衢州博来纳润电子材料有限公司年产20万平方米CMP抛光垫及配套材料项目环境影响报告表.docx
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1、“区域环评+环境标准”改革建设项目环境影响报告表(报批稿)项目名称:年产20万平方米CMP抛光垫及配套材料项目建设单位:衢州博来纳润电子材料有限公司编制日期:二。二三年七月目录第1章概述错误!未定义书签。1.1 项目由来11.2 项目特点51.3 评价工作程序51.4 分析判定相关情况错误!未定义书签.1.5 评价关注的主要环境问题及影响91.6 报告书主要结论9第2章总则Ii2.1 编制依据Ii2.2 环境功能区划is2.3 评价因子与评价标准212.4 工作等级和评价范围282.5 相关规划及环境功能区划322.6 主要环境保护目标48第3章建设项目工程分析523.1 建设项目概况及工程分
2、析523.2 项目生产概述及先进性分析553.3 项目生产工艺及产污环节553.4 项目产排源强核算汇总57第4章环境现状调查与评价604.1 自然环境现状调查与评价604.2 区域相关基础设施配套情况654.3 环境质量现状调查与评价69第5章环境影响预测与评价855.1 施工期环境影响分析855.2 营运期环境影响分析85第6章环境保护措施及其可行性论证1506.1 三废”污染防治原则1506.2 施工期染防治措施1506.3 营运期污染防治措施151第7章环境影响经济损益分析1627.1 环保投资分析1627.2 运行费用估算1627.3 环保投资与总投资、产值之间的比例分析1627.4
3、 环保设施环境效益分析1637.5 环境影响经济损益分析163第8章环境管理与监测计划1658.1 环境管理1658.2 污染物排放清单1668.3 环境管理制度、机构及保障计划1688.4 环境监测计划1718.5 排污口规范化要求1728.6 排污许可证申请173第9章环境影响评价结论1759.1 基本结论1759.2 环保审批原则符合性分析1799.3 “三线一单”符合性判定结论1829.4 要求和建议1849.5 综合结论184附图:附图1建设项目地理位置图附图2建设项目周边环境概况图附图3建设项目环境现状监测点位图附图4-1建设项目厂区平面布置图附图4-2建设项目车间平面布置示意图附
4、图5建设项目分区防渗示意图附图6衢州市生态保护红线分布图附图7衢州市环境空气质量功能区划图附图8衢州市地表水环境功能区划图附图9衢州县环境管控单元分类图附图10衢州市东港中心区DQ-10控制性详细规划图附件:附件1项目(赋码)信息表(项目代码2212330851-04-01-404041)附件2租赁协议附件3企业营业执照附件4MSDS附件5监测报告附件6环评文件确认书附件7专家意见、签到单附件8修改说明附表:附表1建设项目环境影响报告表(降级)审批基础信息表第1章概述1.1项目由来超大型集成电路芯片制造过程中为保证在300mm的晶圆上几千个芯片的性能稳定性,保证每个芯片单元中几亿到200亿(最
5、先进7nm的CPU制程)的晶体管以及按设计布线的纳米级精准对接,化学机械平坦化(CMP)技术应运而生,并成为VLSI芯片制造的核心技术之一。CMP技术的功能(图1)就是创造一个从微观(纳米级别)到宏观(大至30Omm)的全方位平坦化的纳米平台,确保晶元上的每个独立芯片单元、每个独立单元的每一部分结构的精准衔接。2aCMP纳米材料2bCMP工艺2cCMP平坦化及芯片微结构图1CMP纳米材料,CMP工艺,CMP平坦化与芯片微结构的关系CMP抛光液是CMP技术的核心耗材。根据不同的抛光对象可以大致分为硅片边抛、粗抛及精抛抛光液,浅槽隔离抛光液,多晶硅抛光液,电介质抛光液,鸨抛光液,铜抛光液和阻挡层抛
6、光液。国内的安集科技实现了国产取代铜和阻挡层抛光液,并部分国产取代了电介质和钙抛光液,在2020年的全球市占率已经达到2%。不过,安集的国产化只停留在配方阶段,核心技术的纳米材料还是要进口。即便在配方方面,要全面国产化并达到国际先进水平还有很大空间。CMP抛光液的核心技术就是纳米材料。纳米材料不仅占据了50%到95%的材料成本,还决定了抛光液性能。CMP纳米材料的特殊挑战是无杂质颗粒,无超大颗粒,无尖锐棱角,粒度与粒度分布严格可控,关键金属杂质含量在PPm以下。更为重要的是纳米材料质量稳定性必须高度一致。这些挑战性的技术指标对于CMP纳米材料的稳定量产十分艰巨,国内至今还不具有生产这种纳米材料
7、的能力。电子化学品产业是衢州经济开发区的主导产业,提出湿化学品、电子特气在国内市场占有率应达到中远期50%远期70%的目标,打造国内领先的电子化学材料供应基地。衢州博来纳润电子材料有限公司(以下简称“博来纳润”)成立于2022年,是以上海新阳半导体材料股份有限公司为首投资兴建的一家专业从事CMP抛光垫及配套材料生产的企业。本次项目总体定位是为集成电路及平板显示生产企业服务,提供全过程化学品配套生产能力,立足于替代进口。项目将具有自主知识产权的纳米氧化硅等CMP材料(抛光垫、氧化硅抛光液、硅溶胶产品)进行产业化生产,破除了制约研发升级的壁垒,形成稳健的国内供应链体系,不但大大降低了物流成本,也为
8、集成电路产业供应链安全等提供了保障。项目的建设将大大改变现有芯片级纳米氧化硅磨料100%依赖进口产品的现状,不仅给集成电路行业带来巨大的变革,从产品价格、产品规模、产品迭代效率到产业化集群式发展,彻底解决该产品的“卡脖子”问题,而且能够有机会赶超美国和日本等国外先进产品。本项目选址于衢州经济开发区东港工业园区银仓路10号2幢,租用浙江盛汇投资有限公司闲置厂房(建筑面积13676.62m2),采用先进的工艺技术装备,采取智能化和绿色化的生产方式,最终形成年产20万平方米CMP抛光垫及配套材料的生产规模,即10万平方米聚氨酯抛光垫、10万平方米无纺布抛光垫、IOoOtza氧化硅抛光液、2000ta
9、普通硅溶胶、100otZa高纯硅溶胶、820.75ta副产硫酸钠,其中750ta普通硅溶胶用于氧化硅抛光液的原料作为中间产品,其余1250ta普通硅溶胶产品都作为市场产品外售。项目总投资3000万元,该项目己通过网上备案赋码(项目代码2212-330851-04-01-404041)。根据中华人民共和国环境影响评价法及国务院令第682号建设项目环境保护管理条例有关规定,应对建设项目进行环境影响评价,从环保角度论证项目建设的可行性。为此,衢州博来纳润电子材料有限公司委托浙江省工业环保设计研究院有限公司对建设项目进行环境影响评价。3、项目环评分类管理类别及审批部门(1)环评分类管理类别根据建设项目
10、环境影响评价分类管理名录(2021年)规定:建设内容涉及本名录中两个及以上项目类别的建设项目,其环境影响评价类别按照其中单项等级最高的确定。项目主产品为20万平方米CMP抛光垫、IoOotza氧化硅抛光液、2000ta普通硅溶胶、IooOtZa高纯硅溶胶,属于国民经济行业分类(GB/T47542017)3985电子专用材料制造所列的CMP材料中的研磨液及配套化学品、研磨垫材料(集成电路)“,衢州市智造新城衢州智造新城管委会也按C3985电子专用材料制造进行备案赋码(项目代码2212-330851-04-01404041)。项目普通硅溶胶与高纯硅溶胶产品,涉密删除,同时回收副产硫酸钠,属于电子化
11、工材料制造;氧化硅抛光液,涉密删除,属于电子化工材料制造;聚氨酯类CMP抛光垫,涉密删除,无纺布类CMP抛光垫涉密删除,均属于电子专用材料制造(电子化工材料制造除外)。序号项目类别报告书报告表登记表备注三十六、计算机、通信和其他电子设备制造业3981电子元件及电子专用材料制造398半导体材料制造;化工材料制造印刷电路板制造;电子专用材料制造(电子化工材料制造除外);使用有机溶剂的:有酸洗的以上均不含仅分割、焊接、组装的/普通硅溶/IX、J硅溶胶产81电子元件及电子专用材料制造398半导体材料制造;工材料制造印刷电路板制造;电子专用材料制造(电子化工材料制造除外);使用有机溶剂的;有酸洗的以上均
12、不含仅分割、焊接、组装的/CMP抛光液81电子元件及电子专用材料制造398半导体材料制造;电子化工材料制造印刷电路板制造;电子专用材料制造(电子化工材料制造除外);使用有机溶剂的;有酸洗的以上均不含仅分割、焊接、组装的/CMP抛光垫(聚氨酯类、无纺布类)综上所述,判定项目应编制环境影响报告书。“区域环评+环境标准环评等级的确定根据衢州绿色产业集聚区管委会衢州市生态环境局关于印发衢州绿色产业集聚区“区域环评+环境标准改革实施方案的通知(衢集办201815号):“环评审批负面清单内的项目仍实行环评审批,不得降低环评等级。对不增加重点污染物排放量的工业企业“零土地”技改项目和环评审批负面清单外且符合
13、准入环境标准的项目(环评等级降为环境影响报告表的项目除外),实行承诺备案管理,由建设单位作出书面承诺后,自行公开承诺书和环评报告等相关信息,在项目开工前向环保部门备案,环保部门依法公开相关信息。其中,按照国家环评分类管理目录填报环境影响登记表的项目,由建设单位在项目建成并投入生产运营前,在网上自行填报环境影响登记表并直接办理备案手续。”衢州绿色产业集聚区建设项目环评审批负面清单:一、电镀、印染、化工、造纸、制革等重污染项目。二、列入产能过剩行业和钢铁、水泥、有色金属等八大高耗能行业的项目三、热电联产、垃圾焚烧、危险废物收集和处置、餐厨垃圾处置、工业污水集中处理等基础设施项目四、涉及新增国家控制
14、类重金属(汞、铅、镉、格、碑)污染物排放项目五、危险化学品仓储项目六、核与辐射项目七、环评审批权限不在市级授权集聚区的项目八、涉及环境敏感区的,可能会对生态和环境造成重大影响的项目九、其他可能产生高污染、高环境风险的建设项目本项目主要从事普通硅溶胶、高纯硅溶胶、氧化硅抛光液、CMP抛光垫(聚氨酯类、无纺布类)等生产,属于具有特定要求且仅用于电子产品的材料生产,故属于C3985电子专用材料制造,属于新材料的产业范畴,为二类工业项目,也不属于“涉及环境敏感区的,可能会对生态和环境造成重大影响的项目”、“其他可能产生高污染、高环境风险的建设项目”。因此,项目未列入“区域环评+环境标准”改革实施方案中
15、的环评审批负面清单内,本项目环评等级可降级,最终确定项目环评类别为“区域环评+环境标准”环影响报告表,(2)审批部门判定根据浙江省生态环境厅关于发布省生态环境主管部门负责审批环境影响评价文件的建设项目清单(2019年本)的通知(浙环发201922号)和衢州市生态环境局市本级审批环境影响评价文件的建设项目清单(2020年本),建设项目不属于省生态环境主管部门负责审批环境影响评价文件的建设项目清单内项目,属于市局负责审批环境影响评价文件的建设项目清单内项目,该项目归衢州市生态环境局智造新城分局审批。我公司接受委托后,即组织有关人员赴现场进行踏勘及社会调查、收集有关资料,并征求当地环保管理部门的意见
16、及委托监测,在此基础上根据相关技术导则和规范要求编制了该环境影响报告文件(送审稿)。报告评审会于2023年6月16日在衢州召开,我公司与建设单位共同努力收集完善相关基础资料,根据专家评审意见进行了认真的修改和完善,形成环境影响报告(报批稿),报请主管部门审批。1.2 项目特点涉密删除。1.3 评价工作程序环境影响评价工作分三个阶段:1、前期准备、调研和工作方案阶段:接受委托后,收集及研究相关工程相关资料,进行初步工程分析,开展环境状况调查,进行环境影响因素识别、评价因子筛选、明确评价重点和环境保护目标,确定工作等级、评价范围及评价标准,制定工作方案。2、分析论证和预测评价阶段:对项目进行工程分
17、析,并同时对评价范围内的环境现状进行调查、监测和评价,各环境要素进行环境影响预测与评价。3、环境影响评价文件编制阶段:根据建设项目对环境的影响程度和范围,提出切实可行的环保措施,并进行技术经济论证,给出污染物排放清单,给出建设项目环境影响评价结论,编制环境影响评价文件。1.4 分析判定相关情况1.4.1 生态环境分区管控方案符合性根据衢州市“三线一单”生态环境分区管控方案(2020年12月),项目位于衢州市智造新城,所在区域属于浙江省衢州市衢江区东片产业集聚重点管控区(ZH33080320038),主要从事CMP抛光垫及配套材料的生产,符合关于进一步完善衢州市区工业投资项目决策咨询服务制度的意
18、见(衢政发(2017)47号)的要求,并已通过衢州智造新城管委会的备案。项目属于C3985电子专用材料制造行业,为二类工业项目,符合该区域产业发展导向,项目污染物排放水平可达到同行业国内先进水平。本次项目废气经过治理后达标排放,不降低周边大气环境质量;厂区内做好雨污分流、清污分流、污污分流,废水经厂内处理达标后纳管,符合“污水零直排”建设要求;固废无害化处置不外排;严格落实土壤和地下水污染防治措施,以减少项目实施对周边环境的影响。项目实施后新增VoCS总量通过区域调剂解决,新增废水排放量拟通过区域排污权申购交易解决,符合总量控制原则。企业将建立完善的突发环境事件应急体系,定期开展应急演练和培训
19、,建立常态化的企业隐患排查整治监管机制。因此,项目符合区域“三线一单”生态环境分区管控方案相关要求。1.4.2 相关规划及规划环评符合性判定项目选址于衢州智造新城东港工业园区银仓路10号2幢,属工业用地,主要从事普通硅溶胶、高纯硅溶胶、氧化硅抛光液、CMP抛光垫(聚氨酯类、无纺布类)、副产硫酸钠等产品生产;项目高科技含量高、产品附加值高,其生产工艺、设备和环保设施达到同行业国内先进水平;对照衢州绿色产业集聚区东港片区规划,项目选址于节能环保与智能装备制造组团,符合园区规划产业发展导向及空间布局;对照衢州绿色产业集聚区东港片区规划环评提出的环境准入条件清单,项目符合产业结构调整指导目录(2019
20、本)等相关产业政策,不属于规划环评提出的禁止准入产业,不属于新建电镀项目或生产线(为引进的高端项目配套除外)、含筑电镀等金属表面处理工艺技术的范畴,且项目建设符合关于进一步完善衢州市区工业投资项目决策咨询服务制度的意见(衢政发(2017)47号)的要求,并已通过衢州智造新城管委会的备案。因此项目实施能符合衢州市城市总体规划、衢州绿色产业集聚区东港片区规划和规划环评的要求。1.4.3 产业政策符合性判定对照产业结构调整指导目录(2019年本),项目产品属于鼓励类“二十八”:信息产业-22:“半导体、光电子器件、新型电子元器件(片式元器件、电力电子器件、光电子器件、敏感元器件及传感器、新型机电元件
21、、高频微波印制电路板、高速通信电路板、柔性电路板、高性能覆铜板等)等电子产品用材料”范围。对照关于发布实施限制用地项目目录(2012年本)和禁止用地项目目录(2012年本)的通知,项目不属于限制类和禁止类项目。而且项目建设符合关于进一步完善衢州市区工业投资项目决策咨询服务制度的意见(衢政发(2017)47号)的要求,并已通过衢州智造新城管委会的备案赋码。因此,项目实施能符合国家、省市相关产业政策要求。1.4.4 相关产业准入要求符合性判定1、长江经济带发展负面清单指南(试行,2022年版)浙江省实施细则符合性分析对照长江经济带发展负面清单指南(试行,2022年版)浙江省实施细则和环境保护综合名
22、录(2021版),本项目主要从事CMP抛光垫及配套材料的生产,不涉及“高污染、高环境风险产品项目。另根据浙江省开发区(园区)名单(2021年版),本项目所在地为衢州经济开发区东港工业园区(属于智造新城),为合规园区。因此项目建设能符合长江经济带发展负面清单指南(试行,2022年版)浙江省实施细则的要求。2、关于促进长三角地区经济社会与生态环境保护协调发展的指导意见符合性分析根据生态环境部办公厅、上海市人民政府办公厅、江苏省人民政府办公厅、浙江省人民政府办公厅2018年联合发布的关于促进长三角地区经济社会与生态环境保护协调发展的指导意见(环办环评201815号)要求:口(十三)加大水污染防治力度
23、,推进流域水生态环境改善。,,实施主要水污染行业排放总量管控,制定流域统筹的行业水污染物排放绩效约束,严格行业环境准入。实施氮磷双控,制定江湖一体的氮磷排放标准,强化太湖流域、南水北调受水湖泊和钱塘江流域上游富营养化控制。(浙西南地区)严格限制布局化工等重污染行业,按照空间管控要求划定禁化(禁止石化、化工企业)区,加快实施上游地区化工、印染、电镀等高耗能、高污染产业转型,统筹规划城乡基础设施建设、农业面源污染控制、畜禽养殖和工业污染治理,保障入湖氮磷营养物持续下降。”本项目主要从事CMP抛光垫及配套材料等产品生产,属于电子专用材料制造,属于新材料的产业范畴,为二类工业项目;高科技含量高、产品附
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