第3章测量技术基础.ppt
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1、第3章 测量技术基础,3.1测量的基本概念,3.2长度单位和尺寸(基准和量值)的传递,3.3计量器具与测量方法,3.4误差理论与数据处理,3.1.1 计量工作和对长度计量的基本要求,计量工作:单位统一、数值准确,3.1测量的基本概念,metrology,计量学是关于测量的科学。是研究测量,保证量值统一和准确的一门科学。,计量学,计量学研究的内容:,*计量单位及其基准,标准的建立、保存和使用。*测量方法和计量器具,测量不确定度,观测者进行测量的能力 以及计量法制和管理等。*计量学也包括研究物理常数和物质标准,材料特性的准确测定。,长度计量:,十大计量,对长度计量的基本要求:控制测量误差;选择测量
2、方法与测量器具;分析误差产生的原因。,3.1.2 测量的定义,测量:将被测量与体现测量单位的标准量进行比较,从而确定被测量的实验操作过程。,式中 L 被测量,在长度测量中指被测长度;,E标准量,在长度测量中是长度单位;,q比值。,它说明被测值L等于所用的长度单位E与测量比值q的乘积。,例如:E为mm,q50,则被测长度L为50mm。,测量的基本方程式,量值:用一个数和一个合适的计量单位表示的量,如1m 5kg等。,测量过程四要素(P58),1、测量对象(被测量)(几何量:长度、角度、形位误差和表面粗糙度),2、测量单位(标准量)(物质形式:光波波长、精密量块、线纹尺、各种圆分度盘),3、测量方
3、法(测量的类型、器具、基面、瞄准定位方法、主客观条件等),4、测量精度(不确定度),测试:指具有试验性质的测量。也可理解为试验和测量的全过程。,检验:是判断被测物理量是否合格(是否在规定范围内)的过程,通常不一定要求测出具体值。因此检验也可理解为不要求知道具体值的测量。检验的主要对象是工件。,检定:为评定计量器具是否符合法定要求所进行的全部工作,它包括检查、加标记和出具检定证书。检定的主要对象是计量器具。,比对:在规定的条件下,对相同不确定度等级的同类基准、标准或工作用计量器具之间的量值进行比较的过程。,3.1.3 名词术语,3.2长度单位和尺寸传递,3.2.1长度单位、长度基准和量值传递系统
4、,1.长度单位 m/mm/um/nm,1791年,档案米尺,1880年,国际米原器,铂铱合金的高精度米尺第6号(30多根),当时米的定义为:米的长度等于在冰点温度下,米原器两端刻线间的距离。,1960年,光波波长,米定义为:米的长度等于86Kr原子的2p10和5d5能级之间跃迁所对应的辐射在真空中的波长的165 0763.73倍。,长度单位的发展,1983年,新定义,激光技术,米是光在真空中在1/299 792 458 s 的时间间隔内所行进的路程长度。,2.长度基准:辐射线波长:氦氖激光器 632.8nm端面量具:量块刻线量具:线纹尺,角度基准:多面棱体、标准度盘、测角仪、分度头圆周封闭原则
5、,圆周分度器件,多面棱体,3.长度量值传递系统,图3-1、3-2,国家基准,基准波长,省级基准,一等量块,市级基准,二等量块,工厂基准,三等量块,计量器具,被测工件,工作基准,主基准,圆周分度器件:,单一角度:例如,v形导轨的夹角、燕尾槽角度等;,圆锥零件的锥形角:例如,刀具的锥柄、机床主轴的锥孔等;,例如,分度盘、多齿盘、多面棱体以及各种齿轮、花键等。,*角度测量的类型,角度量值传递系统P61 图3-3,由两个相互平行的测量面之间的距离来确定其工作长度的高精度量具,其长度为计量器具的长度标准。作用:对计量仪器、量具和量规等视值误差进行校正、鉴定,3.2.2 量块,长度量块是单值端面量具,其形
6、状大多为长方六面体,其中一对平行平面为量块的工作表面,两工作表面的间距即长度量块的工作尺寸。量块由特殊合金钢制成,耐磨且不易变形,工作表面之间或与平晶表面间具有可研合性。以便组成所需尺寸的量块组。,长度量块尺寸方面的术语(1)标称长度。量块上标出的尺寸称为量块的标称长度l。(2)实际长度。量块长度的实际测得值称为量块的实际长度。分为中心长度L 和任意点长度Li。(3)量块的长度变动量。指量块任意点长度Li的最大差值,即Lv=Li maxLi min。(4)量块的长度偏差。指量块的长度实测值与标称长度之差。,长度量块的分级 量块按制造精度分为6 级,即00,0,1,2,3,K 级,其中00 级精
7、度最高,3 级精度最低。K 级为校准级,用来校准0,1,2 级量块。量块的“级”主要是根据量块长度极限偏差和量块长度变动量的允许值(公差)来划分的。量块按“级”使用时,以量块的标称长度作为工作尺寸。该尺寸包含了量块的制造误差,不需要加修正值,使用较方便。但不如按“等”使用的测量精度高。,量块精度等级,长度量块的分等 量块按检定精度分为16 等,其中1 等精度最高,6 等精度最低。量块按等使用时,是以量块检定书列出的实测中心长度作为工作尺寸,该尺寸排除了量块的制造误差,只包含检定时较小的测量误差。按“等”使用量块,在测量上需要加入修正值,比按“级”使用的测量精度高。,分等:按其测量不确定度分,以
8、实测值作为工作尺寸(常用),分级:按制造精度分,以标称长度作为工作尺寸(少用),量块的使用(组合),长度量块的尺寸组合一般采用消尾法,即选一块量块应消去一位尾数。如尺寸 46.725 使用83 块套的量块组合为:46.725=1.0051.224.540,长度量块的尺寸组合利用量块的研合性,可根据实际需要,用多个尺寸不同的量块研合组成所需要的长度标准量。为保证精度一般不超过4 块。量块是成套制成的,每套包括一定数量不同尺寸的量块。,3.3 计量器具与测量方法,3.3.1 计量器具的分类(P62-63),1标准量具,2通用计量器具,3专用计量器具,4计量装置,计量仪器(简称量仪)是能将被测几何量
9、的量值转换成可直接观测的示值或等效信息的一类计量器具。,计量装置是指为确定被测几何量量值所必需的计量器具和辅助设备的总体。它能够测量同一工件上较多的几何量和形状比较复杂的工件,有助于实现检测自动化或半自动化。如齿轮综合精度检查仪、发动机缸体孔的几何精度综合测量仪等。,量具类是通用的有刻度的或无刻度的一系列单值和多值的量块和量具等,如长度量块、90角尺、角度量块、线纹尺、游标卡尺、千分尺等。,量规是没有刻度且专用的计量器具。可用以检验零件要素实际尺寸和形位误差的综合结果。,游标量具,应用游标读数原理制成的量具叫游标量具。它在机械制造业中应用十分广泛,可用于测量内外尺寸、高度、深度等。游标读数原理
10、 游标量具读数部分主要是由尺身与游标组成,其原理是利用尺身刻线间距与游标刻线间距差来进行小数读数,如图所示。,游标分度值为0.10mm,则被测工件尺寸为:2十0.302.30mm。,典型测量仪器,外径千分尺,测微量具,测微量具是机械制造中常用的精密量具,它是利用精密螺旋副进行测量,而以微分筒和固定套筒上的刻度进行读数的一种机械式量具。精密螺旋副的螺距为0.5mm,由于测微螺杆的精度受到制造工艺的限制,其移动量通常为 25 mm。,读数:14.10mm,读数机构由固定套筒和微分筒组成,如图所示。在固定套筒上刻有纵刻线,纵刻线上下方各刻有25个分度,每个分度的刻线间距为1mm,微分量具中测微螺杆的
11、螺距一船都是0.5mm,微分筒圆周斜面上刻有50个分度,因此当微分筒旋转一周时,测微螺杆轴向位移0.5mm,微分筒旋转一个分度时,测微螺杆移动0.01mm,故常用千分尺的读数值为0.01mm。,表类量具:钟表式百分表、千分表(分度值为0.010.001mm),此类量具的主要原理是将测量杆微小直线位移通过适当的放大机构放大后而转变为指针的角位移,最后由指针在刻度盘上指示出相应的示值。,光学比较仪(光学计),被测件最大长度:180mm,(0.20.25)um,光杆杠原理(光学比较仪)微小角度或位移的测量,放大倍数,A,测长仪和测长机结构中带有长度标尺,通常是线纹尺,也可以是光栅尺。测量时,用此尺作
12、为标准尺与被测长度做比较,通过显微镜读数以得到测量结果。量程较短的称为测长仪。根据测量座在仪器中的布置分立式测长仪和卧式万能测长仪(简称万能测长仪)两种。立式测长仪用于测量外尺寸;卧式测长仪除能测量外尺寸外,主要用于测量内尺寸。量程在500mm以上的仪器体形较大,称为测长机。,测长仪和测长机,工作台1上放置被测件2,通过测量轴体4上的可换测量头3与被测件接触测量。测量轴体4是一个高精度圆柱体,在精密滚动轴承支持下,通过钢带8,滑轮9,平衡锤12和阻尼油缸13完成平稳的轴向升降运动。配重7用来调整测量力。测量轴体的轴线上固定有基准标尺(玻璃刻尺)5,其上有l01条刻线,刻度间隔为1mm。由光源1
13、1发出的光,经透镜10,再透过基准玻璃刻尺,将毫米刻线影象投射入螺旋读数显微镜6,进行读数。,立式测长仪,不确定度:(1.5+L/100)um,卧式测长仪(万能测长仪),卧式测长仪主要由底座7、测座1、万能工作台5和尾座6组成。毫米刻线尺和测量轴水平卧放在仪器的测座上,并可在底座的导轨上作左右方向的移动;,它除了对外尺寸进行测量之外,还可配合仪器的内测附件测量内尺寸。,测长机是机械制造中测量大尺寸的精密仪器,仪器的种类很多,按其测量范围来分,有1,2,3,4,6m,甚至还有12m的。该仪器可进行绝对测量,也可用于比较测量。绝对测量是将被测工件与仪器本身上的刻度尺进行比较;而相对测量则是将被测工
14、件和一个预先用来对准仪器零点的标准件(如块规等)相比较,从仪器上读取两者之差值。,测长机,图中6是机身,在它的床面上镶有刻线尺7和分划板(分米尺)14。刻线尺7上从0到100mm内共有刻线1000条故每格为0.1mm;分划板14共有10块(1米),每块相距100mm,在每一块上面刻着两条刻线和0、1、29之间的一个数字,分别代表每一块分划板距刻线尺7零刻线的距离的分米数值。,光线自光源15,经聚光镜,滤光片、反射镜后照亮了分划板14。由于分划板位于物镜组11的焦平面上,故光线通过分划板14后,经直角棱镜12和物镜组11后便形成平行光束,经过同样焦距的物镜组9和棱镜8后,使分划板14成象于刻线尺
15、7上(因刻线尺7亦放置在物镜组9的焦平面上)。通过读数显微镜3和光学计管2进行读数。,分划板14,刻线尺7,光学计2,500+60.6+0.0075,立式接触式干涉仪:是一种高精度测微仪。,用接触式干涉仪测量时使用白光,即移出滤色片,使视场中出现零级黑条纹。根据测头先后与标准件及被测件接触时零级条纹位置间的距离,即可测得被测量相对于标准量的偏差值。例如检定量块:测头与标准量块接触时,零级条纹位于al(格),测头与被检量块接触时,零级条纹位于a=+4格,若仪器分辨力i=0.1um,则被测量块相对于标准量的中心长度偏差为i(a2-a1)=+0.5um,干涉测长是激光在几何量测量中最重要的应用。光波
16、干涉法作为精密测量长度和位移的有力手段问世已久。其测量精度很高。但在激光问世以前,由于缺乏亮度高、单色性好的光源,干涉办法的应用有着许多局限性,激光的出现则为干涉测长提供了极好的相干光源。(激光具有方向性好、能量高度集中、单色性好、干涉能力强的优点)。,激光干涉测长仪,激光干涉测长仪原理图,二、计量器具的技术性能指标,(1)刻度间距:这是指计量器具的标尺或分度盘上相邻两刻线中心之间的距离或圆弧长度。考虑人眼观察的方便,一般应取刻度间距为12.5 mm。(2)分度值:这指计量器具的标尺或分度盘上每一刻度间距所代表的量值。一般长度计量器具的分度值有0.1 mm、0.05 mm、0.02 mm、0.
17、01 mm、0.005 mm、0.002 mm、0.001mm 等几种。一般来说,分度值越小,则计量器具的精度就越高。,*分辨力:这是指计量器具所能显示的最末一位数所代表的量值。由于在一些量仪(如数字式量仪)中,其读数采用非标尺或非分度盘显示,因此就不能使用分度值这一概念,而将其称做分辨力。例如,国产JC19 型数显式万能工具显微镜的分辨力为0.5 m。,(4)测量范围:这是指计量器具在允许的误差限度内所能测出的被测几何量量值的下限值到上限值的范围。一般测量范围上限值与下限值之差称为量程。例如立式光学比较仪的测量范围为 0180 mm,也说立式光学比较仪的量程为180 mm。,(3)示值范围:
18、这是指计量器具所能显示或指示的被测几何量起始值到终止值的范围。例如机械式测微仪的示值范围为100m。,(6)示值误差:这是指计量器具上的示值与被测几何量的真值的代数差。一般来说,示值误差越小,则计量器具的精度就越高。,(5)灵敏度:这是指计量器具对被测几何量微小变化的响应变化能力。若被测几何量的变化为x,该几何量引起计量器具的响应变化能力为L,则灵敏度S=L/x 当上式中分子和分母为同种量时,灵敏度也称为放大比或放大倍数。对于具有等分刻度的标尺或分度盘的量仪,放大倍数K 等于刻度间距a 与分度值i 之比K=a/i 一般来说,分度值越小,则计量器具的灵敏度就越高。,(7)修正值:这是指为了消除或
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