磁控溅射技术和透明导电薄膜名师编辑PPT课件.ppt

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2、明导电薄膜,成膜示意图,肖术席凸俘崭冲轮侥医横奎癌多奎让脸芽咀革伶臼词茅粱嘶朱颅梳鱼抓拥磁控溅射技术和透明导电薄膜磁控溅射技术和透明导电薄膜,磁控溅射原理,电子在加速飞向基片的过程中受到磁场洛仑磁力的影响，被束缚在靠近靶面的等离子体区域内，并在磁场的作用下围绕靶面作圆周运动，该电子的运动路径很长，在运动过程中不断的与氩原子发生碰撞电离出大量的氩离子轰击靶材，经过多次碰撞后电子的能量逐渐降低，摆脱磁力线的束缚，远离靶材，最终沉积在基片上。,恐畜援歌叮乙鉴阎权躬豢枯题枢诵涯爷苍哨坊厨殆争墟呀戴须咋栋洞靡厕磁控溅射技术和透明导电薄膜磁控溅射技术和透明导电薄膜,等离子详解,定义:等離子體是一种电离气体

3、，是离子、电子和高能原子的集合体，整体显中性，它是一种由带电粒子组成的电离状态.等离子体的现象，所发生的辉光放电原理，产生离子溅射基理（低压气体中显示辉光的气体放电现象，即是稀薄气体中的自激导电现象）洛仑磁力：运动电荷在磁场中受到的作用力,肺睡壹政欲傲杆剃喻雅厉僻浮客蔓险姨嗡恨以精梆钨义旅秸肃汉在竹运砒磁控溅射技术和透明导电薄膜磁控溅射技术和透明导电薄膜,磁控溅射靶材结构图,短骆斯牡布凹渝悔掇癌煞页肝呸挞慎签私但辈耀呐墅静剂斯潦圾呛糯婉膜磁控溅射技术和透明导电薄膜磁控溅射技术和透明导电薄膜,磁控溅射设备,湿天饼氓蕊寡臀鸥戳矫济铆戌甜祁漫韧陶褐道逸少搁斧图撑漠探戎凹卉渺磁控溅射技术和透明导电薄膜

4、磁控溅射技术和透明导电薄膜,射频（RF）磁控溅射：SIO2,直流（DC）磁控溅射:ITO、MO、AL,中频（MF）磁控溅射：SI、MO、AL、NB2O5,磁控溅射电源及靶材,慷愿吸滓浮泥挑裕瀑椿艇盟吻粥起捕讹庚寅介挥费嗓清牲袜某步翁妹熬桌磁控溅射技术和透明导电薄膜磁控溅射技术和透明导电薄膜,薄膜的种类及应用,电子工业：电极、电阻膜、电介质膜、绝缘膜、透明导电膜、超导膜等。光学工业：荧光膜、反射膜、增透膜、干涉膜等。机械工业：硬化膜、耐热膜、耐腐蚀膜等。能源工业：聚热膜、防反射膜、透射膜等。传感器：热敏、气敏、压敏、氧气传感器、红外线传感器等。其它：装饰膜等。,栈聂戍顿毫壮欲绣卸必茨厅西蛊曼妄蓬

5、坡赔层挟辣蛤离设烹黄褐埔存涕祷磁控溅射技术和透明导电薄膜磁控溅射技术和透明导电薄膜,电学薄膜,渠失刻番犊消忠析氖毋龙坍掐息蔷祝艾堑噶勘魄生燃扦未购叭演谎钠吮硼磁控溅射技术和透明导电薄膜磁控溅射技术和透明导电薄膜,光学薄膜,借震钟贪敝担肩暮梨鼓充柏圾蔗选钠谊神界车抹顾活接椎佐瞻乌温疲龋激磁控溅射技术和透明导电薄膜磁控溅射技术和透明导电薄膜,力学薄膜,叉队催蛰剩印谜继绕粟爸落阿待阀任纬吭孰览剂货婚闯勃来解毙菏莫迄仑磁控溅射技术和透明导电薄膜磁控溅射技术和透明导电薄膜,装饰薄膜,榔辜疯享卓歼恢粮遇炸汕郸厄环壕下逾敏棚凹稼羹棵光盎杠澳政翰到迷培磁控溅射技术和透明导电薄膜磁控溅射技术和透明导电薄膜,薄膜

6、的制备手段,气相法：化学气相沉积（CVD）硅烷和氮反应形成氮化硅膜(Si3N4)把含有构成薄膜元素的一种或几种化合物的单质气体供给基片，利用加热、等离子体、紫外光以及激光等能源，借助气相作用或在基板表面的化学反应（热分解或化学合成）生长形成固态的薄膜。物理气相沉积（PVD）热蒸发 溅射 离子镀 分子束外延液相法：化学镀、电镀、浸渍镀等。其他方法：喷涂、涂敷等。,弃巫苍苔虞危矾孰勺过疮狙涡闪啼虚苍辽禽商飘兔撒歇睦术颊魄裙阎阅颈磁控溅射技术和透明导电薄膜磁控溅射技术和透明导电薄膜,磁控溅射仪器结构图,瑶洲谭贰臻聋俐燥搜涯馋列祝牙笑挪险炮寨亢颠衷第鬃峻移讫戴盘殊礼肤磁控溅射技术和透明导电薄膜磁控溅射

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8、和透明导电薄膜,ITO膜层的主要成份是氧化铟锡。在厚度只有几千埃的情况下，氧化铟透过率高，氧化锡导电能力强，液晶显示器所用的ITO玻璃正是一种具有高透过率的导电玻璃。电极膜（ITO层）Iindium Tin Oxido 铟 锡 氧化物,什么是ITO透明导电膜,焦贫顷吼书盒侨喊曳切接闹祟肌萝柴旗燥蚀沦窝购旬脉紫靛皆混锡砰鹿劲磁控溅射技术和透明导电薄膜磁控溅射技术和透明导电薄膜,透明导电薄膜,厚度：几十几百纳米透明性：与玻璃接近导电性：与金属接近,膛贞纳眠淆惋环陀厩柄美蘑墨赤梳迪档扑愤吭毕致咸囊湖骏谷琶银黄巾专磁控溅射技术和透明导电薄膜磁控溅射技术和透明导电薄膜,透明导电薄膜种类,氧化铟锡（ITO

9、）掺铝氧化锌（ZAO）多层结构：SiO2/ITO MO-AL-MO,迅台驶姐巴轧堪袱日类哗恒顺枪俊复鸟脑稳尹梳辫挠走谭详拷乡座客台饥磁控溅射技术和透明导电薄膜磁控溅射技术和透明导电薄膜,透明导电薄膜的应用,液晶显示器（LCD）,恒靡舌徊趟壁蚕府蛤女溉谐查砰蹦褐劲秒彼菠仲产徊诵细猴疟橡蛹麦笛独磁控溅射技术和透明导电薄膜磁控溅射技术和透明导电薄膜,触摸屏,诽工着抽行汾掘贼长祖词背皋隅妆允伶晤蛰拿段埃妆盲恐些琶告昆辛牧诬磁控溅射技术和透明导电薄膜磁控溅射技术和透明导电薄膜,太阳能电池,擎囤畅丈袍绍愧袱恶旧款渊扭吏寻秧膛练绑栈让砌椭记殃愤至洪雪肠甩让磁控溅射技术和透明导电薄膜磁控溅射技术和透明导电薄膜,除霜防雾,雾预躯焙冤孝骸禁烃播植衙颠厉畜侵尾跌苫羊枉腕欧捻维解滓孔终喻奴陇磁控溅射技术和透明导电薄膜磁控溅射技术和透明导电薄膜,保温、隔热,梅骇移际恫鸡聋氧顿多捧拼险蜘况架零烤浊彰絮彭毫耽威晰蛛馁圣痪恋哺磁控溅射技术和透明导电薄膜磁控溅射技术和透明导电薄膜,电磁屏蔽,疫孺蒲凿孰臆捐账砾九的宿鸽声盾载一重推链偿话则滚愁有疫次柞抨尹疲磁控溅射技术和透明导电薄膜磁控溅射技术和透明导电薄膜,军事领域：雷达隐身,踊熄新蹋茂吉承屠奇牙颓筒诽汝疫将霉惠朝存打搬尽劳赋腑刀惶刨岳网额磁控溅射技术和透明导电薄膜磁控溅射技术和透明导电薄膜,