“重大科学仪器设备开发”重点专项2023年度项目.中国科学技术大学.docx

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1、“重大科学仪器设备开发”重点专项2023年度工程申报指南、指南编制专家名单、形式审查条件要求I、“重大科学仪器设备开发”重点专项2023年度申报 指南科学仪器设备是科学争论和技术创的基石，是经济社会发展和 国防安全的重要保障。为切实提升我国科学仪器设备的自主创力气 和装备水平，促进产业升级进展，支撑创驱动进展战略的实施，经 国家科技打算战略询问与综合评审特邀委员会、国家科技打算治 理部际联席会审议“，重大科学仪器设备开发重点专项作为2023 年度启动的专项之一，并正式进入实施阶段。一、指导原则与主要目标本专项坚持问题导向、需求导向原则，紧扣我国科技创、经济 社会进展对科学仪器设备的重大需求，充

2、分考虑我国现有基础和 力气，在继承和进展“”期间国家重大科学仪器设备开发专项成果 的根底上，坚持政府引导、企业主导，立足当前、 着眼长远，整体推动、重点突破的原则，以关键核心技术和部件的 自主研发为突破口，聚焦高端通用科学仪器设备和专业重大科学仪 器设备的仪器开发、应用开发、工程化开发和产业化开发，带动科 学仪器系统集成创，有效提升我国科学仪器设备行业整 体创水平 与自我装备力气。通过本专项的实施，构建仪器原理验证一关键技术研发软 硬件T系统集成一应用示范T产业化”的国家科学仪器开发链 条，完善产学研用融合、协同创进展的成果转化与合作模式，激发 行业、企业活力和制造力。强化技术创和产品牢靠性、

3、稳定性试验, 引入重要用户应用示范、拓展产品应用领域，大幅提升我国科学 仪器行业可持续进展力气和核心竞争力。本专项依据全链条部署、一体化实施的原则，共设置了关键 核心部件、高端通用科学仪器和专业重大科学仪器类任务，下 设10个重点方向，本指南为重大科学仪器设备开发专项023年度 指南，支持数量不超过实施方案内容的30%。二、总体要求1.专项定位本专项充分利用国家科技打算专项、基金）或其他渠道，已 取得的相关检测原理、方法、技术或科研装置，开展系统集成、应 用开发和工程化开发，形成具有自主学问产权“、皮实耐用和功能 丰富的重大科学仪器设备产品，并效劳科学争论和经济社会进展。 工程成果是以市场前景

4、广泛的关键核心部件和重大科学仪器设备产 品的开发和产业化应用为目标一般的核心部件与科学仪器的原理 和方法争论，商业化前景不明确的核心部件与仪器研制等工作，以 及临床医疗仪器、生产设备、机械装备、平台建设等，不属于本 专项的支持方向）2,申报主体结合本专项的特点和定位，如无特别说明，本指南所设工程均 由有条件的企业牵头申报。鼓舞企业结合国家需求和自身进展需要, 联合科研院所和高等学校的优势力气参与工程研发工作主要为企业 供给所需的技术支撑1落实目标任务明确、产权和利益安排明晰的产学研用结合机制。同时，要实行有效措施，切实发挥 企业在专项中的技术创决策、研发投入、工程实施组织和成 果转 化等方面的

5、主体地位作用。3 .支持方式本专项每个指南方向下的工程可支持12项，实施“后端 资助”机制。即，结合科学仪器开发的特点，以及我国科学仪器 产业进展实际，强化利益共享、风险分担机制，对企业担当的项目， 实施专项经费后端资助政策。工程立项后，前半段主要由承担单 位自筹经费实施，资助20%的专项经费；经中期评估确认，工程 进展顺当、能够到达预期目标、科研治理和工程经费治理规范的 工程，后半段再主要由专项经费赐予支持。4 .立项要求4.1 工程根本要求1）国内外需求迫切，目标仪器设备应用单位明确且具有代 表性，相关原理、方法或技术已取得重要突破，能形成具有自主 学问产权和市场竞争力的核心部件与科学仪器

6、产品。2）目标核心部件与仪器设备整体设计完整、构造清楚合理， 技术路线含软件开发可行，工程化方案、应用开发方案可操 作性强；工程质量治理和产业化筹划、企业资质和力气、学问产 权和利益安排等非技术内容可行。3）拥有本领域的核心关键人才，且具有相关理论争论、设 计、工程工艺、系统集成、应用争论以及产业化争论等相关方面构 造合理的人员队伍。4）对核心部件类工程：原则上担当单位主营业务为核心部 件生产企业，工程实施后能够获得全部自主学问产权，技术就绪 度到达7级以上，并在相关仪器主要生产企业得到广泛应用，形 成确定市场规模，产生直接经济效益。5）对仪器整机类工程：充分利用国家科技打算专项、基 金）或其

7、它渠道，已取得的相关检测原理、方法、技术或科研装置 成果，开展系统集成、工程技术争论和应用开发，形成皮实耐用“、功能丰富的重大科学仪器设备产品，并效劳科学争论和经 济社会进展。依据科学仪器设备开发和应用的自身规律，每一个工 程应包括仪器开发含软件开发I应用开发、工程化开发和产业 化开发等类型工作。除仪器设备开发单位外，产业化单位、应用单 位也应从工程设计开头，全程参与工程的组织和实施工作。工程 实施三年后，目标仪器技术就绪度到达7级以上，可形成确定市 场规模，产生直接经济效益。4.2 企业担当工程的根本要求(1 )在中国大陆境内注册，具有较强科学仪器设备研发和 产业化力气，运行治理标准，具有独

8、立法人资格；(2)经高技术企业认定或到达同等条件；(3)工程与企业重点进展方向相符；(4)与工程参与单位具有前期合作根底；(5)与工程参与单位事先签署具有法律约束力的协议，明 确任务分工、国拨经费安排、成果和识产权归属及利益安排机制；(6)企业投入的自筹研发经费与国拨经费投入比例不低于1 : 1o投入的自筹研发经费应用于工程研发活动，而不得用于生产 线、厂房等产业化力气建设。4.3工程组织要求(1 )工程推举单位要加强本部门、本地区、本行业领域科 学仪器设备进展的顶层设计、资源整合和扶持培育。(2)工程推举单位要组织工程牵头单位，会同产、学、研、 用等各方面，乐观开展工程设计和筹划工作。在工程

9、设计时，既 要留意技术问题，也要留意工程化和产业化筹划、企业资质和力 气以及学问产权和利益安排机制等非技术问题。(3 )工程推举单位要催促工程担当单位在工程提出时落实 法人负责制、落实工程配套条件；催促工程担当单位联合国内外优 势力气共同开展工程设计和实施。(4)工程推举单位在组织推举过程中要充分发挥专家的询 问作用。除考虑技术可行性外，还应重点关注工程化和产业化策划、企业资质和力气以及学问产权和利益安排机制等非技术内容。在 此根底上，择优向科技部推举工程。三、主要任务1 .核心关键部件开发与应用攻克源部件、探测器与传感器、分析分别与把握部件等科学仪 器核心部件的关键技术，争论部件的核心关键材

10、料以及生产工 艺, 形成具有自主学问产权、质量稳定牢靠的核心关键部件。共性考核指标：目标产品应通过牢靠性测试和异地测试，技术就绪度到达9级，至少应用于2种类型仪器。原则上，每个工程下设任务数不超过6个，担当单位数不超过6个。源部件1.1.1 光源1高强度、高稳定空心阴极灯争论内容：研发高强度、高稳定空心阴极灯，优化空心阴极灯 构造设计，争论合金阴极材料组成及制作工艺，改善空心阴极灯生产工艺，研制空心阴极灯性能测试特别装置，争论影响噪声、 同心度等关键指标的因素及改善方法。开展工程化开发和产业化开 发，形成工程化和产业化力气。为原子吸取光谱仪和原子荧光 光 谱仪等仪器供给核心部件。考核指标：稳定

11、性指标，铜灯在30 min内基线漂移v.2% , 其它元素灯在5 min内基线漂移6000mA.h ,易熔、易挥发元素灯N4000mA.h ；改善空心阴极灯 性能，灯噪声S0.2% T ,灯旋转360。的能量偏移V 10%。应提出明 确合理的牢靠性指标要求，工程完成时，目标产品应参照国家或行 业相关标准进展测试。制造专利3项，技术标准3项。工程验收 后三年内年销量到达2万支。实施年限：不超过3年1.1.2 射频源(1 ) ICP射频源争论内容：开发ICP射频源，争论大功率射频自激发生、频 率锁相、功率调谐和高效散热技术，开发能够有效的降低等离子体 电势的全固态自激式电感耦合等离子体射频源；实质

12、P 射频源的 工程化和工艺化开发，形成牢靠的产品，解决相关国产仪器对高 性能射频源关键部件需求的难题。考核指标：工作频率27.12 MHz ,频率稳定度0.02% ,功率 输出0.6L6 kW可调。制造专利3项，技术标准3项。工程验 收后三年内年销量到达100只以上。实施年限：不超过3年(2)双相射频源争论内容：开发双相射频源，争论双相射频源高精度驱动与 高稳定反响、过载保护电路、关心激发信号耦合与双相射频电源 数字把握技术，开发能够周密驱动线性离子阱的双相射频高压电 源；实施双相射频源的工程化和工艺化开发，形成稳定牢靠的产 品，有效解决相关国产仪器对高性能双相射频源关键部件的需求。考核指标：

13、射频高压最大2 kVpp ,频率0.92 MHz ,关心信号带宽50 kHz 450 kHz ;射频高压最大10 kVpp ,频率1 M1.2MHz ,关心信号带宽IOk 550 kHz。制造专利3项,技术标准3项。工程验收后三年内年销售到达100套。实施年限：不超过3年1.1.3 型质谱离子源争论内容：争论放开式离子化技术，研制型电喷雾、介质阻挡 放电、激光/气体关心喷雾和高度集成化放开式的离子源，开展离 子化应用方法开发和数据库构建，实施离子源的工程化和产业化开 发，满足原位实时快速分析、单细胞分析、质谱成像分析、超痕量 样品分析需求，推动我国质谱离子化技术与装置的跨越式进展。考核指标：形

14、成6种以上具有自主学问产权的型放开式质谱 离子源产品，有力支撑食品安全、环境应急、药研发、现场快检、 生物争论、质谱成像、公共安全等质谱检测应用。形成敞开式质谱 离子源工艺化、产业化基地，实现批量生产。制造专利3项，技术标准3项。工程验收后三年内年销售到达40套以上。实施年限：不超过3年有关说明：每个工程形成5 种以上不同的离子源产品。1.2 探测器与传感器1.2.1 光探测器(1 )光电倍增管争论内容：开发侧窗型、端窗型光电倍增管，争论侧窗型、端 窗型光电倍增管的构造设计优，化阴极材料及倍增极材料配方和制 作工艺，争论包括激活工艺、封装工艺等在内的各环节生产工艺，探 究影响光电倍增管灵敏度、

15、暗电流、响应时间等关键性能的因素 及改进方法，进展工程化和产业化开发，为器、辐射测量仪器、高 能物理争论、石油测井及军用设备供给关键部件。考核指标：阳极光照灵敏度300 Aln典型值；最大暗电 流V 50 nA30分钟后；增益10。制造专利3项，技术标准3 项。工程验收后三年内年销售到达500支。实施年限：不超过3年(2)太赫兹探测器争论内容：研制基于栅控二维电子气的型室温太赫兹探测器, 突破场效应混频探测器芯片及其模块制造的关键技术，实现全国 产化。建立定量化的场效应混频探测器模型和模拟仿真技术；从外延 材料、天线设计、阻抗匹配到模块化集成实现场效应混频探测器 的优化设计；开发纳米栅极及其低

16、漏电率的工艺制备技术；争论二 维电子气场效应阈值电压的调控技术，研制两端构造的高灵敏度 太赫兹场效应混频探测器。考核指标：研制成0.1 Ll THz波段内系列化的室温太赫兹 场效应混频探测器芯片及其模块，满足室温下高灵敏度的太赫兹波 探测需求。0.1h 0.22. 0.34. 0.65和0.90 THZ探测器芯片的等效 噪声功率小于IOPW/Hz2 ;响应度大于2800 V/W ;带宽大于80 GHz ;响应时间小于IOonS ;硅透镜和波导喇叭集成的两种探测 器模块。制造专利3项，技术标准3项。工程验收后三年内年销售到达IOO套。实施年限：不超过3年1.2.2 辐射探测器争论内容：攻克高密度

17、快衰减无机闪耀晶体生长及阵列加工制 备、PlPS探测器的高阻硅材料研制、吸取区构造设计及漏电流工艺 把握等关键技术，建立辐射探测器成套的完整生产、测试工艺，形 成具有自主学问产权的高性能高能量区分率、高空间分辨率、 高时间区分率I高牢靠性辐射探测器系列产品，开展工稻匕和产业 化争论，形成批量生产力气，为医疗诊断仪器、工业无损探测仪 器和核辐射环境检测仪器供给核心关键部件。考核指标：辐射探测器实现国产化和批量生产，根本满足我 国科学仪器和工业应用对辐射探测器的需要。闪耀晶体探测器光输 出N45000 ph/MeV ;衰减时间WIOOns ；密度6.5 g/cc ;能量区分率 9%662 keV

18、;阵列规格:44-1616 ； PIPS辐射探测器灵敏面 积13 mm2 ;暗电流小于2 nA ;击穿电压大于IoOVo位置灵敏型闪耀探测器像素面积1 mml mm6 mm6 mm ;暗电流500 nA ;脉冲恢复时间50 ns;几何填充因子60% ; PDE在380 nm 550 nm范围内最小值不小于30% ;批量生产90%以上产品雪崩电 压偏差v0.2 V ；雪崩电压随温度变化系数50 mV/C ；后脉冲 0.5% ；微像素间串扰10% ；本征位置区分率岂).5 mm ；能量区分 率能量区分率S12%662keV ；时间区分率S300 ps X射线成像 探测器灵有效灵敏面积100x 10

19、0 mm , CMOS读出工艺；X射线 空间区分率*5 lpmm能量响应范围：30 160 keVo制造专利3 项，技术标准3项。工程验收后三年内年销售到达Iooo支。实施年限：不超过3年1.2.3 物理量探测器(1)超高温温度和压力传感器争论内容：攻克信号背景噪声抑制、高速动态光谱采集、高精度 信号反演等关键技术，争论超高温环境下工作材料试验结构设计、 加工制作工艺、校准与标定方法，解决超高温环境下温度、压力和振动参数原位测量问题研，究超高温环境下温度和压力传感器静 态和动态特性测试技术，开发高性光路系统、信号采集系统以及温 度反演软件等，解决长期制约我国燃煤燃气锅炉航空发动机等试 验参数原

20、位测量问题为，我国自主研制航空发动机高、超弱机 重型 燃气轮机等先进能源动力系统供给有力支撑。考核指标：对于高温温度传感器，温度测量范围一50 1800 ,响应时间200 ms ,综合精度5% ；对于高温压力传感器 考核指标，工作温度范围一50 1200 ,频响范围：0200 Hz , 压力测量范围0400kP,综合精度5%一50500、10%C500 1200 ;对于高温振动传感器工作温度范围 0 1200 ,频响范围01 MHz ,振动测量量程10 g。制造专利3 项,技术标准3项。工程验收后三年内年销售到达1000套。实施年限：不超过3年(2)高端应变式传感器争论内容：攻克应变式传感器多

21、因素耦合计量特性仿真设计 理论；争论高性能弹性体、应变计、粘贴剂及传感器生产工艺；争 论高稳定度传感器检测技术；形成自主学问产权的高端应变式传感 器及其检测技术。并在此根底上进展产业化开发，满足我国力学量 值传递、航空航天台架测试、工业生产过程把握等领域对力传感 器的需求，打破关键领域国外产品的垄断，为中国制造2025供 给测量技术支撑。考核指标：量程为1 kN2 MN ,应用于国内量值传递领域 的参考标准传感器或传递标准传感器，技术指标到达国际先进水平。 线性SO.01% FS ；重复性S0.002% FS ；复现性S0005%FS ；长期稳 定度).005%/年FS0实现量值传递等领域使用

22、的高端传感器的产业 化；促进传感器产品质量的提高。制造专利项，软件著作权3 项，技术标准3项。工程验收后三年内年销售到达50套。实施年限：不超过3年(3)周密位置传感器研发内容：针对高端数控机床、3D 打印、几何量计量、周密 转台等应用需求，开发大量程、高精度金属光栅，突破金属光栅纳 米压印成型工艺、型光栅构造、高性能光栅读数、光栅校准和误差 补偿等关键技术，实现大量程、高精度长度测量与高精度动态角度 测量等性能，在航空航天、机器人、机床等行业开呈现范应用，在 此根底上开展工程化研发，开发具有自主学问产权的国产高精度金 属光栅，替代国外进口，为我国先进制造及制造业 转型升级供给 关键部件。考核

23、指标：平面光栅精度0.5 向n制造专利3项，技术标 准3项。工程验收后三年内年销售到达200个。实施年限：不超过3年1.2.4 化学生物传感器争论内容：攻克基于红外特征分子光谱、集成光学免疫传感以 及电化学测量的关键技术；争论高特异性、高亲和力植物激素识别 分子的方法和技术，并建立相应的生物传感测定技术；争论基于基 因工程生物放大原理的特异型生物传感器、主要植物激素 的高灵敏生物传感器，建立特定构造分子的识别元件库。建成基于 传感器的成套高灵敏在线测量系统，满足争论大气、环境、疾 病 等领域二次污染形成机理争论和生物医学争论的需求。考核指标：针对含氮化合物Nq等大气气体检测支持多档量 程，在0

24、 10 ppm量程，区分率到达0.001 ppm ,气体类检测稳定 运行时间不少于3年，期间免校准；基于免疫或核酸适配体的电、 光、磁传感器，针对血液或体液特定分子开展快速检验，如甲胎蛋 白、肌红蛋白等标志物等特诊分子，特征分子体系不少于30种标 志物；基于基因工程生物放大原理的型生物传感器，颊不少于10 种肿瘤标志物等特定生物分子目标检测0种主要植物激素的高 灵敏生物传感器。制造专利3项，技术标准3项。工程验收后三年 内年销售到达500套。实施年限：不超过3年1.3 分析分别与把握部件1.3.1 光栅争论内容：开发体光栅，争论宽光谱基底材料的配方及制备工 艺技术、高效率体全息曝光记录技术、高

25、损伤阈值技术和热定影技 术，争论高光谱选择性和高角度选择性的体全息光栅性能优化与制 作工艺。进展工程化和产业化开发，为激光器行业、周密 制造行 业和国防工业供给核心关键部件。考核指标：完成体光栅在3种以上典型仪器的集成应用示范，衍射效率95% ,适用光谱范围400 nm2600 nm ,光谱透过 率90% ,损伤阈值20 Jcm2o制造专利3项，技术标准3项。工程 验收后三年内年销售到达80套。实施年限：不超过3年1.3.2 泵(1 )高精度超高压液相泵争论内容：开发高精度超高压液相泵，争论耐高压泵的制作工 艺，攻克降低流量脉动和死体积的关键技术，争论影响产品可靠性 的因素，开展工程化和产业化

26、争论，形成批量生产力气，为国产超高压液相色谱仪进展供给核心关键部件。考核指标：最大工作压力NIOOMPa 1 mL/min流速；流量 准确度41.0% ；流量精度).06% RSD ;确定条件下连续运行IoOO h不漏液；死体积小于微升级别。满足超高相液相色谱梯度分析 需求，故障率低。制造专利3项，技术标准3项。工程验收后三 年内年销售到达10。套。实施年限：不超过3年(2)周密微量注射泵争论内容：开发周密微量注射泵，争论微量流体流量把握的准 确性及稳定性的方法，争论制作工艺及制作材料，开展牢靠性设计 与测试，为流淌注射、液相色谱仪、质谱仪等供给关键部件，满 足多种试验需求。考核指标：流量范围

27、为0.01 50 mL ;准确度V 0.5% ;精度 0.05% CV ；不漏液,耐腐蚀。制造专利3项，技术标准3项。 工程验收后三年内年销售到达500套。实施年限：不超过3年1.3.3 流量把握部件争论内容：开发高精度、高稳定性、反控力气强的电子流量把 握系统，争论流量把握精度及准确性的影响因素，攻克关键材料、 关键零部件、算法等方面的关键技术，争论改善流量及压力 稳定 时间的方法。提升国产气相色谱仪智能化程度及性能。考核指标：流量及压力稳定时间S5 s ；流量把握精度S0.001 psi ;满量程偏差4。具备温度补偿功能。制造专利3项，技术 标准3项。工程验收后三年内年销售到达500套。实

28、施年限：不超过3年1.3.4 自动进样器争论内容：开发高牢靠、高性能自动进样器，争论产品制作工 艺，争论影响质量牢靠性的因素和保障措施，开发顶空进样、固相 微萃取、吹扫捕集、在线过滤、富集和分析等功能。为质谱、色谱 等化学器、生命科学仪器配套。考核指标：进样重复性RSD 0.2% ,样品残留V 0.01% ,定位精度优于0.2 mm。制造专利3项，技术标准3项。工程验收后 三年内年销售到达100套。实施年限：不超过3年1.3.5 样品前处理仪争论内容：攻克在线提取、浓缩净化、蒸储分别的多元自动化 把握、在线联机、微痕量裂开等前处理关键技术，研制智能加样、 加载、分别、液面分层感应、色度识别、微

29、流控等关键部件和模块, 开发农、食产品安全、环保等领域的样品前处理的往复式在线数控 提取仪、多道自动浓缩仪、程序消解仪、微流控核酸提取仪、高通 量微量裂开仪、DNA富集“磁力枪”及多功能集成处理系统，软件 争论基于高精度激光光衍射算法，实现单元独立把握和多元集成把 握，到达裂开、消解、提取及浓缩等操作全程自动化，开展工程化 和产业化开发，可与液相色谱、气相色谱、质谱、定量PCR仪、 基因测序仪等联机匹配。考核指标：研发前处理仪器不少于10种，实现色度识别数 字化，高压制样、富集等一体化，多道处理连续化。回收率、重复 性等技术指标符合相关分析方法标准要求，满足食品安全、环保、 生物技术等领域样品

30、前处理快速、高通量、自动化需求。发明专 利3项，软件著作权3项，技术标准3项。工程验收后三年内销 售到达500套。实施年限：不超过5年2 .高端通用仪器工程化及应用开发攻克器、物理性能测量仪器、电子测量仪器和计量仪器开发 的关键技术。共性考核指标：目标产品应通过牢靠性测试和异地测试，技术就绪度不低于8级。原则上，每个工程下设任务数不超过8个，担当单位数不超 过10个。2.1 器2.1.1 基于射线类的显微成像仪争论内容：攻克多能谱光子计数X射线成像、多模态X射线成 像、X射线成像探测器封装和集成工艺等关键技术，开发基于多 能谱光子技术X射线的图像重建算法和处理软件，形成具有自主只 是产权、功能

31、健全、质量稳定牢靠的基于射线类显微成像仪。并在此 技术上开展工程化开发和产业化开发，解决小型化和产品化问题, 形成工程化和产业化力气，实现生物体内器官和组织的深度、密 度、体积等参数快速采集和全方位成像或构造件的显微成像，为 核医学争论、工业无损探测和安全检查等领域供给技术支撑。考核指标：区分率优于3.6 lpmm ,最高计数率l8mm2S , 多能谱甄选阈值8能区，单系统成像面积40Omm2 ,并可扩展拼 接，单系统像素单元256x256像素尺寸100 m制造专利3项， 软件著作权3项，技术标准3项。工程验收后三年内产值到达1.5 亿元。实施年限：不超过5年2.1.2 高区分荧光显微成像仪争

32、论内容：攻克光切面成像、动态成像、荧光标记与共定位、 三维空间复原、定量或半定量分析、单分子荧光探测、荧光漂白 后恢复技术；以及高速高精度扫描把握技术。研制复眼照明、高 精度Z轴调焦、微分干预、荧光滤色块、平场复消色差物镜等关 键部件和模块。开发四维全自动分析测量软件。形成具有自主学 问产权、功能健全、质量稳定牢靠的高区分荧光微分干预显微镜。进 展工程化和产业化开发，实现对活体组织微观构造、各种肿瘤细 胞的显微成像，为细胞组学、基因组学、蛋白组学、肿瘤学等争 论供给技术支撑。考核指标：具有复眼照明、高精度调焦、微分干预、图像分 析，四维全自动分析等功能，平场复消色差物镜，最高OO倍， 数值孔径

33、大于1.4 ,区分率0.2 中制造专利3项，软件著作权 3项，技术标准3项。工程验收后三年内年产值到达3000万元。实施年限：不超过5年2.1.3 小型高灵敏度低能射线纳米尺度三维成像仪器争论内容：攻克超高灵敏度低能射线探测、超高增益光信号采 集、系统小型化等关键技术，研制激光等离子体低能量射线发生器、 探测器等关键部件，开发组织深度、密度、体积等信息的快速采集 软件系统，构建相关数据库，形成具有自主学问产权、功能完备、 质量稳定牢靠的小型化、灵敏度高、区分率高、成像速度快的低能 射线纳米尺度三维成像仪。开展工程化和产业化开发，应用于生物 体内器官、组织的空间构造、物理性质等信息的快速采集、分

34、析 和融合。考核指标：可实现单光子级别检测，光电信号增益大于06 , 在2D成像时间低于30 s、3D成像时间低于15 min的状况下区分 率优于50 nmo制造专利3项，软件著作权3项。工程验收后三 年内年产值到达5000万元。实施年限：不超过5年2.1.4 高区分共朝激光显微断层成像仪争论内容：攻克共聊激光显微高区分及快速成像关键技术，开 发高灵敏度弱光探测器、高精度扫描机电平台等关键部件和模块， 开发超快响应速度、超高探测效率、超宽光谱探测范围的探测系统。 开发相关软件系统和数据库，形成具有自主学问产权、功能完备、 质量稳定牢靠的高区分共聊激光显微断层成像仪，实现该仪器图像 区分率和成像

35、速度的同时提高，满足对活体组织结构动态、定量、 三维的显微观测需求。考核指标：光电探测灵敏度到达单光子级别、光谱有效探测 范围350 nm850 nm、光探测效率60%、成像响应时间80 ns、成 像速度300帧/秒、平面区分率0.15 m,轴向区分率10 nmo制 造专利3项，软件著作权3项。工程验收后三年内年产值到达 5000万元。实施年限：不超过5年2.2 物理性能测试仪器2.2.1 差式扫描量热仪争论内容：攻克宽幅变温与控温、高温磁场耦合、磁环境周 密测量、微型加热与样品固定等关键技术，研制宽幅变温控温存 磁一热一电耦合等关键部件，开展磁场环境热器综合集成，开发温 度和磁场准确把握、信

36、号传输补偿与校正、数据分析等软件，丰 富仪器功能，形成具有自主学问产权、功能健全、质量稳定牢靠 的差式扫描量热仪。并在此技术上开展工程化开发和产业化开发, 解决宽幅变温差式扫描量热仪器的工程化和产业化问题，形成可商业 化、通用型热器的系列化进展，满足特征温度、反响热、熔融与结 晶、结晶度、热稳定性、固化、玻璃化转变、比热、质量变化、 热膨胀系数、反响动力学等参数测量要求，为周密测量和制造行 业供给关键技术支撑。考核指标：温度范围IOOK 973 K ;温度重复性0.1 K ；温 度准确度0.1 K ；升/降温速率0.01 Kmin50 Kmino制造专利3 项，软件著作权3项，技术标准3项。工

37、程验收后三年内年产值到达IoOO万元。实施年限：不超过5年2.2.2 高精度数字散斑干预检测仪争论内容：争论超光滑、超周密、超高温零部件形貌和误差以 及相关材料的力学性能测量、测试方法及仪器设备，攻克三维特征 高精度动态重构、全息干预条纹的高精度数值衍射算法和基于散斑 技术的超高温下材料性能测试等关键技术研，制相干与非相干照明光 源、定向加热激光、动态加载、数据采集处理等关键部件和模块，开发 软件丰富仪器功能，形成具有自主学问产权、功能健全、质量稳定 牢靠的高精度数字散斑干预检测仪并，在此技术上开展产业化开发, 实现常温存超高温对被测物体的位移变、形、振动及材料力学特性等 参量的高精度动态无损

38、检测研。究数字散斑干预及散斑构造视觉三 维测量系统的集成不；同温度下光测手段和材料高温本构关系；数 字散斑传感器的周密标定；为不同条件下材料力学性能周密测量和 周密制造行业供给技术支撑。考核指标：测量灵敏度小于50 nm ；测量面积大于200mm200mm ；测量速度大于20HZ ；实现常温存超高温材料力学 特性的测量；支持多相机同步测量，三维数据自动拼接。工程完成 时产品应通过牢靠性测试，技术就绪度到达8级，制造专利3项, 软件著作权3项，技术标准3项。工程验收后三年内估量年产值 到达2023万元。实施年限：不超过5年2.2.3 超光滑外表无损检测仪争论内容：争论多幅重叠干预条纹的相位分别算

39、法，形成具有 自主学问产权、功能健全、质量稳定牢靠的超光滑外表无损检测仪。 并在此技术上开展工程化开发和产业化开发，解决质量可靠性和产 品化问题，形成工程化和产业化力气。开展型连续变波长激光器在 相位移中的应用争论，实现非透亮物体超光滑外表及具有多层超光 滑平行反射面透亮物体的纳米级外表形貌高周密测量，满足现代工 业对大面积外表形貌和厚度变化测量的需要，为LED、光伏和半导体制造行业供给关键技术支撑。考核指标：口径尺寸N120mm ；测量精度到达RMSS20 nm ； 测量重复精度RMSqO nmo制造专利3项，软件著作权3项，技 术标准3项。工程验收后三年内产值到达2亿元。实施年限：不超过5

40、年2.2.4 周密光学器件在线检测仪争论内容：攻克尖端光学器件的周密间距测量、偏心检测与光 学像质评价技术。探究镜片间隙的非接触式测量方法，实现在线的 镜片间距高精度测量与引导装调；争论快速高精度的光学器件自动 偏心测量方法；开展波前测量与波前标定方法争论，形成基于波前 像差的光学像质判定算法。依据大型光学镜面、高数值孔径显微物 镜、树脂压印镜片等至少三种应用场景的需求，开发一体式的综合 测量仪器设备，并在国内高端的光学加工车间、国家质检系统、规 模化的光学元器件生产线，开展应用示范，为精密光学加工、器 件性能检测和尖端物镜装调，供给仪器支撑。考核指标：口径尺寸IOOmm ；间距测量精度优于8

41、0Onm ；偏 心测量精度优于IOOnm ；波前测量精度RMSSI5nm ,测量重复精 度RMS25 Hz 26.5 GHz ;区分率带宽符合CISPRI611和GJB 151B的区分率 带宽；实时分析带宽40MHZ ； 30 MHz-I GHz频段的测试速度 较传统电磁干扰测量接收机提升千倍以上；环境适应性、电磁兼 容性和安全性均满足GJB 3947A2023中对三级设备的相关要 求。制造专利3项，软件著作权3项，技术标准3项。工程验收 后三年内年产值到达2023万元。实施年限：不超过5年2.4 计量仪器争论内容：争论宽带大电流测量仪，攻克宽频带超大电流传感 和校准技术，争论宽频带大电流溯源

42、方法，研发高精度宽频带大 电流计量仪器及校准装置，形成具有自主学问产权、功能健全、质 量稳定牢靠的宽带大电流计量仪。在此根底上，开展工程化开发和 产业化开发，满足我国高铁、冶金、电力和工等行业对宽频带大 电流高精度测量应用和溯源需求，为周密测量和制造 行业供给关 键技术支撑。考核指标：沟通和直流大电流测量范围IOO kA 300 kA ,不 确定度0.2% 0.5% , k=2 ,带宽10 kHz宽频带电流频率测量范 围50 Hz-2.5 kHzl MHz ,电流测量范围10 A2 kA ,不确定 度：IE5 - IE2 , k=2o制造专利3项，软件著作权3项，技 术标准3项。工程验收后三年

43、内年产值到达2023万元。实施年限：不超过5年有关说明：非企业牵头申报，参与企业自筹资金与国拨总经费投入比例不低于1 : 1o3 .专业重大科学仪器开发及应用示范重点支持支撑经济和产业进展、效劳公益行业和民生改善、保 障国家安全和公共安全的3类专业重大科学仪器。共性考核指标：目标产品应通过牢靠性测试和异地测试，技术就绪度不低于8级。原则上，每个工程下设任务数不超过8个，担当单位数不超 过10个。3.1 支撑经济和产业进展的专业重大科学仪器3.1.1 工业过程在线分析检测仪器争论内容：研发石油、化工、制药、能源、冶金、矿产、有色 等重要流程工业的生产过程产物及排放物的在线监测技术，燃料、 原料、材料等物质的物理与化学转化过程的样品在线快速采样、高 压快速反响测试、在线无损检测、产物高速分别分析及多组分高频 检测技术，并研制形成具有自主学问产权、功能先进、质量稳定牢靠的流程工业生产及物质转化过程的在线分析检测及监 测仪器；开发仪器应用方法，实施仪器产品与系统的工程化，实 现产业化应用。考核指标：到达相关国家标准，通过牢靠性测试，技术就绪 度8级以上，其中工业