安全验收评价报告模版.docx

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1、XX项目平安验收评价报佶模版1编制说明1.1 评价依据1 .中华人民共和国主席令第70号中华人民共和国平安生产法2 .劳动部令第3号建设项目（工程）劳动平安卫生监察规定3、劳动部劳安字19921号建设项目（工程）职业平安卫生设施与技术措施验收方法4、国家安管局安监管技装字200337号平安评价通则5、国家安管局安监管技装字200379号平安验收评价导则6、天津市安管局津安监管字200284号天津市平安评价管理方法7、SJ30002-92电子工业职业平安卫生设计规定8、国家、地方、行业有关劳动平安的法规、规定、规范和标准（详见附件1）9、建设单位供应的中芯国际集成电路制造（天津）有限公司项目平安

2、验收的相关资料。10、中芯国际集成电路制造（天津）有限公司托付天津泰山平安科技有限公司进行中芯国际集成电路制造（天津）有限公司项目平安验收评价合同书。1.2 评价目的与评价范围I、评价目的与评价内容I）平安验收评价的目的是贯彻“平安第一，预防为主”的方针，为建设项目平安验收供应科学依据，对建设项目未达到平安目标的系统或单元提出平安补偿与补救措施，以利于提高建设项目本质平安程度，满意平安生产要求。2）平安验收评价内容检查建设项目中平安设施是否已与主体工程同时设计、同时施J同时交付生产和运用：评价建设项目与与之配套的平安设施是否符合国家有关平安生产的法规、规定和技术标准。从整体上评价建设项目的运行

3、状态和平安管理是否正常、平安、牢靠。2、评价范围依据本项目平安睑收评价技术服务合同书的规定内容，经与建设单位商定:对中芯天津芯片生产厂房、化学品库、污水处理站以与变配电站、锅炉房、油库、空压站、冷冻站、水泵房的设备、设施进行劳动平安验收评价。由于公司对工艺与产品生产技术保密且芯片生产线工艺设备自动化程度高，人、机分别，平安性能高，据同行业生产实践，发生事故的可能性微小，对建设项目的总体劳动平安验收评价结果影响较小，应公司的要求,在芯片生产厂房劳动平安验收评价中，在危急危害因素辨识分析的基础上,仅对其危急性大的芯片生产的协助设施进行劳动平安验收评价。3主要危急危害因素分析I、物质的危急危害芯片生

4、产过程中，运用多种化学物品，厂区内设有储存这些化学物品的化学品库，化学品种类达80种。依据GB13690-92G常用危急化学品的分类与标记规定中对常用危急化学品，按其主要危急特性进行分类，该项目中运用的危急化学品有压缩气体和液化气体，易燃液体、氧化剂、有毒品、腐蚀品等类别，这些物质的主要危急危害为：I）有毒有害气体（如ASH|、PH,、SiH,、CO等）如泄漏与空气混合遇明火易燃爆，有的可在空气中自燃，有的可致人中毒、冻伤、窒息、直至死亡。2）易燃液体（如丙胴、异丙醇等）如泄漏、挥发与空气混合形成爆炸气体遇明火、热源可引发火灾爆炸。3）氧化剂（如过氧化氢等）如泄漏与有机物还原剂、易燃物接触可引

5、起火灾爆炸。4）腐蚀品（如酸类、械类等）如泄漏与人体接触可引起化学灼伤。这些危急有害因素的主要物质理化特性，以与化学危急品的贮存、运用的危急性分析详见化学品库单元.2、设备设施的固有危急危害生产设备多，且特种设备的种类、数量多。电气设备有UOkV和IOkV变归电站的变压器、配电柜、以与各厂房内用电设备与限制系统；特种设备有燃气锅炉、空压设备、冷冻设备、压力容器与多种气瓶和厂内机动车辆；储存设备有储气猱、液氮罐、液筑瓶、贮油设备、硫酸罅、氢氧化钠罐等。其主要危急因素有：I）火灾爆炸油城如本身缺陷或平安装置失效或管理不善出现泄漏，遇明火可引发火灾、爆炸危急。锅炉运用燃料是自然气，自然气为易燃易爆气

6、体，一旦出现泄漏遇明火可引发火灾。当自然气与空气混合的浓度达到爆炸极限时遇点火源可引发爆炸危急。2）物理爆炸锅炉、压力容器（蒸发器、冷凝涔、储气罐）设备、气瓶等，如设备有缺陷或超压平安附件失效或运用不当，可引发物理爆炸。3）触电危急变配电设备、电气线路、用电设备如产品质量不佳、绝缘性能不良或因运行不当、机械损伤、修理不善导致绝缘老化破损或设计、安装不规范,平安挣距不足，或违章操作，均可能引发触电危急。如出现短路、过栽、接触不良等，也可引发电气火灾危急。4）静电危害如火灾、爆炸危急环境内设备、管路防静电设计或施工不规范，或在运用、输送、贮存易燃易爆物质时所产生的静电电荷不能与时消退，或运用有火花

7、匚具、穿用不防静电的鞋、服装而产生静电火花,均可能引燃易燃易爆物质，造成火灾、爆炸。5）高空坠落危急凡2m以上各类高空作业点位，其梯台、道、护栏等常规性防护措施不符合规范要求或损坏，可引发高空坠落危急。6）车辆损害厂内各类运输车辆如车辆本身缺陷，或制动、音响、灯光等失效，道路状况不符合规定要求或误操作可引发车辆损害。7）机械损害空压站、冷冻站、水泵房、锅炉房的旋转、传动设备如无防护罩或损坏,可引发机械损舍.8）灼伤高温设备、蒸气管路等表面，保温、隔热效果不好，易形成烫伤事故。各类运用激光源、红外线光源的设备、机台上，如因光源密闭性不好或损坏或操作不当，致使光源直射视察者眼睛，将会造成眼灼伤。9

8、）噪声危急空压设备、泵类、风机等设备在运转时可产生噪声危害。4评价方法的选取和评价单元的划分4.1 评价方法的选取结合本项目建设内容与已做劳动平安预评价的实际，平安验收评价采纳以下两种方法：1 .平安检查表(SC1.)依据国家、行业、地方相关法规、规定与技术标准，针对本工程存在的危急、危害因素，编制平安检查表，以查验项I在设计、施工、交付生产运用时，所实行的平安防护设施与技术措施的全面性和牢靠性，并据此提出改进措施与建议。2、专家现场询问，视察法(邀请公司专业技术人员参与、协作，4. 2评价单元的划分依据己确定的评价范围与建设内容的实际，本项目的平安验收评价划分如下评价单元。I、总平面布置与常

9、规平安防护设施平安评价单元2、生产工艺与危急化学品运用平安评价单元3、化学品库平安评价单元4、超纯水制备设施系统平安监收评价单元5、锅炉房平安验收评价单元6.油罐区、冷冻机房、空压站、水泵房平安评价单元7、污水处理站平安评价单元8、供配电平安评价单元9.平安生产管理平安评价单元5. 1.2平安检在表依据GB50187-93工厂企业总平面设计规范、SJ30002-92电子工业职业平安卫生设计规定、GB4387-94G匚业企业厂内铁路道路运输平安规程、GBJ16-87建筑设计防火规范（2001版）、GB50074-2002石油库设计规范、GB2894-1996平安标记、GB16179-1996平安

10、标记运用导则等相关法规、标准与现场状况编制总平面布置与常规平安防护设施平安检查表，检查项目与内容见表5.1.2-1。总平面布置平安检查表表5.1.27序号检查项目与内容依据法规检查结果备注1厂址选择1.1厂址选择在全面考察，其自然和社会环境应优先选在工程地质、水文、气象条件符合平安卫生要求，交通便利，协作便利，环境较为清洁的地区。SJ30002-922.2.2符合要求。1.2厂址应位于生活区最小频率风向的上风侧，避开建在已建工厂烟囱主导风向的下风侧。2.2.4序号检查项目与内容依据法规检杳结果备注1.3厂址应具有满意生产、生活与发展规划所须要电源和给排水条件。GB50187-932.0.5满意

11、要求I.1厂址应与交通线路、车站、港口顺捷合理联接，厂所区尽量靠近马路干道。GB5O187-932.0.4交通便利。1.5地震断层和设防烈度低九度地震区。GB50187-932.0.11七度设防。2总平面布置2.1厂区应依据生产、工艺特点按功能分区布置。一般可分为厂前区、主要生产区、协助生产区、仓原区和动力区。SJ30002-922.3.2按功能分为办公区、生产区、公用工程区、预留区。2.2由厂部办公楼、多层厂房、厂区主入口等组成的厂前区，宜置于厂区最小频率风向的下风侧.SJ30002-922.3.52.3布局应满意生产加工过程流程。GB50187-932.0.11流程顺畅。2.4要求干净的生

12、产设施应布置在大气含尘浓度低、环境清洁地段。干净厂GB50187-934.2.2符合要求。序号检查项目与内容依据法规检杳结果备注房的布置应符合“干净厂房设计规范”的规定。2.5变配电站宜位于负荷中心，或靠近主要用户。不受粉尘、水雾、腐蚀性气体影响。刻于大容量的总降压站，尚应在其四周加设围堵.SJ30002-922.3.15GB50187-933.4.4总降变设在厂区西南角。各IOkW变电站靠近负荷中心。2.6空压站应位于空气干净地段，避开靠近散发爆炸性、腐蚀性和有害气体的粉尘等场所。GB50187-934.3.42.7锅炉房宜布置在厂区全年最小频率风向的上风侧。GB50187-934.3.7S

13、J30002-922.3.132.8污水处理站应布置在厂区边缘地带，位于厂区全年最小频率风向的上风侧。应鸵近污染源，远离水源构筑物与空调空气入口，四周留有必要的卫生防护距离。SJ30002-922.3.16GB50187-933.4.22.9火灾危急性属于甲、乙、丙类液体GB50187-93S油罐区距锅炉序号检查项目与内容依据法规检杳结果备注燃料罐区的布置，应远离明火或散发火花地点。与耐火等级为2、3级厂房距离分别为20m、25m,与厂内主干道距离15m.与次干道距离IOrao4.6.5GB50074-20024.0.8房西侧外堵15.2m,距厂内道路6no2.10化学危急品库，应布置在厂区最

14、小频率风向的上风侧与边缘地区，应远离火源，并符合国家现行有关防火规范的规定，防火间距不应少于30moSJ30002-922.3.12基本符合有关规定。2.11工厂主要建筑物宜呈南北向布置，建筑物的方位应保证室内有良好的朝向、采光和自然通风条件。SJ30002-922.3.3GB50187-932.0.1条件良好。2.12厂区出入口数量不宜少于2个。人流出入口与货流出入口分开设置。GB50187-934.7.4三个出入口，人、物分流。2.13厂区应进行绿化，应在道路与围墙沿线植树，空地上种植灌木，乔木和草皮，厂前区布置花坛，水池以SJ30002-922.3.207序号检查项目与内容依据法规检杳结

15、果备注与厂标、雕型等建筑小品。3厂区道路3.1运输线路，满意生产要求，物流呦畅，线路短捷，人流、货流组织合理.GB50187-934.1.8人流、货流组织合理。3.2道路与主要建筑物轴线平行或垂直，主要生产厂、仓库区、动力区的道路应呈环形布置0厂区终点端式道跖应有足够的消防车回转场地。SJ30002-922.3.17GB50187-935.3.1呈环形布置,有回转场地。3.3厂区主干线双向行驶路宽25m,单向行政路宽23.5m；并有单向行驶标记，且能形成环形通道；人行道0.75m;沿主干线人行道1.5mGB50187-935.3.55.3.6厂区道路21m、15m,12m,7m0有人行道。3.

16、4职工上下班时间内，人流密集的出入口和路段，应停止行驶货运和机动车辆。GB4387-945.1.83.5易燃易爆区、储存库区将道路划分为限制车辆通行或禁止车辆通行的GB4387-945.1.4X油罐区、化学品库道路未划分序号检查项目与内容依据法规检杳结果备注路段，并设标记。限行路段。无标记。3.6厂区道路在弯道交叉路口的横净距范围内，不得有阻碍驾驶员视线的障碍物。GB4387-945.1.103.7厂区道路应设置交通标记。GB4387-945.1.3X无交通标记。3.8路面平整、路基稳固、边坡整齐、排水良好。GB4387-945.1.1良好。3.9有完好的照明设施。GB4387-945.1.1

17、完好。4常规平安防护设施I.1架空平台、走道、钢梯应符合国家现行固定式工业平台、工业防护栏杆、钢直梯、钢斜梯等标准的规定。凡采纳直梯的场所，应实行防护措施，相邻两层的直梯宜错开设置。SJ30002-922.6.72.6.8厂区平台、钢梯基本符合要求。4.2厂区各种井、沟应有盖板。SJ30002-92有盖板。序号检查项目与内容依据法规检杳结果备注2.6.104.3道路上部管架和栈桥等障碍物，在干道上的净高不得小于5m。SJ30002-922.3.184.4凡简单发生事故危与平安的场所，应设置平安标记。必要处尚应设置声光、色或声光结合的紧急警告信号。SJ30002-922.9.1S平安标记不齐全，

18、不醒目。4.5各种输送气体、液体与其它物料的管道，均应按国家与电子工业有关规定涂色.SJ30002-922.9.2X未按规定涂色。4.6厂房、动力站房的平安出1.1.与疏散通道、应设置明显的标记。SJ30002-922.9.3S不齐全。4.7平安标记的涂色，应符合国家现行平安标记与平安色标准的规定。SJ30002-922.9.4S不规范。5.1.3综合评价分析I.危急危害辨识1）厂区建（构）筑物如间距小，道路狭窄，路面不平整、不畅通，若人流、物流不能有效分流，车辆无回车场地或车辆刹车、音响、灯光等出现问题，易引发车辆损害郭故。2）厂区内丙烷站、化学品库（室），油罐区、I1.oKV变电站等易燃、

19、易爆、易中毒，与要害部位无平安标记，无限行、禁行等交通标记。易造成误入与违章等，引发中毒、燃爆、触电等损害。3）厂区内若坑、孔、井与走台、平台无防护围栏或盖板，直梯、斜梯不符合有关规定都可引发碰、磕、摔伤和坠落损害。4）厂区内若道路无路标无交通标记，过路工业管路无限高标记，可造成各种车辆随造超速，任其闯越工业管路架设较低区域，易造成车辆交通事故或设备损害事故。2、问题与建议厂区总平面布置依据生产、工艺特点按功能分区布置，能够满意生产加工过程流程要求，建（构）筑物平安距离基本符合有关规定要求，厂区道路与主要建筑物轴线平行或垂直，主要生产区、库区、动力区的道路呈环形布置，能满意消防不畅通和回转的要

20、求，厂区各种井、沟有盖板、平台、走台、钢梯基木符合有关标准要求。但仍有一些问题应引起留意。需实行相应措施以消退可能导致事故发生的脸患。1）油罐区与锅炉房和厂区道路的间距未达到GB50074石油库设订规范的要求。应按油罐区评价单元的建议完善其防火防爆措施并限制储油量。2）凡简单发生事故危与平安的场所，平安出入口，应设置齐全醒目的平安警示标记。平安标记的涂色应符合国家现行的平安标记与平安色标准的规定。3）厂区工业管路应按GB7231-87工业管路的基本识别色和识别符号规定，基本识别色应涂刷在管路全长上或在管路上涂刷宽15Omm的色环或在管路上用基本识别色胶带缠绕宽15OmIn的色环。恭本识别色色环

21、应涂刷在全部管路交叉、阀门和穿孔西侧等的管路上以与其他须要识别的部位。在管路上用识别符号标识管内流体性质、名称和流向。4）厂区道路应设置显示道路名称、方向、车辆限速的交通标记。在易燃易爆的生产区域应依据须要可将部分道路划分山限制或禁止车辆通行的路段，并设置标记。5. 1.4评价结论厂区总平面布置综合考虑有利生产，便利工作的要求，各建（构）筑物按功能分区，生产工艺流程短捷便利，整体布局合理、厂区道路呈环形布置，消防通道畅通、照明完好，人、物分流，并为企业发展留有余地和空间，基本符合GB50187工业企业总平面设计规范的要求，只要依据检查表和建议的内容赐予补充完善，可为实现平安生产创建更为有利的条

22、件.5. 2生产工艺与危急化学品运用平安评价单元支援车间危急化学品运用、储存、平安措施状况如表5.2.1-3所示:危急化学品运用、储存与平安措施表表5.2.13序号储存场所名称储存危急化学品名称气柜数量（个）平安设施1毒性气体室础化氢混合气（AsHjU）110%氮气/氮t气工艺吹打、TGM报警、消防水喷淋、排风、火灾声光报警、shutdown按钮、劳动防护用品专柜、双套管输送，内套管为真空，设侦测器，介质泄漏时，报警。15%倍烷/氢气(GeHvH2)11%磷化氢/氮气混合气（PH3ZN2）15%磷化氢/氮气混合气（PH3ZN2）22易燃气体室氨气(NH3)810%氮气/氮气工艺吹扫、TGM报警

23、、氨、氟环境监测报警、消防水喷淋、排风（酸碱性排风系统分开）、火灾声光报警、shutdown按钮、劳动防护用品专柜。一氧化碳（CO）3二氯硅烷（SiH2C1.）1二氟甲烷（CH2F2）150ppm乙硼烷/氢气（BMMHJ1氟甲烷（CHsF）21OOppmB2H5ZN115%B2HeZN22100ppm乙硼烷/氮气(B2HtZH2)210%氨气/氮气1C1F613腐蚀性气体室C1.2210笔氮气/氮气工艺吹扫、TGM报警、消防水喷淋（C1.E无）、排风、火灾声光报警、shutdown按钮、劳动防护用品专柜。C1.Fa2HBr2HC1.11SiF114氧化气NFJ910%氢气/凝气工艺吹扫、TGM

24、报NiO7序号储存场所名称储存危急化学品名称气柜数量（个）平安设施体室30%OJHe6警、消防水喷淋、酸性排风、火灾声光报警、shutdown按钮、劳动防护用品专柜。5惰性气体室1.2%He+N2110%氯气/氨气工艺吹扫、TGM报警、消防水喷淋、排风、火灾声光报警、shutdown按钮、劳动防护用品专柜。C.F,2CHR11GF41CO21CF42CHF12SE2He14%HJNZ16酸室HC1.CDM1设排风系统、收集井、汲取棉、双套管输送、内设泄漏报警侦测器、PEH在线型火灾声光报警装置，自动水喷淋装置。BOECDM1HFCDM2NOECDM1HNOjCDM1II1PO1CDM1H2SO

25、1CDM2HF100:1.CDM17BaseNII1O1.I1设排风系统、收集井、汲取棉、2序号储存场所名称储存危急化学品名称气柜数量（个）平安设施Room（碱室）SD-I1双套管输送内设泄漏报警侦测器，PEH在线型火灾声光报警装置，白动水喷淋装置、消防器材。8溶剂室ACT940CDM1设溶剂排风系统、收集井、汲取棉、双套管输送、内设泄漏报警侦测器、PEH在线型火灾声光报警装置，自动水喷淋装置、消防器材。EG-O1.1EBR1.OA1IPA-OICDm15. 2.2危急危宙辨识与分析1、火灾、爆炸各类易燃液体、易燃气体在生产、储存、输送过程中，一旦因设备材质缺陷、制造质量差、机械损伤等缘由致使

26、设备密封效果不好、包装容器破损以与人员误操作，造成物料泄漏，如作业现场通风不良，与空气混和达到爆炸极限，遇有火源可能发生火灾、爆炸；2、腐蚀、中毒、化学灼伤清洗、扩散、光刻、蚀刻等生产区、酸室、Baseroom,碱室、溶剂室等腐蚀性化学品生产、储存、运用场所内，盛装酸、碱性腐蚀品磷酸、盐酸等设备、容器以与输送管路因材质缺陷，制造质量差，搬运、运用过程机械损坏、倾翻，造成物料泄漏，如人体接触泄露的酸、碱性物质将会引起严峻的化学灼伤；同时各类腐蚀性气体、毒性气体因盛装气瓶、输送管路、运用设备腐蚀、制造缺陷等缘由造成泄漏，人接触或吸入有毒、腐蚀性气体，均会造成人员中毒。3、物理爆炸各类压力容器（包括

27、气瓶）、管道，假如设备、管道因材质缺陷、设计不合理、制造焊接质量差、腐蚀等使其强度降低以与平安阀、压力表等附件失灵等，可能发生容器、管道不能承受设计压力而发生爆炸，造成人员伤亡,设省损坏。4、高温灼伤高温设备、蒸气管路等表面，保温、隔热效果不好，易形成透伤事故。5、激光、红外线辐射灼伤在各类运用激光源、红外线光源的设备、机台上，如因光源密闭性不好或损坏或操作不当，致使光源直射视察者眼睛，将会造成眼灼伤。6、高频、噪声损宙在离子植入区，运用离子植入机等高频设备：清洗、光刻、蚀刻区运用各类清洗机、蚀刻机、微影机等产生噪声的设备，如上述各类设备高频、噪声防护措施不当或损坏都会对人员造成物理因素损害。

28、7、高处坠落当去废溶剂储罐等相对基准而标超群过2m设备进行检查、操作或修理设备时，若未按标准设置钢梯、护栏、平台或设置不完善，作业人员去检查、操作或检修时，梢不慎会发牛.高处坠落事故。8、触电各类用电设备、照明、配电系统线路爱护接零未接或失效，线路绝缘损坏、线路短路等均可能发生触电事故“9、电气火灾电气设备、配电系统未按规定装设漏电爱护器、过电压爱护等装置.或失效,线路绝缘损坏、短路，以与防爆场所电气设备、线路、照明不符合防爆要求等均会发生电气火灾。10.雷电危害建筑物防雷设计不合理、施工不规范、接地电阻值不符合规范要求，当雷击建筑物、电力设备、线路等时，会产生雷电过电压，在雷电波与的范围内会

29、导致严峻损坏建筑物、设备并可能危与人身平安。雷电火花还可能引发易燃易爆物质的火灾、爆炸，造成严峻的生命、财产损失。Ik静电危害如火灾、爆炸危急环境内（如：光刻、清洗区、扩散区、可燃气体贮存间等）设备、管路防静电设计或施1：不规范，在运用、输送、贮存易燃易爆物质时所产生的静电电荷，不能与时消退，随着时间持续，静电荷将越聚越多，静电电压渐渐上升，当达到肯定程度时，发生放电火花：或运用有火花具、穿用不防静电的鞋、服装而产生静电火花等，均可能引燃易燃易爆物质，造成火灾、爆炸。5.2.3平安检杳表依据GBJ16-87建筑设计防火规范（2001版）、GB50187工厂企业总平面设计规范、SJ30002-9

30、2电子工业职业平安丑生设计规定、GBJ19-87采暖通风与空气调整设计规范（2001年版）、GB50073-2001干净厂房设计规范、GB5083-99生产设备平安卫生设计总则、GB12801-91生产过程平安卫生要求总则、GB2893-2001&平安色、GB2894-96平安标记、GB15603-958常用化学危急品贮存通则、国务院令第344号危急化学品平安管理条例等法规、标准、规范编制平安检查表，查验结果详见表5,2.3-1。生产工艺与危急化学品运用单元平安检查表表5.2.3-1序号检查项目与内容依据法规检查结果备注1建筑结构与平面布置1.1生产厂房耐火等级不应低于二级。GBJ16-873

31、.2.1均为二级。1.2若多层生产厂房耐火等级为二级，其防火分区最大允许占地面积为1000112（因有自动水喷淋系统,防火分区最大允许占地面积增加一倍）GBJ16-873.2.1占地面积100Om1o序号检查项目与内容依据法规检查结果备注1.3有爆炸危急的生产厂房（生产东间、易燃气体室、硅烷室等）宜独支设置。GBJ16-873.4.1单独设置。1.4有爆炸危急的生产厂房（生产车间、易燃气体室、硅烷室等）应设世必要的泄压设施，泄压设施宜采纳轻质屋顶作为泄压面积。GBJ16-873.4.2S硅烷室屋顶泄爆、生产车间、易燃气体室无泄压.1.5联烷室泄压面积与厂房的体积比值（m2m1）宜采纳0.05-

32、0.22,体积超过100Oin1的建筑,不宜小J-0.03。GBJ16-873.4.3约0.3。1.6生产车间、易燃气体室、硅烷室等可能散发可燃气体、可燃蒸气的厂房应采纳不发火地面。GBJ16-873.4.6环氧地面。1.7有爆炸危急的该甲乙类厂房不应设置办公室、休息室如必需贴邻布K,应采纳一、二级耐火等级建筑物并应采纳耐火极限不低于3h的非燃烧体防护地隔开并设匿直通GBJ16-873.4.8序号检查项目与内容依据法规检查结果备注室外或疏散楼梯的平安出口。1.8厂房结构应满意地震烈度7度设防要求，框架抗震等级二级要求。GB50187-932.0.47度设防。1.9芯片光刻等对干净度要求较高的主

33、要生产厂房，宜布置在厂区最小频率风向的下风侧，并在四周留有绿化场地。SJ30002-922.3.61.10易燃易爆工作间宜设置在单层厂房内，或设在多层厂房的顶层端部。SJ30002-923.6.12X除硅烷室单独设置外，均设在多层厂房一、二层内。2干净厂房2.1干净室应设置人员净化、物料净化室和设施。GB50073-20014.3.1分别设置人员、物料净化室。2.2干净室内噪声值不应大于70db（八）eGB50073-20014.4.1W65dB.2.3干净试验室耐火等级不应低于二级。GB50073-20015.2.1二级。2.4干净室的顶棚和壁板应为不燃烧GB50073-2001序号检查项目

34、与内容依据法规检查结果备注体，且不得采纳有机更合材料。5.2.42.5干净生产与一般生产区域之间应设置不燃烧体隔断措施.GB50073-20015.2.5用防火增和防火门分隔。2.6干净区与非干净区、干净区与室外相通的平安疏散门应向疏散方向开启，并加闭门器。GB50073-20015.2.92.7干净厂区应设置并故排风，干净室事故排风换气次数应采纳1020次h,事故排风宜由常用排风系统与事故排风系统共同保证，事故排风装置的开关应分别设在干净室内和室外便于操作的地点，事故排风应与报警装置联锁。SJ30002-927.0.10设置排风系统，常开：特殊气体室室外设手动开关，设自动联锁报警。3作业环境

35、与工艺、设备平安装置3.1作业环境3.1.1车间内人工运输通道宽度必需21.0m。SJ30002-923.1.32.5m3.1.2设备设施之间应留有相应的操作空间、检修空间、巡回检查与平安SJ30002-923.1.4序号检查项目与内容依据法规检查结果备注通道。3.1.3干净厂房应设置供人员疏散用的应急照明，并应设置指明应急平安出口的疏散标记。在专用消防出口处应设红色应急照明灯。SJ30002-927.0.14设应急照明、疏散标记。3.1.4易燃易爆厂房的人员疏散，通道应保持畅通，并应设置应急照明，疏散指示标记与排烟措施。SJ30002-923.6.133.1.5钢梯、平台所设置的护栏的设计应

36、符合有关标准。GB4053.13-93GB4053.4-83第2.5.2条X废液收集罐处平台护栏不符要求。3.2电子、化学工艺平安3.2.1高能离子注入机应设在人流最少的区域内，并应有符合国家标准要求的接地与相应的电磁波、X射线防护措施。SJ30002-923.2.3设置于人流最少的东侧，实行隔离防护措施。3.2.2联动生产线应有紧急制动装置或联锁装置，危急部位应设置醒目的SJ30002-923.2.5设置紧急制动，设置警告标记与序号检查项目与内容依据法规检查结果备注警告标记：散发市气的匚序应设置排风：带电作业的工序需装设自动爱护装置。排风系统，带电作业设置接地故障、短路故障爱护装置。3.2.

37、3运用酸、碱或有机溶剂进行清洗的设备，必需装设局部排风系统，运用有毒溶剂进行清洗的设备应实行密闭措施：凡运用电气的化学消洗设备，应有良好的接地。SJ30002-923.3.1均设置。3.2.4牛.产车间内应设置紧急冲淋装置与洗眼器。S.J30002-923.3.6设置洗眼、淋浴器。3.2.5对于存在激光辐射设备，应实行屏蔽等防护措施。SJ30002-929.1屏蔽光源爱护措施。3.3防火、防爆、防中毒3.3.1输送易燃易爆介质的管道、管件、阀门、泵的连接处必需严密，管道系统应实行接地措施。SJ30002-923.6.8管道系统通过管架接地。3.3.2易燃工作间的设备、电气线路，开关、灯具等，均

38、应采纳相应等级的SJ30002-923.6.11序号检查项目与内容依据法规检查结果备注防爆型产品。3.3.3电气设备金属外壳应与PE线牢宓连接。GB50169-922.1.113.3.4氨气、CO和白然气管道不能通过烟道、通风管、配电室和易燃易爆物仓库。GB50028-937.2.103.3.5管道应标记介质与流向。SJ30002-922.9.23.3.6对有害气体、易燃气体的作业区，应实行切实有效的防护措施，提高白动化，实行密闭、隔离生产。S.J30002-922.4.5隔离操作、密闭生产。3.3.7车间空气中有古物质的浓度，必需符合工业企业设计卫生标准的规定。SJ30002-922.1.5

39、GO已做监测，数据暂不能供应。3.3.8输送有毒、有害、易燃、易爆与有腐蚀性气体或液体的管道、管件、阀门，其材质、连接方法，必需具有密封、耐压、防腐蚀、防静电等相应措施。SJ30002-922.4.11双套管输送，防腐内涂层。序号检查项目与内容依据法规检查结果备注3.3.9危急相同的生产，宜集中或相邻布置SJ30002-922.5.33.3.10对于产生有害、有毒物质的厂房，厂房内部应实行便于清扫、刷洗以与防止毒物附着和积蓄的措施.SJ30002-922.6.5防泄漏收集采纳二次容器，1.1.倍容积。3.3.11车间内各种明沟，应加设盖板。S.J30002-922.6.103.3.12生产过程

40、中工作服易污染、沾染，易经皮肤汲取的剧毒物质，干净度要求严格的厂房和车间应设假洗衣房。SJ30002-922.7.2设洗衣房.3.3.13凡运用酸、碱或有机溶剂进行化学清洗的设备，必需装设局部排风联锁。SJ30002-926.3.123.3.14有下列状况之一时，排风不应合为一个系统：混合后能引起燃烧或爆炸时；(1)混合后能引起燃烧、爆炸时：(2)易燃易爆工作间排风与一般SJ30002-923.6.9均设置独立排风。序号检查项目与内容依据法规检查结果备注工作间排风。3.3.15氧气、煤气管道，在末端、最高点等处应设置放散管，放散管应高山屋顶；放散管上应设阻火器。SJ30002-924.1.63

41、.3.16干净厂房内用了联烷等简单白燃气体的风管宜采纳不锈钢管、排放含酸、碱性气体的风管应采纳不燃或经过防火处理的专用塑料风管或不锈钢风管。SJ30002-927.0.18双层不锈钢、酸破风管我纳TC玻璃钢涂层。4危急化学品的运用、输送与管理4.1危急化学品应按其类别、性质分类、分堆、分间储存、输送。性质相抵触的化学危急品，严禁混放在一起。SJ30002-923.8.3分酸、碱有毒气体室、硅烷室、易燃气体室等。支援车间分功能区。4.2输送危急化学品的设备、附属仪表、器材等，应依据危急介质，采纳必要的防泄漏、防腐蚀措施。输送腐蚀性较强的液体管道，不应敷设在其它管道的上方，并不宜连接SJ30002

42、-923.8.7双层套管内设泄漏检测。序号检查项目与内容依据法规检查结果备注埋地敷设。4.3储存有较强腐蚀性液体的i殳备应设置必要的防溢出、防渗漏紧急处理设施。其基础与四周地面应实行防腐蚀处理。SJ30002-923.8.8全封闭输送多种报警联锁装置：四周设置图堰。4.4对输送具有较强腐蚀性液体的化学药剂泵、在其填料函或机械密封圈、法兰、阿门易喷射泄漏处，应设置适当的平安防护。S.J30002-923.8.9全封闭P1.C程控泵组无泄漏。泵为全封闭型4.5输送有毒介质的设备、管道放空时，应加以收集或处理，不得随意排放。SJ30002-923.8.10收集并加以洗涤。4.6易燃、易爆的车间，应采纳易于清洗、撞击或磨擦时不产生火花的地面。SJ30002-923.8.11硅烷室、易燃室符合要求。4.7有爆炸危急的房间（如硅烷室、易燃气体室、生产车间等），