年产90亿片小信号集成微电子产品项目竣工环境保护验收监测报告表.docx

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1、江苏威森美微电子有限公司年产90亿片小信号集成微电子产品项目（重新报批）竣工环境保护验收监测报告表建设单位：江苏威森美微电子有限公司编制单位：江苏威森美微电子有限公司二。二四年一月建设单位法人代表：项目负责人:报告编写人：建设单位:江苏威森美微电子有限公司电话:15396708686传真：/邮编：224500地址:江苏滨海经济开发区工业园南区表一建设项目名称年产90亿片小信号集成微电子产品项目（重新报批）建设单位名称江苏威森美微电子有限公司建设项目性质新建4改扩建技改迁建（划4）建设地点江苏滨海经济开发区工业园南区主要产品名称小信号集成微电子产品设计生产能力90亿片/年实际生产能力70亿片/年

2、建设项目环评时间2023年6月开工建设日期2023年8月调试时间2023年8月-2023年9月现场验收监测时问2023年12月18日12月20日环评报告表审批部门盐城市滨海生态环境局环评报告表编制单位绿政生态环境咨询江苏有限公司环保设施设计单位/环保设施施工单位/投资总概算50000万元环保投资总概算88万元比例0.18%实际总投资50000万元实际环保投资88万元比例0.18%验收监测依据1、中华人民共和国环境保护法，自2015年1月1日起施行；2、中华人民共和国大气污染防治法，自2018年10月26日起施行；3、中华人民共和国水污染防治法，自2018年1月1日起施行；4、中华人民共和国噪声

3、污染防治法，自2022年6月5日起施行；5、中华人民共和国固体废物污染环境防治法，自2020年9月1日起施行；6、国务院关于修改的决定（国务院令第682号，2017年7月16日）；7、江苏省排污口设置及规范化整治管理办法（江苏省环境保护局，苏环控1997122号，1997年9月21日）；8、建设项目竣工环境保护验收技术指南污染影响类（生态环境部，公告2018年第9号，2018年5月15日）；9、关于发布建设项目竣工环境保护验收暂行办法的公告（环境保护部，国环规环评（2017）4号，2017年11月20日）；10、关于加强建设项目重大变动环评管理的通知（江苏省环境保护厅，苏环办(2015)256

4、号，2015年10月25日)；11、关于建设项目竣工环境保护验收有关事项的通知(江苏省环境保护厅，苏环办201834号，2018年1月26日)。12、江苏威森美微电子有限公司年产90亿片小信号集成微电子产品项目(重新报批)环境影响报告表(报批稿)(绿政生态环境咨询江苏有限公司，2023年6月)；13、江苏威森美微电子有限公司年产90亿片小信号集成微电子产品项目(重新报批)环境影响报告表审批意见(盐城市滨海生态环境局，盐环滨表复202336号，2023年8月3日)；14、江苏威森美微电子有限公司提供的其他相关资料。1、废气本项目产生的废气主要为固晶、模压、固化过程中产生的挥发性有机废气(以非甲烷

5、总妙计)以及氨气分解炉可能逸散的氨气。本项目非甲烷总烧、氨气执行半导体行业污染物排放标准(DB32/3747-2020)表3、表4标准，厂区内非甲烷总燃排放执行大气污染物综合排放标准(DB32/4041-2021)表2无组织排放监控浓度限值。表本项目大气污染物排放标准验收监测评价标准、标号、级别、限值污染物最高允许排放浓度(mgm3)最高允许排放速率(kgh)单位边界大气污染物排放监控浓度限值(mgm3)标准来源监控浓度限值mgm3监控位置非甲烷总50/2.0边界外任何1小时平均半导体行业污染物排放标准(DB32/3747-2020)表3、表4标准氨/1.0表1-2厂区内VOCs无组织排放标准

6、污染物监控点限值(mg/n?限值意义无组织排放监控位置非甲烷总嫌6监控点处Ih平均浓度值20监控点任意一次浓度值在厂房外设置监控点2、废水本项目废水仅为职工生活污水，经化粪池预处理后接管滨海城南工业污水处理厂。接管标准执行半导体行业污染物排放标准(DB32/3747-2020)表1间接排放限值标准要求。滨海城南工业污水处理厂尾水执行城镇污水处理厂污染物排放标准(GB18918-2002)表1中一级A标准。具体指标详见表1-3O表13废水污染物排放执行标准一览表(mgL,pH、色度除外)项目pHCODSS氨氮总氮总磷基准排水量m3/万块产品半导体行业污染物排放标准(mgL)6-930025020

7、353.03.5污水处理厂接管标准(mgL)6950040045708/污水处理厂尾水排放标准(mgL)6950105(81150.53.5辛注：PH无量纲：括号外数值为水温12时的控制3、噪声排放标准营运期厂界噪声排放执行工业企业厂(GB12348-2008)表1中3类功能区对应表14工业企业厂界环土朗标，括号内数值为水温12C时的控制指标,一界环境噪声排放标准标准限值，具体见表1-4。竟噪声排放限值执行标准昼间夜间标准来源3类区6555工业企业厂界环境噪声排放标准(GB12348-2008)3、固体废物标准危险废物执行危险废物贮存污染控制标准(GB18597-2023)、危险废物收集贮存运

8、输技术规范(HJ2025-2012)、江苏省生态环境厅关于进一步加强危险废物污染防治工作的实施意见(苏环办2019327号)、危险废物识别标志设置技术规范(HJI276-2022)、省生态环境厅关于做好V危险废物贮存污染控制标准等标准规范实施后危险废物环境管理衔接工作的通知(苏环办2023154号)等标准规范。根据一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准(GB18599-2020),一般固废库应满足相应防渗漏、防雨淋、防扬尘等环境保护要求。表二项目概况及工艺流程2.1 项目地理位置及平面布置本项目位于江苏滨海经济开发区工业园南区，厂址中心位置坐标为：1194912.987，3357,40.942

9、。项目地理位置图详见图21。图24项目地理位置图本项目租赁盐城市海慧置业有限公司1#厂房1层、2层作为生产及办公使用,1#厂房3层、4层为盐城创盈利科技有限公司，位于园区西南角。北侧为爱光电子有限公司，东侧为闲置厂房，南侧依次为人民南路、电子产业园二期，西侧依次为人民南路、盐城矽润半导体有限公司。本项目周边环境概况详见图2-2o电子产业园:电了产业园,盐城矽 润半导 体有限用地口卫生防护距高UJ厂界外500米他用空气环境保护目斥图22项目周边环境现状图项目厂区一层主要为焊接车间、模压固化车间、烘箱烤房、冷库、原材料仓库、包材仓库、固晶车间，二层主要为固晶车间、测试车间、实验室、切筋车间、成品仓

10、库。本项目车间平面布置图详见图2-3和图2-4。常 i Oa 0f e图23 一楼车间平面布置图二楼成品仓诲测试车间包装材 料仓库会议室尺蹲寮切筋车间测试车间* *长办公IEIftltlEIi M A-nE a aD A Mim D aXSS配件检可今经实的有经理室（小）图24二楼车间平面布置图2.2 主要建设内容江苏威森美微电子有限公司于2019年10月委江苏新清源环保有限公司编制完成了江苏威森美微电子有限公司年产90亿片小信号集成微电子产品项目环境影响报告表，并于2019年10月18日取得盐城市滨海生态环境局批复意见（盐环表复201922032号），项目批复后，由于对部分生产工艺进行调整，

11、增加了氨分解炉1台，用于制备氮气、氢气，作为固晶、焊接工序的保护气，并配套增加了1台11m3液氮储罐、1个8（X）L液氨钢瓶，2台空温式气化器。根据污染影响类建设项目重大变动清单（试行）的通知（环办环评函（2020）688号），项目发生了重大变动，于是建设单位于2023年6月委托绿政生态环境咨询江苏有限公司编制完成了江苏威森美微电子有限公司年产90亿片小信号集成微电子产品项目（重新报批）环境影响报告表，并于2023年8月3日取得了盐城市滨海生态环境局审批意见（盐环滨表复202336号）。项目已于2023年9月全部建设完成，根据建设项目环境保护管理条例（国务院（2017）第682号）文件的要求，

12、我公司在进行现场勘查和环保三同时执行情况检查后，并结合江苏蓝天环境检测技术有限公司出具的验收检测报告（报告编号：LT231619）和现场环保管理检查及企业所提供资料的基础上，编制了本验收监测报告。本项目主体工程及产品方案见下表2-1o表21主体工程及产品方案一览表序号工程名称（车间、生产装置或生产线）产品名称及规格环评设计能力验收期间日均生产能力年运行时数年设计能力折算日均生产能力1小信号集成微电子产品生产线小信号集成微电子产品90亿片/a0.3亿片/d0.224亿片3600h0.22亿片本项目生产设备情况见表2-2o表22主要设备一览表序号设备名称规格型号数量（1令/套）备注环评阶段实际情况

13、1固晶机LDAB-Il209209环一与评致固晶车间2焊线机Ahawkxtreme101IOI焊接车间3注塑机SF-550T1515模压固化车间4排片机耀通自动排片机1414固晶车间5去废机耀通自动去废机1414测试车间6烤箱BG-IO88烘烤箱房7切筋机耀通快速机1212切筋车间8分选机赢朔6363测试车间9测试仪联动3838测试车间10空压机欣达33造气间11空气缓冲罐青岛海空33造气间12真空机Atlascopco22造气间13车间通风排风系统/1I/14两级活性炭吸附器/22一用一备，模压固化车间15液氮储罐Ilm311氮气站16空温式气化器VQN-300/40C-1(3OONm3h)

14、22造气间17氨分解炉LSAQ/FC-5型11造气间18配比机/11造气间19液氨钢瓶（配备水喷淋装置）800L11造气间，水喷淋装置为泄露状态下应急装置本项目主要建设内容包括主体工程、环保工程、辅助工程和公用工程等。项目工程建设情况见表2-3O表23主要建设内容一览表器工程名称环评设计情况实际建设情况备注主体工程1#厂房1B2层1#厂房共4层，厂房总高18米，占地面积4420m2,1层：焊接车间、模压固化车间、烘箱烤房、冷库、原材料仓库、包材仓库、固晶车间等；2层：固晶车间、测试车间、实验室、切筋车间、成品仓库等与环评一致1#厂房3层、4层为盐城创盈利科技有限公司，主要生产电子贴片类产品，无

15、生产废水产生造气室1#厂房西侧，高3米，占地面积3Om2,用于制备混合保护气、贮存液氨与环评一致/贮运工程原材料仓库位于1#厂房2层，占地面积182m2,用于贮存芯片、引线框架、铜丝与环评一致/包材仓库位于1#厂房2层，占地面积29311用于贮存成品包装材料与环评一致/成品仓库位于1#厂房2层，占地面积185m2与环评一致/冷库1台冷库，位于1#厂房1层，占地面积5Om2,制冷剂为R22,目前未淘汰使用。用于贮存黑胶、清润模条与环评一致/液氨钢瓶位于厂房西侧的造气间，1个8OOL与环评一致/氮气站位于厂房西侧，占地面积3Om2,暂存1个Un?液氮储罐与环评一致/辅助工程办公区位于车间内，根据需

16、要设置现场办公室、仓库办公室、会议室、财务室、总经理室等，公司不提供食堂和宿舍与环评一致/实验室1#厂房2层设置实验室，主要利与环评一致/用仪器设备测试产品，不使用化学试剂公用工程给水生活、生产给水来源于市政给水管网；3OOOm3a与环评一致/排水污水DN400,进入园区污水管网与环评一致依托盐城创盈利科技有限公司现有废水排放口、雨水管网、雨水排口等雨水DN8OO,雨污分流，进入园区雨水管网，排入妇女河与环评一致供电当地市政电网供给，用电量800万kWh/a与环评一致/空压3台i8m3min空压机与环评一致/环保工程模压、固化废气负压管道+两级活性炭装置+2Om高排气筒（DAOol）与环评一致

17、/废水生活污水无生产废水产生。生活污水产生量2400m3a,经化粪池预处理后接管滨海城南工业污水处理厂与环评一致依托盐城创盈利科技有限公司现有化粪池噪声设备噪声选取低噪设备、合理布局；局部消声、隔音；厂房隔音等与环评一致/固体废物一般工业固堆场1座暂存区，位于厂房北侧，占地面积IOm2与环评一致/危废仓库1座，位于厂房北侧，占地面积IOm2,1层，高3米与环评一致依托工程本项目生产车间依托于出租方已建设好的厂房，本项目化粪池、雨污管网及雨污排放口依托出租方。本项目生活污水排放量共2400m3a,每天排放量为8?,无生产废水排放。现有化粪池处理能力每天15（目前已使用5m3d）,该化粪池仅本项目

18、和盐城创盈利科技有限公司共用，无其他排污单位，坚持“谁污染谁负责”，各自承担相应的环保责任，依托现有化粪池处理生活污水可行。与环评一致/2.3 原辅材料消耗及水平衡2.3.1 本项目主要原辅材料消耗情况本项目主要原辅材料消耗情况详见表2-40表24主要原辅材料消耗表序名称主要成形态包装年用量(ta)储存位最大储号分/规格方式环评设计实际情况置存量t/a1晶片/固态袋装90亿颗70亿颗原材料300000颗2线架/固态袋装90亿颗70亿颗仓库300000颗3氧脂封黑环树塑料酚醛树脂5-15%、三氧化二锚V2%、麒VI%、滨化环氧树脂V2%固态15kg箱10078冷库54清润模条葱酸醇衍生物3.9%

19、、乙醇胺3.2%、二氧化硅30.5%、抑制剂1,4-双叔丁基过氧异丙基苯1.2%、三羟甲基丙烷三甲基丙烯酸酯0.7%、乙丙三元胶EPDM50固态IOkg/箱3.62.8冷库0.3.5%、二氧化钛1.2%5铜丝铜固态卷装0.30.25原材料仓库0.026液氨/液态800L/钢瓶2525造气室0.487液氮/液态1Im3/储罐100O100O氮气站8.918包装纸箱/固态捆装86.5包材仓库19R22(制冷剂)二氟一氯甲烷液态/0.0080.008不贮存0.00810分炉化可氨解催市Mgo载体、银、助长剂等固态/0.020.02不贮存0.022.3.2水平衡本项目用水主要为职.项目生活用水量为3(

20、2400m3ao经化粪池预处J斯衅笊3000工生活用水。r)00m3a,排放系数以0.8计，生活污水排放量为里后接管滨海城南工业污水处理厂。J600一一滨海具墟南生活用水24W24jL.中话沟水船/图22.4生产工艺及产污环节实际生产工艺流程及5项目水平衡图流程产污节点图详见图单位:2-6O三Jm3a4片JM*图26生产工艺流程图及产污环节图工艺流程简述：(1)固晶利用固晶机自行控制，通过高温熔接晶片背部金属，结合微压力，瞬间将芯片贴合在基岛上。(2)焊线以铜丝作为焊线材料，通过压焊技术来连接芯片电极和引线框架的内引线，构成电回路。其主要原理为利用高频振动波传递到两个需焊线的物体表面，在加热(

21、160-18(TC)加压的情况下，使两个物体表面相互摩擦而形成分子层间的熔合，该工序不使用其他焊材和助焊剂，在75%H2、25%N2的氢氮混合气体中完成。由于操作温度比较低，且其为压力焊接，因此压焊过程无焊烟产生，无废焊丝产生。混合气由氨分解炉制备，为75%H2、25%N2的氢氮混合气，属于清洁气体，焊线完成后无组织排放。(3)混合气制备焊线工序在由氮气和氢气气组成的保护气中完成。项目利用氨分解炉制备产生氢气、氮气，再利用氢气配比机调节氮气流量，氮气由液氮通过汽化器汽化为氮气进行补充。氨分解炉的工作原理：液氨加热至800850,在银基催化剂作用下，氨被分解，得到含75%H2、25%N2的氢氮混

22、合气体，转化率99.9%,0.1%残余氨被沸石分子筛吸附去除，沸石分子筛安装在冷却器后。化学反应式为：2NH33H2+N2项目银基催化剂定期更换，有废催化剂(Sl)、废沸石分子筛(S2)产生。(4)模压利用注塑机模具在处理后的半成品表面包裹上一层环氧树脂塑封料，从而对产品中核心部分起到保护作用。注塑机加热温度为175C。注塑完成后，利用冷冲模具冲切去除封装完成后附着在产品表面的附着物。模压过程会产生模压废气(Gl)和废塑封料(S3)o注塑机模具使用一定批次后，使用清润模条进行加压清洁，该过程会产生废清润模条(Sl0)。(5)固化：将半成品放入烘箱内，在150200C下，加热保温l-2.5h.此

23、过程产生固化废气(G2)。(6)表面处理后续需进行镀锡表面处理，该工序委外处置。(7)切筋成型产品在生产过程中是连在一起的，因此需使用切筋机将连在一起产品分开并对引脚的外观形状进行尺寸成型。该工序会产生废边角料(S4)o(8)分选测试、包装入库切筋之后的产品在分选机上面进行产品外观检测，并通过测试仪来判别元器件电性能，合格品直接包装入库。该过程会产生不合格产品(S5)02.5项目变动情况本项目建设情况与环评报告基本一致，未发生变动情况。表三主要污染源、污染物处理和排放1、废气本项目产生的废气主要为模压、固化过程中模压及固化废气。本项目塑封件主要成分为环氧树脂，其中模压工序加热温度为175、固化

24、温度为120。高温下环氧树脂会有少量的有机废气产生，以VOCs计。本项目在模压和固化设施上方设置集气罩，对产生的VOCS进行收集，收集的废气采用两级活性炭吸附处置，处理后的废气通过1根20高排气筒（DAool）高空排放。活性炭罐活性炭箱排气筒2、废水本项目在生产运营过程中的废水主要为职工生活污水，经化粪池处理后，排入园区污水管网，进入滨海城南工业污水处理厂进行处理，尾水达标排入淮河入海水道南泓。项目废水产生及排放情况见表3-1。表31废水污染物产生和排放情况汇总表废水类别来源污染物种类排放规律治理设施排放去向生活废水职工COD、SS、氨氮、总磷、总氮间断化粪池进入滨海县城南工业污水处理厂，处理

25、后的尾水排入淮河入海水道南泓污水排放口（DWooI）雨水排放口（YSooD3、噪声本项目噪声主要为各类生产设备、风机等运行时产生的噪声，产生的噪声级约为7085dB（八）o通过合理布局、厂房隔声、距离衰减以及加装减振垫等措施减少污染物排放。4、固废本项目产生的固体废物主要为废催化剂、废沸石分子筛、废塑封料、废边角料及不合格产品、废包装物、废空气过滤器、废活性炭、生活垃圾、废清润模条。其中废催化剂、废活性炭、废清润模条委托有危废处置资质单位处置；废沸石分子筛、废塑料封、废边角料及不合格品收集后外售；废包装物、废空气过滤器收集后委外处置；生活垃圾由环卫部门定期收集处理。厂区内设置了一般工业固体废物

26、贮存库和危废废物贮存库。危废废物仓库内部摄像头内部地面防渗及收集沟危废方库应急物资5、监测点位图本项目验收监测中废水、废气、噪声监测点位见图3-1。北Oje组织废气监测图3-1验收监测点位图表四建设项目环境影响报告表主要结论及审批部门审批决定一、建设项目环境影响报告表主要结论综上所述，本项目的建设符合国家及地方产业政策，选址合理；各项污染物可以达标排放，对环境的影响也比较小，不会造成区域环境功能的改变，在建设单位切实落实本报告提出的各项污染防治和风险防范措施，加强监督管理的前提下,从环境保护角度，建设项目环境影响可行。二、审批部门审批决定江苏威森美微电子有限公司年产90亿片小信号集成微电子产品

27、项目（重新报批）环境影响报告表于2023年8月3日取得盐城市滨海生态环境局审批意见（盐环滨表复202336号），审批意见如下：盐城市生态环境局盐环滨表复202336号关于江苏威森美微电子有限公司年产90亿片小信号集成微电子产品项目（重新报批）环境影响报告表的审批意见江苏威森美微电子有限公司：你公司报送的年产90亿片小信号集成微电子产品项目（重新报批）环境影响报告表（以下简称“报告表”）收悉。该项目公示期间未接到反对意见。经研究，作出如下审批意见：一、根据江苏科远环境评估中心有限公司技术评估意见和环评报告结论，在切实落实本报告提出的各项污染防治和风险防范措施，加强监督管理的前提下，同意你公司在江

28、苏滨海经济开发区工业园南区人民南路东侧、上海路北侧（租赁盐城市海慧置业有限公司现有1#厂房的1层和2层）建设年产90亿片小信号集成微电子产品项目（重新报批）。二、该项目实施必须严格按照环评申报的原料、产品、生产工艺及规模组织建设并严格落实污染治理方案，确保各项污染物排放符合国家及地方规定的排放标准。营运期重点落实以下要求：i、废水治理方面。经修池处理的生活污za过园区管网排入*髓县城南污水处理厂处理。废水并瞅执行半导体行业污染物A威标抽(DB32/3747-2020)表1间期瞅限值标准要求。2、废气治理方面。模压及固化废气经负压管道收集十二级活性炭吸附装置处理，处理达标的尾气通过20miDAO

29、Ol排气筒排放。同时加强无组织废气的管理，造气间设置水喷淋装置作为泄漏状态下的应急装置。产生有机废气的车间在符合安全生产、职业卫生相关规定的前提下密闭管理，确保厂区、厂界无组织监控点达标。有组织、无组织排放的非甲烷总煌计氨分别执行半导体行业污染物排放标准(DB32/3747-2020)表3、表4标准，厂区内非甲烷总嫌执行大气污染物综合排放标准(DB32/4041-2021)表2无组织排放监控浓度限值。项目以1#厂房为边界设置50米卫生防护距离，该卫生防护距范围内不得有居民、学校、医院等敏感保护目标。3、生产厂房的门窗增加隔音装置或采取有效的隔音降噪措施，采用低噪声设备，尽量减小噪声排放；高噪声

30、源远离厂界，确保厂界噪声符合GB12348-2008工业企业厂界环境噪声排放标准3类排放标准，严禁噪声扰民。4、固体废物按照“资源化、减量化、无害化”处理处置原则妥善处理，确保实现零排放。废催化剂、废活性炭、废清润模条委托有危废处置资质单位处置;废沸石分子筛、废塑料封、废边角料及不合格品收集后外售；废包装物、废空气过滤器收集后委外处置；生活垃圾由环卫部门定期收集处理。所有固体废物严禁乱堆乱放，私自倾倒。危险废物的贮存、处置场所必须符合危险废物贮存污染控制标准(GB18597-2001)相关要求。三、加强安全生产管理和氨分解炉使用过程中的安全监控，制定切实可行的应急风险防范措施，防止火灾等事故发

31、生。该项目涉及安全消防等相关手续，须报请相关部门批准。四、严格按照报告表所列自行监测方案实施日常监测，并根据监测结果优化废气治理措施。五、根据盐城市滨海生态环境综合行政执法局现场检查笔录，该项目暂未建设。六、该项目总量指标已经我局综合科审核备案。七、按企业承诺，在污水接管滨海县城南工业污水处理厂前，该项目不得生产。八、严格执行排污许可制度，项目配套的环境保护设施与主题工程必须同时设计、同时施工、同时投入使用，竣工后按规定程序实施环境保护竣工验收。请盐城市滨海生态环境综合行政执法局加强对该项目的日常监管。九、项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、治理生态破坏的措施发生重大变动的，应

32、当重新报批项目的环境影响评价文件。自本批复批准之日起，如超过5年方决定工程开工建设的，环评文件须报我局重新审核。审批意见与建设单位落实情况详见京表4-1审批部门审扣E4-10二决定及落实情况表审批要求建设单位落实情况废水治理方面。经化粪池处理的生活污水通过园区管网排入滨海县城南污水处理厂处理。废水排放执行半导体行业污染物排放标准(DB32/3747-2020)表1间接排放限值标准要求。项目无生产废水产生，生活污水依托厂区现有的化粪池进行处理，监测结果表明，经处理后的废水满足半导体行业污染物排放标准(DB3237472020)表1间接排放限值，符合项目审批要求。废气治理方面。模压及固化废气经负压

33、管道收集+二级活性炭吸附装置处理，处理达标的尾气通过20miDAOOl排气筒排放。同时加强无组织废气的管理，造气间设置水喷淋装置作为泄漏状态下的应急装置。产生有机废气的车间在符合安全生产、职业卫生相关规定的前提下密闭管理，确保厂区、厂界无组织监控点达标。有组织、无组织排放的非甲烷总嫌计氨分别执行半导体行业污染物排浏示蕾(DB32/3747-2020)表3、表4标准，厂区内非甲烷总嫌执行大气污染物综合排放标准(DB32/4041-2021)表2无组织排放监控浓度限值。项目以1#厂房为边界设置50米卫生防护距离，该卫生防护距范围内不得有居民、学校、医院等敏感保护目标。项目生产过程中产生的废气主要为

34、模压和固化废气，经负压管道收集后采用二级活性炭吸附处理，处理后的尾气通过20mDAOOl排气筒排放。监测结果表明，DAOOl排放的废气能够满足半导体行业污染物排放标准(DB32/3747-2020)表3限值要求，厂界无组织排放的非甲烷总蜂满足半导体行业污染物排放标准(DB32/3747-2020)表4标准，车间外无组织排放的非甲烷总烽满足大气污染物综合排放标准(DB32/4041-2021)表2无组织排放监控浓度限值；造气间设置水喷淋装置作为泄漏状态下的应急装置。项目以1#厂房边界设置50m卫生防护距离，经现场踏勘，50m卫生防护距离范围内无居民点、学校、医院等环境敏感保护目标。生产厂房的门窗

35、增加隔音装置或采取有效的隔音降噪措施，采用低噪声设备，尽量减小噪声排放；高噪声源远离厂界，确保厂界噪声符合GB12348-2008工业企业厂界环境噪本项目优先选用低噪声设备，对于风机、泵等高噪声设备远离厂界布置。监测结果表明，项目厂界噪声能够满足工业企业厂界环境噪声排放标准(GB12348-2008)声排放标准3类排放标准，严禁噪声扰民。3类排放标准，未出现噪声扰民现象。固体废物按照“资源化、减量化、无害化”处理处置原则妥善处理，确保实现零排放。废催化剂、废活性炭、废清润模条委托有危废处置资质单位处置；废沸石分子筛、废塑料封、废边角料及不合格品收集后外售；废包装物、废空气过滤器收集后委外处置；

36、生活垃圾由环卫部门定期收集处理。所有固体废物严禁乱堆乱放，私自倾倒。危险废物的贮存、处置场所必须符合危险废物贮存污染控制标准(GBl8597-2001)Jfl关要求。加强安全星产管理和氨分解炉使用过程中的安全监控，制定切实可行的应急风险防范措施，防止火灾等事故发生。该项目涉及安全消防等相关手续，须报请相关部门批准。项目运营过程中产生的固体废物按照“资源化、减量化、无害化”处理处置原则妥善处理，实现固体废物的零排放。厂区按照危险废物贮存污染控制标准(GB18597-2023)的要求建设了危废仓库，对产生危险废物进行了妥善的暂存，并对产生的危险废物委托有资质单位进行了及时的转运。对于-般固废进行分

37、类收集，及时处理。企业已对氨分解炉使用过程中安全进行在线监控，制定了切实可行的风险防范措施，设置了应急喷淋庄。并进行了安全设施竣工验收，验收结果为合格。表五验收监测质量保证及质量控制1、监测分析方法监测分析方法5-10表5-1监测分析方法序号类别测定项目检测依据检出限1噪声工业企业厂界噪声工业企业厂界环境噪声排放标准GB12348-2008/2水和废水PH值便携式PH计法水和废水监测分析方法（第四版增补版）国家环保总局2003年3.1.6.2/3化学需氧量水质化学需氧量的测定重铝酸盐法HJ828-20174mgL4悬浮物水质悬浮物的测定重量法GB11901-1989/5氨氮水质氨氮的测定纳氏试

38、剂分光光度法HJ535-20090.025mgL6总磷水质总磷的测定用酸铉分光光度法GB11893-1989O-OlmgZL7总氮水质总氮的测定碱性过硫酸钾消解紫外分光光度法HJ636-20120.05mgL8无组织废气非甲烷总燃环境空气总烧、甲烷和非甲烷总嫌的测定直接进样-气象色谱法HJ604-20170.07mgm39氨环境空气和废气氨的测定纳氏试剂分光光度法HJ533-20090.01mgm310有组织废气非甲烷总固定污染源排气中非甲烷总炫的测定气相色谱法HJ38-20170.07mgm32、监测仪器所有监测仪器需进行检定校准的，均经过计量部门检定校准，并在有效期内,现场监测仪器使用前后

39、按规定进行校准，主要监测仪器见表52。表5-2主要监测仪器序号设备名称仪器型号仪器编号1自动烟尘烟气测试仪（新08代）崂应3012H型JSLT-SE-0034JSLT-SE-00662空气采样器崂应202OS型JSLT-SE-OO15-JSLT-SE-00183便携式PH计PHBJ-260JSLT-SE-01064多功能声级计AWA6228+JSLT-SE-00535万分之一天平FA2104JSLT-AE-Ol616紫外可见分光光度计UV-6100JSLT-AE-0172JSLT-AE-Ol 17UV-6100紫外可见分光光度计8气相色谱仪AgiIenl782OAGCJSLT-AE-O0043

40、、人员资质验收监测采样人员和分析人员均通过岗前培训，考核合格，持证上岗。4、噪声监测分析过程中的质量保证和质量控制监测时使用经计量部门检定，并在有效使用期内的声级计；声级计在测试前后用标准发生源进行校准，测量前后仪器的示值相差不大于0.5dB,监测结果有效。5、监测分析过程中的质量保证和质量控制（1）选择合适的方法尽量避免或减少被测排放物中共存污染物对目标化合物的干扰。方法的检出限满足要求。（2）确保被测排放物的浓度在仪器量程的有效范围内。（3）采样器等所有仪器定期进行校核，保证其采样流量的准确性。表六1、噪声项目噪声监测内容详见表6-10表6-1噪声监测内容监测点位监测项目监测频次厂界四周1

41、#-4#等效声级监测2天，昼间1次/天2、废水项目废水监测内容详见表6-2o表6-2废水监测内容类型监测点位监测项目监测频次废水废水排放口PH值、化学需氧量、悬浮物、氨氮、总磷、总氮每天4次，监测2天3、废气项目废气监测内容详见表6-3o表63废气监测内容类型监测点位监测项目监测频次有组织废气1#排气筒出口非甲烷总嫌每天3次，监测2天无组织废气厂界非甲烷总燃、氨每天3次，监测2天车间门通风处5#监测点非甲烷总嫌每天1次，监测2天表七验收监测期间生产工况记录:该项目竣工环境保护验收监测工作于2023年12月17日、2023年12月8日进行，经核查，在验收监测期间生产工况见表7-1o表7-1验收监

42、测期间工况说明日期产品名称设计能力（亿片/天）监测时日产量（亿片庆）生产负荷（）2023.12.17小信号集成微电子产品0.30.224752023.12.180.2275验收监测结果：根据江苏蓝天环境检测技术有限公司出具的验收监测报告（报告编号:1.T231619）,本次验收监测统计结果如下:1、废水本项目废水监测结果见表7-2。表72废水监测结果（单位：mgL,PH无量纲）采样日期检测点位检测项目单位检测结果平均值排放标准达标判定第一次第二次第三次第四次2023.12.17化粪池出水口PH值无量纲7.47.57.57.57.56-9达标化学需氧量mg/L133124145122131300达标悬浮物mg/L8286778081250达标氨氮mg/L4.724.554.854.704.7120达标总磷mg/L1.871.571