单晶车间事故应急预案.ppt

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1、单晶车间应急预案,停电事故一.供电公司计划停电（检修设施，计划供电等）,针对以上情况，需要注意以下几个方面：1、供电公司必须提前二天通知公司配电负责人，确定停电，送电的时间及停电的线路等；公司配电负责人通过行政办向相关部门发文通知；2、单晶车间根据单晶炉的每炉拉晶时间，决定各炉的停炉时间，在停电之前5小时必须停炉冷却，防止停电时炉体过热。3、停电时，相关部门安排人员仔细检查电器，供水系统是否正常，单晶车间对单晶炉进行维修保养。,在正常生产过程中出现突然断电，当班组长首先保持冷静，做出正确指挥1.班组长工作内容：发生断电后立即前往一楼开启备用电源（指定熟悉备用电源的员工），在备用电源也无电时，立

2、即启动柴油发电机，启动后观察发电机电压380V稳定后，合上送电开关。保证冷却水的正常供应。送水后指导辅助工协同操作工注意各炉台水压变化，水压在2.5-3.0，如有异常及时上报班长及相关部门。在一楼送电的同时，组织现场抢救工作，各炉台操作工处理好自己的炉台，检查是否处理得当。等待来电的同时安排好岗位工作，操作看好炉内变化记录结晶时间。,二.突发性停电,停电时采取的措施：,若炉子工作时，加热部分停电：1、在控制面板上点击工序重置【此时 UPS自动供电给籽晶马达，坩埚马达。在自动状态下(在引晶之后)：180S之后，籽晶自动上升100mm，坩埚自动下降50mm。但是在180S之内退出自动或在手动状态下

3、则不会有以上动作。】使其转换为手动状态,关闭所有转动开关,降低埚位50mm左右,使晶体脱离液面.加热电源转换为功率控制，然后将功率调整至零。2、如果断电时间较短,液面未结晶或已结晶且小于4分钟则重启加热电源,将功率慢慢的升至熔料功率融化结晶面如果晶体长度小于我们规定的长度,则进行回熔处理,如果大于规定的长度则按照一段标准取出,然后在进行引晶等工作。,控制电源断电的处理方法：,1、控制电源断电;在控制面板上点击工序重置，使其转换为手动状态，降埚位50mm左右,使晶体脱离液面.2、如果控制电源无法恢复供电,当不能及时恢复通电时，则必须关闭加热器，关闭S/L、S/R、C/L、C/R，提升晶棒脱离液面

4、，升高坩埚位置（液面结晶后半小时顶起热屏），充氩气至常压自然冷却。3、控制电源恢复供电,液面未结晶或已结晶且小于4分钟则重启加热电源,将功率慢慢的升至熔料功率融化结晶面，打开S/L、S/R、C/L、C/R，在打开S/R晶转 和C/R埚转之前确保S/R 和C/R电位器处于零位。如果我们等径长度大于规定的长度则按照一段标准取出,然后在进行引晶等工作,如果晶体长度小于我们规定的长度,则进行回熔处理,三.来电后班组长现场指挥工作：,a.电源恢复时，立即开真空泵，待半分钟后开抽空阀门，将氩气流量恢复正常。b若时间较短（液面未结晶或液面已结晶但小于10 分钟且石英坩埚未破），按加热功率开，将功率升至熔料功

5、率。c若时间较短（液面未结晶或液面已结晶但小于10 分钟且石英坩埚未破），按加热功率开，将功率升至熔料功率。d熔化结晶面，在此期间应密切注意硅料液面熔化情况，一旦发生硅液面下降，立即停炉并上报管理人员。e晶体处理同晶变单晶一致，待结晶全熔后，手动调节功率为引晶功率，温度稳定后，开始引晶作业。f若停电时间较长（液面结晶已经大于10 分钟或石英坩埚破裂），快速提升晶体或籽晶，使晶体或籽晶脱离液面150mm。g在熔体结晶40分钟时，快速提升坩埚，使坩埚顶起导流筒100mm(埚内原料不足30kg不必顶起)。停炉，充分冷却后拆炉。,重点提示：如若显示电脑控制面板和加热部分电源一起出现断电，操作员工应该头

6、脑冷静，必须在2分钟内关闭炉台下部氩气球阀，防止炉台副室门自动冲开，引起重大事故。,漏硅的应急处理：,1立即关闭功率。2退出控制柜面板上单晶生长控制器，使其处于手动状态。3关闭埚转。4快速提升晶体或籽晶，使晶体或籽晶脱离液面150mm。5在熔体结晶40分钟时，如有可能，快速提升坩埚，使坩埚顶起导流筒100mm。6.关闭真空泵抽气蝶阀，防止硅液进入管道，开启副室球阀进行抽空，等液面结晶后再开启主室蝶阀，关闭副室蝶阀。7.检查各处电线是否紧靠着受热抽空管道，防止引起电线明火。8.停炉，充分冷却后拆炉。,重点提示：做好前几步后，氩气充到常压的一半左右，使其自然冷却，处理完成后去炉台下观察坩埚轴波纹管

7、是否破裂漏硅，真空管道、波纹管边上是否有电线紧挨住，有无起火等安全隐患，其它地方也要仔细观察，如有异常及时做出处理。,停水事故（供水设备故障，水泵控制电路故障，管路故障，水池缺水，停电）,发生停水时采取的措施：发生停水时，立即打开停水炉子的事故水进水阀（一般为消防水，）。1.当炉台水压不够或完全停止的时候，炉台会做出自我保护措施停止加热从而出现DC电源打火报警.2.如果水压不能及时恢复,在等径的炉台立即将晶棒与液面脱离,防止结晶.关闭晶转锅转.3.加大氩气流量,蝶阀全部打开,加速冷却.4.如果结晶时间超过15分钟原料较多的炉台将导流筒顶起,石英坩埚不可顶到大盖,防止硅料膨胀后把大盖涨坏.做好上

8、续措施后水压还未恢复的时候要仔细观察炉台。停水后水压恢复：,1.冷却水恢复供应时，关闭事故水阀门，监控水压，有异常立即报告管理人员。2.水压恢复时，炉内无氧化现象，熔体未结晶或已结晶但液面结晶小于4分钟且石英坩埚未破裂，按加热功率开，调节功率到熔料功率。3.启动埚转，设定为1转/分，打开埚转前，确保埚转电位器处于零位。4.熔化结晶面，在此期间应密切炉内有无氧化现象，注意硅料液面熔化情况，一旦发生氧化现象、硅液面下降，立即停炉并上报管理人员。5.晶体处理同晶变单晶一致，待结晶全熔后，手动调节功率为引晶功率，温度稳定后，开始引晶。停水后水压无法恢复，或恢复时熔体已结晶大于4分钟。1.快速提升晶体或

9、籽晶，使晶体或籽晶脱离液面150mm。2.在熔体结晶40分钟时，快速提升坩埚，使坩埚顶起导流筒100mm。3.停炉，充分冷却后拆炉。,一把停水的原因查清进行处理，同时向相关领导（直属上级）和相关部门（设备部，安全办）进行报告；二在事故发生时，安全员，外围设备操作工，单晶班长和单晶员工各司其责，有条不紊的进行处理，不要造成不必要的混乱；三一般停水事故会发生在以下几个方面：一，水泵故障停水（启动备用水泵）；二，水池缺水（关闭进水阀门，向进水管道中补充应急水；另一方面，向水池补充ao水，恢复正常生产）；三，管道系统中出现泄漏；尽量堵漏等停炉后进行维修；四事故解决后，要认真检查水，电，气等的各类参数，

10、确定没有问题，开始正常生产；,石墨坩埚裂开时采取措施：,1石墨坩埚裂开可观察电压电流表状态，是否有抖动现象。2有抖动现象说明与加热器相擦，应立即关闭功率。3退出控制柜面板上单晶生长自动控制器，使其处于手动状态。4关闭埚转。5快速提升晶体或籽晶，使晶体或籽晶脱离液面150mm。6在熔体结晶40分钟，如有可能，快速提升坩埚，使坩埚顶起导流筒100mm。7停炉，充分冷却后拆炉。,炉内漏水或观察窗玻璃裂开：,1当炉内出现大量漏水或观察窗玻璃裂开时，则立即关闭功率。2关闭所漏部位的水源，关闭阀门及真空泵，对炉内进行充氩气至50KPa左右，关闭氩气。若观察窗玻璃裂开时确认炉内未出现大量漏水可不关闭阀门及真

11、空泵蝶阀但要随时观察炉内情况，以采取应急措施。3退出自动控制柜面板上单晶生长控制器，使其处于手动状态。4关闭埚转。5快速提升晶体或籽晶，使晶体或籽晶脱离液面150mm。6在熔体结晶40分钟时，如有可能，快速提升坩埚，使坩埚顶起导流筒100mm。7停炉，充分冷却后拆炉,电器短路起火（用电负荷过大，接线松脱，电器内灰尘，杂物过多）,1.当电器起火时，首先关闭控制电器的电源总开关，2.如有明火时，用干粉灭火器扑灭，3.按照实际情况进行修理或更换；4.故障排除后，经检查无误再恢复生产；,工伤事故（一般车间工伤事故，酸洗车间工伤事故）,a.1.一般车间发生工伤事故后，由当班管理人员向安全员汇报，同时向直

12、属上级领导进行汇报，2.在等待安全员到达的同时，进行必要的施救；3.如遇情况危急，可在安全员未到现场情况下，送患者去医院抢救；4.安全员到达现场处理时，所有人员必须听从安全员的指挥；5.在安全员了解事故情况时，相关人员必须如实回答，不得欺骗，隐瞒；6.在事故没有完全结束时，安全员要随时关注事情的进展，并对相关人员进行反馈；7.当事故结束后，安全员应召集相关人员开安全事故鉴定会，对相关事宜进行处理；,b.1.当酸洗车间发生化学品以身体接触造成事故，首先，立即用大量清水冲洗患处10-20分钟，用毛巾擦干水渍，在患处涂上药膏；2.事故发生时，由当班管理人员向安全员汇报，同时向直属上级领导进行汇报；3

13、.在等待安全员到达的同时，进行必要的施救；4.如遇情况危急，可在安全员未到现场情况下，送患者去医院抢救；.5.安全员到达现场处理时，所有人员必须听从安全员的指挥；6.在安全员了解事故情况时，相关人员必须如实回答，不得欺骗，隐瞒；7.在事故没有完全结束时，安全员要随时关注事情的进展，并对相关人员进行反馈8.当事故结束后，安全员应召集相关人员开安全事故鉴定会，对相关事宜进行处理；,后语,其实在单晶车间出现事故并不可怕，可怕的是班组长不懂得如何对事故进行应急，以减少事故本身带来的损失。因此对车间班组长事故应急指挥，车间操作员工的安全应急预案培训必须严格落实，每周必须培训，每月进行现场应急操作考核。,