基本工序与生产协作4.2.1生产的基本工序应根据产品的生产工艺确定II生产工序可根据附录C所列的匚艺流程确定.4.2.2生产的主要匚序宜完整,辅助生产工序可通过外协方式完成。4.2.3在I艺设计中,根据外协的具体内容及要求设置满足外部协作需要的相关配套设施。4.2.4工艺设计应满足发光二极管工厂的生产、辅助生产、管理和运营设施、劳动安全、职业牛和环境保护等管理、检测、教育和培训设施的设计要求。4.3 工艺区划4. 3.1生产厂房内的工艺功能区应依据生产的工艺流程，按照生产的基本T序进行划分,相同的工序宜柒中布置"典型的艺流程可按照附录C设置，5. 3.2生产厂房内的工之区应分别设置人员出入U、物料出人口.6. 3.3丁之平面布置应设置设备搬入口和设备搬人通道，7. 3.4生产区的参观设施.应与生产环境相隔离、4.4 设备布置4.4.1振动敏感设备宜远离振动源布置:4.4.2生产设备比根据工艺流程集中布置.并考虑设备搬运、维修空间。4.4.3金属有机化合物化学气相沉积设备及其辅助设备宜集中布乱4.4.4气瓶枢、尾气处理设备、气体纯化柜等金属有机化学气相沉机设备的辅助设备的布置方式应符合现行国家标准建筑设计防火规范GB50016和特种气体系统I：程技术烧拖NGB50646的有关规定.5总图5.1厂址选择5. 1.1发光二极管T厂的厂址选择应按建设规模、原材料供应、供电、供水、供气、丁.程地质和企业协作条件、场地现有设施、环境保护等因素进行技术经济比较后确定.5.1.2 厂址选择应符合下列规定：1避免生产的危险或有害因素对周边人群居住或活动环境造成污染与危害；2避开空气经常受悬浮物污染的地区，3场地应相对平整,距外界强振源较远。5.1.3 厂址不应选择在下列地区：1易受洪水、潮水、内涝威胁的区域；2工程地质、水文复杂的地带和地震设防烈度高于9度的地区；3采矿陷落错动）区界限内；4重要的供水水源H生保护区；5IV级自理湿陷性黄土、厚度大的新近堆积黄土、高年缩性的饱和黄土和ID级膨胀土等T.程地质地区：6有用矿藏地区。5.2总平面布置5.2.1发光二极管工厂总体规划,应符合所在地区的区域规划、城辕规划的要求.5.2.2总平面布置应符合下列规定：1主厂房宜根据生产TZ特点和各种功能区的要求按组合式、大体城的综合性厂房布置，2厂区内生产区、动力辅助区、仓储区和办公、生活区等功能区域应合理布置；3有微振控制要求的洁净厂房总平面布置时，应考虑邻近存在较大振动的振源对精密设备、仪器的振动影响；4T厂的动力设施宜集中布置并旅近二厂的负荷中心I5厂区人流和物流的出人【I宜分开设置；原料物料的运输路线应短捷、方便,避免人流和物流之间的混杂和交叉.5. 2.3厂区给水、排水、循环水及动力电缆等管线宜选用地卜敷设方式，厂区易燃可燃液体、燃气、热力、压缩审气及保护气体、通信信号电缆等管线直选用地上管架敷设方式；地匕、地卜管线的布St应符合现行国家标准6业企业总平面设计规范GB50187的有关规定。6. 2.4厂区道路面乂应选用整体性能好、发生少的材料U7. 2.5厂区应合理进行绿化,但不宜种植对生产环境和产品质处有影响的植物.6建筑8. 1一般规定1. 1.I发光二极管I：厂可由生产厂房、动力厂房、化学品库、气站，仓库及办公楼等建筑组成。6. 1.2'产厂房的建筑平面和空间布局应粮据生产匚艺、VL改造和扩大生产规模的要求确定.6.1.3生产厂房围护结构材料的选择应满足生产对环境的气密、保温、隔热、防火，防潮,防尘、耐久.易清洗等要求，外闱护结构及节点部位的内表面温度不应低于室内空气露点温度。6.1.4技术夹层、技术夹道应满足各种风管和各种动力管线安装，维修要求。穿越楼乂的竖向管线需暗敷时.宜设置技术竖井.其形式、尺寸和构造应满足风管、管线的安装、检修和防火要求Il6.1.5厂房的平面布局和构造处理宜避免人流，物流运输及防火对洁净生产环境带来不利的影响.生产辅助部门等与生产密切联系的部门应尽量靠近生产区。6.1.6厂房内宜设宜1艺设备、动力设备的搬入及运输安装通道；通道宽度应满足人员操作、物料运输、设备安装、检修的要求.6.1.7厂房室内装修应符合现行国家标净,；建筑内部袋修设计防火规范M；B50222和电子工业洁净厂房设计规范GB50472的有关规定。6.2防火及安全疏散6.2.1发光二极管匚厂建筑的耐火等级不应低于二级6.2.2金属有机化合物化学气相沉枳间的火灾危险性分类在满足下列条件时应按丙类.否则应按甲类设防：1设备密闭性良好，2设后气体或可燃蒸汽报警装置和灭火装置.6.2.3其他生产M的火灾危险性分类应符合现行国家标准£建筑设计防火规葩GB50016和电子工业洁净厂房设计规范GB50472的有关规定.6.2.4厂房内防火分区的划分应符合现行国家标准建筑设计防火规他M；B50016和UtlFT业洁净厂房设计规范：GB50472的有关规定.6.2.5厂房安全出U的设置、安全疏散距肉应符合现行国家标准建筑设计防火规范GB50016和，电子工业洁净厂房设计规范GB50472的有关规定.险性房间应靠外墙俗置房间泄压而枳应符合现行国'家标准>:建筑最新猥辑濡剧黑飘;隽餐瀛藕幕甫瀛必、应静电地面；腐蚀性化学品储存间、分配间应采用防腐蚀地面.7.I一般规定7.I.I发光二极管IJ光刻机等精密设备甚础应满足微振动控制的要求。7.1.2产生较大振动的设备基础宜远离光刻机等精密设备区域；当无法远离时.对产生较大振动的设备应采取行效的隔振措施.7.1.3生产厂房工艺生产区的结构不宜设置伸缩缝7.2结构设计7.2.I发光二极管生产厂房可根据匚艺生产要求采用下列结构体系：I单层排架结构体系，2单层门式刚架钢结构体系；3多层框架结构体系；4多层框排架结构体系。7. 2.2精密设备基础宜避开厂房柱基础；无法避开时.应考虑厂房柱基础沉降引起精密设备基础的地期变形计算，8. 2.3光刻机等精密设备基础在苒层的微振动控制应根据其特性采取防微振措施.并应符合下列规定：1首层应做钢筋混凝土地面厚度不宜小于250mm；2设备基础厚度不宜小于800mm.并应与苒层的钢筋混凝土地面连为一体,3有冲击荷载的设备应远离光刻机等精密设备，且宜在有冲击荷载设备的周边设置隔振沟,4精密设备的底础安全等级应不低于二级.7. 2.4楼U和屋顶的普通设备基础应符合下列规定：I不宜采用整片的倒筋混解土族础宜根据设备支承点位置采用钢筋混凝土支墩或钢筋混凝E条形基础；2设密堪础不应跨越伸缩缝；3设备基础宣布屋在柱顶、主梁或次梁上.7.2.5应号虑楼层上设备的布宜范围和运输安装区域的荷栽，并对受此荷载影响的梁、柱和基础根据正常使用极限状态和承载能力极限状态的要求进行聆算.7.2.6生产厂房楼层、屋顶应按照实际吊挂的管道、吊顶建筑做法等,计算吊挂荷载标准值但不宜小于0.S0kNml.7.2.7用于吊挂管道的预埋件宜在钢筋混凝上梁的梁IW设置应根据水管的重破和吊挂点的间距验算预埋件的承救力C8动力及气体T.程8.1 冷热源8.1.1 发光.极管【.厂人T冷热源宜采用集中设置的冷（热）水机组和供热、换热设备.机型和设备选择.应根据工厂所在地区的气候，能源结构、政策、价格及环保规定按卜.列规定综合比较确定：I热源应优先采用城市、区域供热和工厂余热，2具有城市匚业燃气供应的地区可采用燃气纲炉、燃气热水机组供热或燃气吸收式冷（热）水机组供冷供热；3工厂也可采用燃煤锅炉、燃油锅炉供热电动压缩式冷水机组供冷或燃油吸收式冷（热）水机组供冷、供热；4在夏热冬冷地区的办公楼、生活区可采用空气源热泵或地源热泉冷（热）水机组供冷、供热.8.1.2 1.2同时需要供冷和供热时冷水机组宜根据负荷要求选用热M收机组并采用自动控制的方式调行机组的供热成.8.1.3 冷热源设每介数和单台容址应根据全年冷热负荷况合理选择井应保证设备在高、低负荷L况下均能安全、高效运行。8.1.4 过渡季方或冬季需用定址的供冷负荷时，可利川冷却塔作为冷源设备.8.1.5 15在满足工艺及空调用冷冻水温度的前提下，应加大冷冻水供、问水温差和提高冷水机组的出水温度.8.1.6 16当冷负荷变化较大时经过经济技术比较冷源系统的部分或全部设备宜采用变频调速控制.8.1.7 1.7电动乐缩式冷水机组的装机容敢应符合现行国家标准;I业建筑供暖通风与空气调加设计规施VGB50019的有关规定。8.1.8电动压缩式制冷机组的制冷剂应符合有关环保的要求当采用过渡制冷剂时.其使用年限应符合相关要求。8.1.9燃油燃气锅炉应选用带比例调节燃烧器的全自动锅炉且每台锅炉宜独立设置烟囱,烟囱的高度应满足项目环境评价文件的要求.并应符介现行国家标准*阚炉大气污染物排放标准GB13271的有关规定.8.1.10锚炉排放的大气污染物,应符合大气污染物排放标准的要求并应符合现行国家标准锅炉大气污染物排放标推GB13271和大气污染物综合排放标准GB16297的有X规定.8.2大宗气体供应8.2i大宗气体管道系统设计应符合下列规定：I大宗欠体的供气方式应根据气体用Hts气体品质和当地的供气状况等因素经技术经济比较后确定,2氧气、辄气管道的终端或灰高点应设置放散管放敞管应引至室外并高出建筑的屋脊Im.乳气放散管道上应设苴阳火器：3洁净室内的氢气管道应明敷.穿过洁净室的墙壁或楼板处的管段应设滑套管套管内的管道不应有饵缝.支管与管道之间应采取密封措能；4领气管道不得穿过不使用氮气的房间；当必斯穿过时应设套管或使用双U管8.2.2高纯气体管道设计应符合F列规定：1管径应按气体容许流不、压力或生产T艺设备确定.管外径不宜小于6mmi2管道布置不应出现不易吹除的管”等死吃间i3管道系统应设置吹打口和取样1.8.2.3设有氧气等可燃气体装置的气体纯化间或气体入口室的火灾危险性应按甲类确定，井应符合下列规定：I应第外墙设置，井应设置防爆泄压设施；2氧气等可燃气体引入管道上应设置自动切断阀；3应具有机械通风装置，并应设置事故排风装置；4应设置气体泄漏报瞥装置，并应与事故排风装置联锁。8.2.4大宗气体管道和阀门应根据生产艺要求选择,并应符合下列规定：1气体纯度大于或等于99.9999%时宜采用内壁电抛光的奥氏体超低碳不锈钢管,阀门应采用隔膜阀、波纹管阀；2气体纯度大于或等于99.999%、露点低于76C时宜采用内壁电抛光的奥氏体超低碳不锈例管或内啜电抛光的低狱奥氏体不锈钢管,阀门宜采用隔膜阀或波纹管阀；3气体纯度大于或等于99.99%、露点低于一60C时.宜采用内壁抛光的奥氏体不锈钢管,除可燃气体管道宜采用波纹管阀夕卜.其余气体管道可采用球阀；4气体管道阀门、附件的材质宜与相连接的管道材质一致.8.2.5气体管道连接应符合下列规定：1 管道连接应采用焊接.不锈钢管宜采用自动飙弧焊或等离子熔透对接焊；2管道与设备或阀门的连接宜采用表面密封的接头或双卡套，接头或双K套的密封材料宜采用金属型或聚四氨乙循型；3管道与设备的连接应符合设备连接的嬖求，当采用软管连接时应采用金属软管。8.3特种气体供应8. 3.1特种气体应采用外购钢瓶气体、液态气体在丁.厂内设置储存、分配系统.9. 3.2特种气体储存分配系统设备.应根据特种气体的性质和储存数灶布置在独立的建构筑物内或布置在生产厂房内10. 3.3特种气体系统的气瓶柜、气瓶架的设置应符合下列规定：I不相容气体瓶严禁放置于同一气瓶柜或气瓶架中；2不相容的特种气体的气框架应布置在不同房间里；当布置在同一房间时.不相容特种气体的气瓶柜、气瓶架之间的距离应大于6m；3气瓶柜闭门时的排风换气次数不得低于300次/h,且气瓶柜应保持负压；4力燃、可燃、毒性、腐蚀性气瓶柜应在排风出口设置气体泄漏探测器；5气瓶柜门应具备自动关闭功能,井应配备防爆玻璃观察窗：气瓶柜应采取抗震措施.设计应满足当地抗震设防烈度的要求.11. .4可燃、自燃特种气体的气瓶柜应符合下列规定I1硅烷气瓶柜闭门时的排风换气次数不得低于1200次/h且应连续监控气施柜的负压，2日燃特种气体的气瓶柜应设置紫外、红外火馅探测器及水喷淋系统，3可燃特种气体的气瓶柜应设置水喷淋系统,4自燃、可燃特种气体的气瓶柜应在气瓶之间设置隔离钢板.H.3.5特种气体系统吹扫氮气的设置,应符合下列规定：1特种气体系统的吹打氯气应与独立的氨气源连接.不得与公用氯气或工艺氯气系统相连；2不相容性特种气体系统的吹打氯气不得共用同一皴气源：3吹打弱气管线应设置止回阀.8.3.6特种气体排气与废气处理的设置应符合下列规定：1特种气体系统的排气管应设置氯气稀释与连续吹扫；2不相容性特种气体的排气不得接入同一排气主管；3白燃、可燃、毒性、腐蚀拄特种气体的排气应经过尾气处理装置进行处理.排放应符合现行国家标准大气污染物综合排放标准$GB16297的有关规定.8.3.7生产厂房内的可燃和毒性特种气体管道应明敷穿过生产区墙壁与楼板处的管段应设置隹管,套管内的管道不得有焊缝套管与管道之间应采用密封措施.可燃、毒件、腐蚀性气体管道的机械连接处.应困干排风军内.8.3.8特种气体和吹扫气体的管道和管件应采用奥氏体超低碳不锈钢无缝钢管内衣面应进行洁净和钝化处理。8.3.9自燃、可燃、氧化性特种气体管道，应设置静电泄放的接地设施。8.310室外布置的特种气体管道应架空布置8.3.11当特种气体为硅烷、磷烷、碎烷时，应采用双层管道设计。8.3.1283气体采用双层管输送时.双层管的外层管道宜采用SS3O1奥氏体不锈钢管道.内层管道应与所输送特种气体的性质匹配.8.4动力气体供应8.4.1 燥压缩空气系统应根据生产T艺对供气域和供气品质等闪索确定.并应符合F列规定：1干燥球缩空气系统的供气规模应按生产工艺所需实际用气量及系统损耗H确定；2供气设备可集中布肾在生产厂房内的供气站或生产厂房外的综合动力站内.».4.2风冷式空气压缩机及风冷式干燥装苦的设备布置应防止冷却空气发生短路现象”1.1.1 4.3当I煤压缩空气输送露点低于76（时,可采用内壁电抛先不锈钢管；当干燥压缩室气输送露点低E-40C时应采用不锈钢管或镀锌碳钢管.8.4.4 压缩室气系统的管道设计应符合卜列规定：1压缩空气主管道的直径应按照全系统实际用气里进行设计支F管道的直径应按照局部系统实际用气量进行设计,支管道的直径应按照没备最大用气最进行设计；2干燥压缩空气输送露点低于-40C时,用于管道连接的密封材料直选用金属垫片或聚四氟乙烯垫片，3当设计软管连接时直选用金属软管。8.4.5 E/A空系统的设计应符合卜列规定：I2真空设备的抽气能力应按生产1之所需实际用气址及系统损耗状确定；2匚之用空设备应布置在4产厂房内的一个或多个供气站内，3名真空设备应选用能耗少、噪声低的设箱：4工名在空设备应根据工艺系统的实际情况选用水环式或干式真空泵，5匚之农空系统应设计真空压力过低保护装置8.4.6A空系统的管道设计应符合下列规定：IEZ真空管路设计应布替成支状系统；2 艺真空主管道的r径应按照全系统实际抽气址进行设计.支卜管道的自带应按照局部系统实际抽气盘进行设if*支管道的直径应按照设备最大抽气故进行设计；3 T艺真空系统的管道材料宜根据艺人空系统的血在乐力及探空特性选用不锈钢管或厚壁聚随乙端管道；4 当设计软管连接时宜选川金属软管8. 4.7清打出空系统直选用移动式清扫真空设备9供暖、通风、空气调节与净化9. I一般规定1. 1.1洁净室的空气洁净度等级以及洁净室形式应根据生产之对生产环境的要求确定.9. 1.2洁净室的气流组织应根据洁净度等级、生产工艺要求以及技术经济比较确定.10. 1.3当出现下列情况之一时空气净化调节系统宜分开设置：I生产工艺中散发的物质对其他I：序的产品质证及人员安全I!生存影响；2温湿度趋数和允许波动范围差别大的沾净室，3净化空调系统和一般空调系统；4洁净室内T艺设备发热、散湿量相差悬殊的洁净室I5系统风量过大的净化空调系统。11. .4洁净室内的新风应取下列两项中的最大值：I补偿室内排风量和保持室内正东值所需新风负之和；2保证供给洁净室内每人每小时的新风瞰不小于40m,9.1.5洁净室与周闱的空间应保持静压差，静压力应符合卜列规定：1不同等级的洁净室之间的静压差不宜小于5Pai2洁净空与非洁净室之间的静压差不应小于3Pa：3洁净室与室外的静压差应大于IOPa.9.2供暖、通风与废气处理9.2.1 供暖设计应符合现行国家标准Z.业建筑供暖通风与空气调行设计规范GB50019的有关规定.189.2.2沽净室内不应采用散热器供暖-9.2.3寒冷和严塞地区各动力站舟应根据之要求设置值班供暖。9.2.4洁净室内产生粉小和有害气体的I：艺设备和辅助设备均应设局部排风装置排风就宜为密闭式.9.2.5排风系统的设计应符合卜列规定：1金属有机化合物化学气相沉积设备的尾气应设就地处理装置，2酸、频排风应独立设置系统风机的电机应按级负荷供电；3工艺设备的排风系统应设置备用风机，4石冷凝液产生的酸、腌排风系统风管宜设置坡度和排液口且风管系统应采取防液体渗漏措施；5金属有机化合物化学气相沉枳设备的排风系统应采取防火、防爆措魄；6酸、碱、砰烷排风系统的风管不应穿越防火墙或通风、空气调节机房的隔墙和楼板巧必须穿睡时不得设置熔片式防火阀；7酸、碱排风系统的风机应设在废气处理设备的卜风侧；8工艺设备的排风温度高于601时排风管应设保温措碓；9T名设备局部排风系统的室外风管应根据当地气象条件设置防结露保温措施，IO洁净室的排风系统应设置防止室外气流倒灌的措施.9.2.6废气处理系统的设计应符合下列规定：I酸、碱废气不得采用固定床吸附剂方式处理；2酸、腻废气宜采用淋洗方式处理处理设备的填料层数、厚度和喷淋药液循环盘应计算确定；处理设备的加药、补水和排污应采用自动方式；处理设备宜就近设置日用药箱；3两台及两台以I.废气处理设备并联运行时应在每台设备的人口设贵电动或气动密闭风阀，4寒冷地区或严寒地X使用的淋洗式废气处理装'件应采取防冻措施。9.2.7假、碱废气经处理后应经排气筒排人大气,排气筒高度应符合环境W估报告的要求.排气筒出口处风速宜大于或等于18mS.并应符合现行国家标准大气污染物综合播放标准GH16297的有关规定.9.2.8金属行机化合物化学气相沉枳间应设程不低F12次h的事故排风。9.2.9使用氧气房间的吊顶上部应设置通风换气措施.排风量H为I次，h2次h吸风口上缘至顶棚F面或屋预的跄离不应大于0.Ime9.2.IO换料间应设蕾本低FW次h的全室排风系统.排风口直设置在卜部；换料枷宜设置总部排风措施：次更衣间宜设置不低于5次h的全室排风系统.9.3空气潮节与净化9. 3.I净化空气周n系统的新风应进行集中处理新风处理机组的设置应符含卜列规定：I送风机应采取自动调速措施；2空气宜经过粗效、中效、高效过滤器：级处理，3新风处理机组应有良好的气密性.在T作压力下的漏风率不得大于1.10. .2光刻间净化空气调力系统的循环风宜采用风机过渡器机组和冷却盘管处理及他洁净室净化空气潮节系统的循环风宜采用循环空气处理机组处理11. 3.3金属仃机化合物化学气相沉枳间的净化空气调W系统应独立设？L12. .4阳环空气处理机组宜采用干冷却方式处理空气13. 3.5循环空气处理机组的风机应采取自动调速措施14. 3.6空阳加热、加湿系统的设计应利于工厂余热的利用&15. 3.7洁净室的送风&应符合现行国家标准洁净厂房设计规施KGB50073的有关规定.16. 3.8净化空气调衍系统的新风吸入门位者.应远离排放行*物或可燃物的排气口.17. .9洁净室的噪声控制设计的噪声级（空态）应符合现行国家标准电子工业洁净厂房设i卜规范tGB50472的有关规定,但当洁净室采用风机过渡器机组和干冷却盘管处理循环空气时单向流和混合流洁净室的噪声级（空态）不应大于70dB（八）作单向流沽净空的噪声级空态）不应大于656B（八）94防排烟9.4.1生产厂房中防烟楼棒间、前室或合用前室宜设置自然排烟设施.当不能满足自然排烟要求时应设置机械排烟系统.机械排烟系统的设置应符合现行国家标准建筑设计防火现拖GB50016的有关规定。9.4.2生产厂房中不具备自然排烟的疏散走廊.应设置机械排烟系统.9.4.3金属行机化合物化学气相沉积设备车间内应设置机械排烟系统其他车间排烟系统的设次应符合现行国家标准，建筑设计防火规范GB50016和电子工业洁净厂房设计规范3GB50472的有关规定，9.4.4洁净室（区）的排烟系统应有防止室外气流倒灌的措施并应设置旁通管路用于平时巡检.9.4.5洁净室（M）内的排烟风管当使用产尘的保温材料进行隔热时应为具有双层金属板夹保温材料构造的成品保温风管保温材料应符合现行国家标准W建筑设计防火规他GBSooI6的有关规定内乂金属板的厚度应符合现行国家标准S通风与空渊丁程施匚质量验收规范GB50243的有关规定.10给水排水10.1一般规定10.I.1发光二极管厂的给水排水设计应符合现行国家标准建筑给水排水设计规苑GB50015的有关规定，并应符合下列规定：I设有技术夹层的发光二极管r厂.其厂房内的给水排水干管应敷设在技术夹层内；2洁净室内不宜穿过与该洁净室无关的给排水管道当必须穿过时.应采取可靠的防港漏、防结露措施.10.1.2废水管道不宜直接敷设在首层结构板F当必须白接敷设时，应采取可靠的防渗漏措施.10.2一般给水排水10.2.I应根据生产工艺对水质、水温、水压、水域的要求确定给水系统.10.2.2F列场所应设置紫急淋浴器或洗眼器：1危险化学品储存、配置区域；2可能产生化学品泄漏的区域；3毒性、腐蚀性气体的特种气体间.10. 2.3紧急淋浴器或洗眼器的服务半径不宜大于15m且服务半径内不应市障碍物.11. 2.4给水、排水管道的管材应符合卜列规定：1给水管遒的材质及接口应满足生产工艺对水质、水压、水温等的要求；2排水管道的材质及接口应满足生产废水水陵的要求.10.2.5排水收集系统的设置应符合卜列规定：I生产废水、生活污水系