高真空磁控溅射薄膜沉积系统技术指标.docx

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1、高真空磁控溅射薄膜沉积系统技术指标一、系统的主要组成及技术指标溅射室极限真空度：W6.6xl0-spa（经烘烤除气后）；（洁净真空环境）系统从大气开始抽气：溅射室40分钟可达到6.6x10-4Pa;（抽速快，缩短实验准备时间）系统停泵关机12小时后真空度：5Pa;膜厚均匀性：优于5%,铜膜，200nm1、溅射真空室真空室为圆筒形前开门结构，尺寸e450mmx400mm,全不锈钢结构。可内烘烤到IOO150,选用不锈钢材料制造，氮弧焊接，表面进行电化学抛光国内首家钝化处理，接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封；手动前开门结构；靶安装在上盖，基片转台安装在下底盘（靶台与样品台可以实现上下互换）。真空

2、室组件上焊有各种规格的法兰接口与功能部件相连接2、磁控被射系统：3套2.1 靶材尺寸：60mm；2.2 提供靶材：不锈钢、钛、铁各一块（仅供测试靶材用）；2.3 强磁靶可溅射磁性材料，射频溅射与直流溅射兼容，靶内水冷；2.4 每个靶都配备气动控制挡板组件1套；2.5 靶在上，向下溅射，具有单独溅射、轮流溅射、共溅射功能（靶与样品台的位置可以调换；2.6 暴露大气下，磁控靶可手动调节共溅射角度；2.7 磁控靶与基片的距离可调，调节距离为：90730mm。3、旋转加热基片台3.1 基片尺寸和数量：最大可放置1片6英寸圆形样品；4英寸范围内膜厚均匀性：优于5%,铜膜，200nm（注：工艺部分在乙方现

3、场完成，甲方现场只做安装、调试本机）；3.2 基片通过进口加热丝加热方式，样品加热温度：700oC,连续可调；加热装置在真空室上法兰上，对基片托板进行加热，通过热电偶控制控温电源实现闭环控制，系统由加热器和1个加热控温电源组成，加热电源配备控温表，控温方式为PlD自动控温及数字显不；3.3 基片自转速度520转/分连续可调；3.4 气动控制样品挡板组件1套；3.5 样品台安装-200V偏压电源（辅助沉积）。4、窗口及法兰接口部件4.1 DgIOO玻璃窗口：1块，带衬玻璃；Dg35外照明玻璃窗口：1块，带衬玻璃；4.2 Dgl6陶瓷封接引线法兰：1个（内烘烤引线）；4.3 盲法兰：Dgl6:1个

4、；Dg35:2个。5、工作气路5.1 Ar,100SCCMVN2,1OOSCCMv02,1OOSCCMv质量流量控制器、Dgl6截止阀、管路、接头等共2路；经过混气室，由Dgl6进气阀往真空室内充入工作气体。5.2 Dgl6放气阀、管路、接头等：I路（解除真空充入氮气）；5.3 配空气压缩机一台6、抽气机组及阀门、管道（此配置抽速快、真空度高）6.1 脂润滑分子泵及变频控制电源（1300IS）:1台；6.2 旋片真空泵（8L/S）：1台；6.3 插板阀CF200：1台（用于复合分子泵与真空室隔离）；6.4 旁抽角阀DN40：1台；6.5 高真空挡板阀DN40：1台；6.6 电磁压差式充气阀DN

5、40：1台。6.7 分子泵与机械泵软联接金属软管：1套；6.8 机械泵与真空室之间的旁抽管路：1套；7、安装机台架组件优质铝型材拼装成，快卸围板表面喷塑处理；机台表面用不锈钢蒙皮装饰；四个脚轮,可固定，可移动。8、真空测:采用数显真空计进行测量，测量范围：1x105Pa-IXlo-5Pa.工艺真空测:采用薄膜压强真空规进行测量，测量范围：0.1TOrr.9、系统采用触摸屏集成点动控制方式（PVD类设备智能控制系统V23）10、备件10.1 无氧铜密封垫圈及管路CF16：3个；CF35：3个；CF100：2个；CF200：2个；C6mm卡套：4套；C6气瓶接头：2个；6塑料气路管:6米；10.2

6、 O型氟橡胶密封圈：104（内）X4：1个；J型密封胶圈：D19：3个；D6：3个；10.3 照明灯：1个；烘烤灯：2个；10.4 缠好炉丝的炉盘：1个；10.5 098X3内衬玻璃：2块；C35X3内衬玻璃：2块；10.6 小型不锈钢标件：若干；10.7 电器相关的保险丝：各10个；10.8 工具箱，1套；11、产品配置清单序号名称参数数量生产厂家1.高真空不锈钢腔室约450mmX400mm1套沈阳科仪2.腔体防污内衬1套沈阳科仪3.观察窗及法兰DglOO,Dg35（配衬玻璃）各I套沈阳科仪4.腔室内照明1套沈阳科仪5.旋转加热基片台6英寸基片台1套沈阳科仪6.旋转电机及电源1套沈阳科仪7.

7、基片台加热系统炉温由室温800C可调可控1套沈阳科仪8.腔室烘烤烘烤温度：100150C1套沈阳科仪9.温度测量、控制系统温度控制器，PID控温、可调可控1套沈阳科仪10.陶封电极Dgl6两芯1套沈阳科仪11.脂润滑分子泵1300L/S1台世纪久泰12.旋片真空泵8L/S1台北仪优成13.手动插板阀CF2001台沈阳科仪14.手动旁抽阀DN401台沈阳科仪15.电磁隔断阀DF401支川北16.电磁压差阀DF401支上海西马特17.截止阀DN63台七星华创18.手动截止阀（放气，进气）DN162台沈阳科仪19.真空抽气管道不锈钢三通及波纹管2套沈阳科仪20.复合真空计ZDF52271个成都睿宝2

8、1.薄膜规CDG025D1个inficon22.永磁靶2英寸，含1支强磁靶3支沈阳科仪23.磁控靶接管组件可折弯3套沈阳科仪24.靶挡板组件气动3套沈阳科仪25.偏压电源200V1台中山昊源26.质量流量控制器O-IOOSCCmO-IOOSCCmO-IOOSCCm3路七星华创27.控温电源系统1套沈阳科仪28.控制电源分子泵、机械泵、截止阀、水压报警、照明烘烤,基片旋转、基体加热。1台沈阳科仪29.总控制电源1台沈阳科仪30.触摸屏集成点动1套沈阳科仪31.水管、变通、接嘴、不锈钢球阀、气路卡套、管接头不锈钢材质,配套合理管路1套沈阳科仪32.气管、变通、接头气体管道金属管1套沈阳科仪33.安装机架表面喷塑、配脚轮、配门1台沈阳科仪34.测试靶材不锈钢、钛、铁3块沈阳科仪35.密封、连接件及其附件金属密封（静密封）+氟胶圈密封1批沈阳科仪36.氟橡胶密封圈相应规格的泵、阀、管路、各轴封处易损密封圈1套沈阳科仪37.无氧铜垫圈1套沈阳科仪38.螺栓、螺母、垫圈、螺钉等标准件1套沈阳科仪39.水冷机1套安格斯