第6章真空成像器件.ppt

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1、第6章 真空成像器件,了解：光电子成像技术的重要性；,理解：像管的三个基本部分组成，成像的三个物理过程，每 个过程的理论依据;,理解：级联式像增强器、微通道板像增强器、第三代像增强 器和第四代像增强器；,理解：摄像管的作用、区别及分类;,理解：慢电子束扫描概念，靶网电极的作用；,理解：硅靶结构和工作过程；氧化铅结构和工作过程；异质 结靶：硒砷碲靶、硒化镉靶、碲化锌镉靶；,理解：二次电子传导靶结构、每层作用及工作过程。,作为军用夜视和光电子成像技术的重要组成部分,光电子成像器件一直受到各国军界的高度重视和支持。,美军装备的“猫眼”夜视镜，在气候良好的黑夜，视距可达11公里。地面部队和海军陆战队装

2、备的微光夜视仪，可将环境光放大近万倍，能发现公里以内的车辆和公里以内的人员。,“白天是敌人的，晚上是我们的”传统作战经验；只要伪装好，“高抬腿、轻迈步”，不出声响，就可接近敌人。,在“沙漠风暴”的空袭阶段，夜间出动飞机的架次占总架次的；在“沙漠军刀”的地面作战阶段，发起攻击和主要作战行动的时机，也都选在凌晨或夜间。即使在无星无月的夜晚，也能有效地实施大规模的空袭和地面作战。,像管和摄象管的主要区别:像管内部没有扫描机构，不能输出电视信号。,固体成像器件，只要通过某些特殊结构或电路读出电信号，然后通过显示器件再成像。,真空成像器件都具有一个真空管，都将光电成像单元放置于真空管中，所以也可称真空光

3、电成像器件,光电子成像技术是光电子学的重要组成部分。它能弥补或改善人眼在空间、时间、灵敏度和响应波段等方面分辨能力的局限,大大扩展了人眼的视野,把人眼天生不能看见或不易看见的微弱光、红外光、x光、紫外光及其他电磁辐射下的静态和瞬态景物,变为可视图像。,光电成像器件是能输出图像信息的一类器件.,管内有无扫描机构,摄像管根据光电转换的方式又分为光电发射型摄像管(摄像管)和光电导型摄像管(视像管),因此,作为现代信息科学的一个重要内容,光电子成像技术一直受到人们的普遍关注,发展异常迅速。,美军仰仗先进的夜视器材，改变了过去不敢夜战和不善夜战的被动状况，将夜暗转变成对己方有利的夜幕屏障，使战场在很大程

4、度上变成了对美军“单向透明”的战场，主要作战行动基本都在夜间进行。,使用方法与使用望远镜相似；观察远处景物时，须用它直接面对着景物。,像管包括:变像管和像增强器，都具有光谱变换、图像增强和成像的功能。,变像管:能把各种不可见辐射图像转换成可见光图像的真空光电成像器件。,像增强器:能把微弱的辐射图像增强到人眼可直接观察的真空光电成像器件，因此也称为微光管。,一 像管,1.像管结构和工作原理,像管由三个基本部分组成；其成像有三个物理过程；每个过程的理论依据要搞清楚！,灵敏度高,波长响应范围较宽,光电阴极使不可见的或亮度很低的辐射图像转换成电子图像。,（1）光电阴极,像管中常用的光电阴极有四种,对可

5、见光敏感,对红外光敏感,光电阴极完成成像的物理过程及其理论依据：,物理过程：将接收的微弱的可见光图像或不可见的辐射图像转换成电子图像。,物理过程的理论依据：外光电效应和爱因斯坦定律,电子光学系统对电子施加很强电场，使电子获得能量，因而能将光电阴极发出的电子束加速并聚焦成像在荧光屏上；从而实现图像亮度的增强，使荧光屏发射出强得多的光能。,静电系统：靠静电场的加速和聚焦作用来完成；电磁复合系统：靠静电场的加速和磁场的聚焦作用来共同完成。,（2）.电子光学系统,电子光学系统有两种形式:静电系统和电磁复合系统,电子光学系统完成成像的物理过程及其理论依据：,物理过程：使电子图像聚焦成像并获得能量增强或数

6、量倍增；,物理过程的理论依据：利用电子在静电场或电磁复合场中运动规律来获得能量或者利用微通道板中二次电子发射来增加电子流密度进行图像增强。,P-1:ZnS:Ag P-2:(ZnCd)S:Ag P-3:ZnS:Cu,(3).荧光屏,荧光屏的作用：是在高速电子的轰击下将电子图像转换成可见光图像。,要求:荧光屏不仅要有高的转换效率，而且屏的发射光谱要同人眼或与之耦合的下级光电阴极的吸收光谱一致,注意:通常在电子入射的一边镀上铝层?,常见荧光屏发光材料的光谱发射特性,目的:铝膜厚0.2微米；可以引走荧光屏上积累的负电荷;避免光反馈，增加发射光的输出.,荧光屏完成成像的物理过程及其理论依据：,物理过程：

7、将获得增强后的电子图像转换成可见的光学图像；,物理过程的理论依据：利用的是荧光屏上的发光材料可以将光电子动能转换成光能来显示光学图像。,增益是荧光屏的亮度Ba和入射至光电阴极面上的照度Ek之比，以GB表示：,2.像管的特性参数,(1).光谱响应特性和光谱匹配,光谱响应特性:由光电阴极的响应特性决定，因此描述像管光谱响应性的参量与第5章光电阴极的一致。,光谱匹配:是指像管的光源与光电阴极、光电阴极与荧光屏、荧光屏与人眼视觉函数或摄像机之间的光谱分布匹配，匹配良好，像管将获得较高的灵敏度。,(2).增益特性,像管置于完全黑暗的环境中，加上电压后，荧光屏上会发出一定亮度的光。这种光称为像管的暗背景。

8、,(3).等效背景照度,等效背景照度:指在荧光屏上产生同暗背景相等的亮度时，光电阴极面上所需的输入照度值,分辨率:指用标准测试板通过像管成像后，在荧光屏的每毫米长度上用目测法能分辨得开的黑白相间等宽距条纹的对数。,Bb为暗背景亮度,(4).分辨率,暗背景的存在，使图像的对比度下降，图像太微弱时可能淹没在背景中不能辨别。,单位:lp/mm。,1.常见变像管,（1）.红外变像管,二.常见像管,红外变像管结构图:,光电阴极和荧光屏都是平面，使边缘像质变差,紫外变象管:窗口材料为石英玻璃，紫外变象管与光学显微镜结合起来，可用于医学和生物学等方面的研究。,（2）.紫外变像管,对于波长大于1.15m的红外

9、光，采用负电子亲和势光电阴极。,该管由光电阴极、阳极和荧光屏三部分组成,它可以使波长大于200nm的紫外光变成光电子,光电阴极为Ag-O-Cs材料的像管，称为红外变像管.可以使波长小于1.15m的红外光变成光电子。,光电阴极和荧光屏制成平凹形，经过光纤面板的导光，大大提高了像质,（3）选通式变像管,在变像管的光电阴极和阳极间增加一对带孔阑的金属电极控制栅极，就成为选通式变像管。,改变栅极的电压就可控制变像管的导通,结论：只要使选通式变像管的工作周期与光源的调制周期同步工作，就可以提高图像的对比度和图像质量。,2.常见像增强器,（1).级联式像增强器,为了保证连接后的成像效果，应注意：,1).图

10、中每个单级变像管的输入和输出都用光纤面板制成，有利于级与级之间的耦合;,2).必须注意荧光屏和后级光电阴极的光谱匹配。,若单级分辨率大于50lp/mm，三级可达3038lp/mm，亮度增益可达105。,级联式像增强器是由几个分立的单级变像管组合而成,三级级联式像增强器属第1代像增强器,(2)第2代像增强器（微通道板像增强器）,MCP像增强器有两种结构：双近贴式和倒像式,双近贴式像增强器，用微通道板代替电子光学系统，实现电子图像增强。,双近贴式：光电阴极、微通道板、荧光屏三者相互靠得很近，故称双近贴,倒像式：与单级像管不同点是在电子光学系统与荧光屏之间加入MCP，其输入、输出端采用了光纤面板,通

11、断的频率在光照强时较高，光照弱时较低，以便在光照极强时减少进入微通道板的电子流，避免其饱和。于是，使用者始终看到均匀一致的图像。,“GaAs光电阴极+镀离子阻挡膜的微通道板”。缺点：离子阻挡膜可以防止离子反馈和破坏灵敏的光电阴极，但也降低了管子的分辨率和信噪比，影响像增强器在微光下有效的工作。方向：找出既不用阻挡膜又能保护光电阴极的方法！,与连续直流电源不同，加在光电阴极上的自动通断的电压是脉冲式的，即电源感知进入像管的光量，自动高速接通和切断。,二代管在满月到1/4月条件下工作;三代管则使士兵能在星光下观察;四代管采用门控电源和低晕圈，不仅能在云遮星光的极暗条件下有效工作，而且能在包括黄昏和

12、拂晓的各种光照条件下工作。,突破的技术两点：1.管子采用新材料制成的长寿命、高增益、低噪声的无膜(无离子阻挡膜)MCP；2.NEA光电阴极采用自动控制门电源，有利于减小强光下到达MCP的电子流，以降低强光下图像模糊效应。,(3).第3代像增强器,第3代像增强器：第2代像增强器的MCP结构+NEA光电阴极。这种像增强器同时起到光谱变换和微光增强的作用,(4).第4代像增强器,3.特殊变像管,(1).图像放大像管,(2).多功能像增强器,多功能像增强器由光电阴极、电子光学系统、栅极偏转板、旋转线圈、微通道板和荧光屏组成。,这种管子极限分辨率可从放大率为1的40线对/毫米,提高到放大率为21.6时的

13、400线对/毫米。,由图可见：由光电阴极、磁性线圈（放大、聚焦、偏转）、微通道板及荧光屏组成的磁聚焦型像管。,多功能像增强器采用磁场使图像旋转和平移，有利于完成识别图像所需要的大部份预处理工作。应用于光学字符阅读器、光学数据处理和遥感图像识别系统方面。,（3）位置敏感传感器像管,（4）装有光电导靶的反射式变象管,PSD像管结构图,反射式变象管：采用光电导技术，使红外光成像到光电导靶面上，在靶的另一边形成电势分布图象，用磁场控制电子枪发出的电子流，再利用返回的电子流轰击荧光面,位置敏感传感器像管：采用PSD代替一般像管的荧光屏，并采用多级MCP板,三 摄像管,1.摄像管的作用及分类,摄像管:把按

14、空间光强分布的二维光学图像记录并转换成一维时间变化的视频信号的一种成像装置。,按光电变换形式摄像管分为两类：第一类是利用外光电效应进行光电转换的摄像管，称光电发射型摄像管(简称摄像管),光电发射型摄像管：包括二次电子导电摄像管和硅靶摄像管；属于微光摄像；增益和灵敏度很高；可工作在亮度较低的场合,视像管的特点：结构简单、体积小、使用方便，在工业电视中被广泛应用。,电子枪的作用:产生热电子，并使它聚焦成很细的电子射线，按着一定轨迹扫描靶面,视像管按光导靶的结构可分为：光电导型和PN结型两种。光电导型采用光电导材料,如硫化锑（Sb2S3）管；PN结型管采用结型材料,有PbO管、硅靶管和异质结靶管等。

15、,相同点是都有扫描区(电子枪)：电子枪包括灯丝、热阴极、控制栅极、各加速电极和聚焦电极、靶网电极和管外的聚焦线圈、偏转线圈和校正线圈。,光电发射型摄像管和光电导型摄像管的区别是：前者有移像区，后者没有。移像区是一个加速电场,靶网电极与聚焦电极2连接,作用是形成均匀电场,使电子束减速并在整个靶面上都能垂直上靶。,第二类是利用内光电效应进行光电转换的摄像管，称为光电导型摄像管（简称视像管）,靶网电极起什么作用?,注入型,阻挡型,从电子枪发射出来的电子束依次沿着靶面扫描，扫描线经过某一点的时间只占扫描整个光敏面所需周期的极小部分（0.062）,为了提高检测灵敏度，每个像素在扫描周期内应不间断地对转换

16、后的电量进行积累，这时靶又起到了积累存储光电信息的功能；当电子束依次沿着靶面扫描，将靶面的电位起伏顺序地转变成视频信号输出，就完成了扫描输出的功能。,光电变换和光电信息的积累和储存功能都由光电导靶来完成。当被摄景物的光学图像通过物镜成像到摄像管上时，由于光电导靶材料的光电导作用，在靶面上就建立起与入射光照度分布相对应的电位图像，这就完成了光电变换的功能。,2.摄像管的结构和工作原理,摄像管具有三个基本功能：光电变换、光电信息的积累、储存及扫描输出。,光电导型摄像管包括：光导靶和电子束扫描区；,1.被摄景物经过变焦镜头成像在靶面上，引起靶面各点像素的电阻率发生变化，从而在扫描面上，产生相应的起伏

17、电位，形成电荷图像。,光电变换和光电信息的积累和储存功能分别由光电阴极和存储靶完成，其间间隔一个移像区。,2.通过电子来扫描逐点填平靶面上的电位起伏，而填平过程中从靶电极流过的电流便包含了图像信息，形成视频信号输出。,慢电子束扫描：由于靶面导电极上加的电压比网电极上加的电压低得多，在靶与网之间形成一个很强的均匀减速电场，使电子束经过网电极后作减速运动，最后以接近于零的速度垂直上靶，这种情况称为慢电子扫描。,移像区的作用：使光电阴极产生的光电子在运动过程中获得能量而加速，以便在靶上产生更多的电荷，提高摄像管的响应率。在靶面电位图像建立后由电子枪用慢电子束扫描而获取视频信号。,光电发射型摄像管包括

18、:光电阴极、移像区、存储靶和电子束扫描区四部分。,那么什么是慢电子束扫描?,慢电子扫描优点：对靶面的轰击作用小，不会发生二次电子发射，对管子寿命有延长作用。,摄像管的工作原理?,目前生产的视像管大都采用阻挡型靶，由于PN结的存在，降低了暗电流，使靶的性能有所改进而获得广泛应用。,视像管:属于光电导型靶，其厚度约几微米到20微米；主要作用：完成光学图像的光电转换和信号电荷的积累和存储，适合视像管靶的材料必须具有电荷的存储功能，要求靶上每个像素的驰豫时间远大于储存时间。,摄像管的关键器件是靶，光电导型摄像管和光电发射型摄像管的靶的作用、结构均不相同,四 光导靶和存储靶,1.视像管靶,工作原理:工作

19、时靶上加10V左右的反向偏压。无光时，电子枪扫描P区时使之达到阴极电位，这时PN结反偏，耗尽层变宽,因此仅有暗电流存在;,每个P型岛与N型衬底之间即形成一个PN结,每个PN结就是一个光电二极管。最后再在SiO2和P型岛表面上蒸涂上一层电阻率适当的材料，通常称为电阻海。,硅靶窗口玻璃内表面涂有一层很薄的金属膜(SnO2:呈N+,透明,导电)，在它上面接有引线可同负载相连，称为信号板。,挨着信号板的是一块N型硅片；硅片朝着阅读电子的表面，先生成一层SiO2，接着利用光刻技术在SiO2上光刻成几十万个小孔，再通过掺杂使每个小孔都变成P-Si。大量小孔P-Si被SiO2隔离，称为P型岛。,(1).硅靶

20、,硅靶具有光谱响应范围宽，量子效率高，抗烧伤能力强等优点。,阅读电子扫描P区时，其电位被拉到阴极电位，产生的光电流流过负载形成与光学图像对应的视频信号。,硅靶结构:,光照时：光透过SnO2到达N硅片上，激发大量电子-空穴对,电子被信号板引走,空穴在内电场作用下到达P区表面，此处电位升高,其幅度和光照度成正比，形成电位图像,PbO靶玻璃内壁是一层金属膜(SnO2:呈N+,透明,导电)作为信号板，接着就是PbO靶，靶的成像面为N-PbO，扫描面为P-PbO，两者之间夹着一层很厚的疏松度为50%的本征I-PbO，因而具有PIN结构。,工作时，信号板通过负载和靶电源的正极相接,电子枪的热阴极接地,当阅

21、读电子束扫描靶面时,相当于对PIN进行反偏置。靶电源电压约45V左右,无光照时,暗电流小?,(2)氧化铅靶,强调:它的轴向(平行电场的方向)电阻较小,横向(垂直电场的方向)电阻很大；其结果是可使扫描面上的电势起伏(与靶面的光照度对应)保持较长时间不变。,结构:,有光照时,PbO靶具有光信息的存储功能,为什么?,氧化铅靶是由PbO材料制成的，结构和工作过程都与硅靶类似,(3).异质结靶,对异质结光电导靶的基本要求：既要有高的光电灵敏度,又要有高的电阻率;一般来说一种材料很难两全。因此，可以选择两种材料来组合；,异质结靶结构：窗口玻璃+SnO2薄膜信号层+靶材料；,组合方法：将光电灵敏度高的材料作

22、为靶的主体层,而将电阻率高的材料作为覆盖层,构成双层结构；,组合结果：让光电转换和电荷积累两种作用分别由两种材料完成。,第1层与第2层之间形成异质结；第2层与第3层之间不形成结。,玻璃,碲化锌镉(ZnCdTe)靶,ZnCdTe靶原理图,碲化锌镉靶为3层结构靶,N,P,光电转换层,SnO2紧贴玻璃,属于N+型,透光,导电.作为信号板,第3层：无定形三硫化二锑Sb2S3，厚100nm；其作用是减小扫描电子束的电子注入效应，减小暗电流和惰性。,第2层：碲化锌和碲化镉的固溶体（ZnxCd1-xTe），属于P型半导体，厚35m；光电效应主要发生在该层，x值的大小对灵敏度、暗电流和光谱特性都有较大的影响，

23、x值小，灵敏度高，体内暗电流增大，光谱特性的峰值波长向长波方面移动；,第1层：ZnSe层属于N型半导体，厚50100nm；无光电效应，其作用是增强对短波光的吸收，提高整个可见光区的灵敏度。另外它也阻止光生空穴向成象面一边扩散，有提高灵敏度，减小暗电流的作用；,第1层：沉积在玻璃板上的透明的导电层SnO2，作信号电极,属N+；,第4层：As2S3层是靶的扫描面，是在高空状态下气湘沉积而成，呈玻璃态，厚0.2微米；是一个高阻层，禁带宽度为2.3eV，具有很高的电阻率。其作用是防止电子进入靶内，形成对电子的阻挡层，并且承担电荷的积累和储存。,N+,N,硒化镉(CdSe)靶,CdSe靶原理图,硒化镉靶

24、有4层结构,玻璃,光电转换层,第3层：亚硒酸镉(CdSeO3)层是由CdSe 氧化而成,是一层绝缘体,有利于降低暗电流,但不影响光电灵敏度；,第2层：是N型CdSe层,它与N+型层SnO2构成对空穴的阻挡层；CdSe层是异质结CdSe靶的基体，厚2微米；是完成光电转换的光敏层，其禁带宽度为1.7eV，具有良好的光电导特性；,当加速电压为8kV时，增益为多少？,第2层是铝膜，厚50nm，起信号板作用，通过负载电阻和靶电源的正极相接；,第1层是Al2O3膜，起机械支撑作用，厚5070nm；,当光电阴极发出来的光电子被加速后打到靶上时，靶将产生二次电子发射,这些二次如何形成图象信息呢?,导电方式：不

25、是利用材料导带中的电子或价带中的空穴，而是依靠二次电子导电的，故称它为二次电子导电靶。实验证明，靶的电子增益与一次电子的加速电压有关。,在慢电子束扫描下，靶的扫描面稳定在零电位，因此靶的两面承受着一定的靶电压。,第3层是KCl层，密度为固体KCl的12%厚1520m；其中大部分是气隙，每30eV激发1个二次电子,电子在间隙真空里传导。因此，SEC靶图像是由正电荷组成、是体分布。,2.光电发射型摄像管靶-存储靶,(1).二次电子传导靶（SEC）,阅读电子如何读出信号呢？,-5-13kV,网电极,加速电压为8kV时增益最大,穿透Al2O3和Al膜消耗2keV，2keV消耗于穿透SEC靶，能产生二次

26、电子的能量为4keV,阴极电子经控制级后被加速，到网电极时具有最大速度，之后减速上靶并补充其失去的电子，同时把扫描点的电势拉回到零。输出回路中产生视频信号。,二次电子的少部分与正离子复合，大部分在靶电场作用下流向信号板，在靶的扫描面留下一个正电势图像,理论计算表明:能量为3.43.5eV的光子,可产生1个电子-空穴对.如果移像区的电压为10kV,则每个入射电子可产生28002900个电子空穴对.由于表面和体内的复合以及收集率原因.实际的电子增益为2000倍.可以看出改变移像区的电压可改变靶的电子增益.,(2).增强硅靶（SIT）,SIT靶和靶结构基本相同。区别是在电子入射侧加镀一层厚几百埃的铅

27、膜，以屏蔽杂散光。从光电阴极发射出来的光电子，在高压作用下轰击硅靶，使靶内产生电子-空穴对。,增强硅靶灵敏度一般比硅靶大二个数量级，约为40A/lx，硅靶不易烧伤，寿命长。,摄像管的灵敏度表示在一定光通量 照射时摄像管输出信号电流Is的大小。,五.摄像管的特性参数,1.摄像管的特性参数,(1)灵敏度,(2)光电转换特性,光电导摄像管的 值小于1，Sb2S3管的 值为0.60.7，PbO管的 值为0.95，而硅靶管的 接近于1。,曲线斜率 值表征摄像管对图像灰度（色调）传递性能，也称 特性。对摄像管来说，决定于光电转换部件的特性。,摄像管灵敏度S可用下式表示：,有时也采用“线对/mm”的单位，它

28、等于可分辨的电视行数一半除以靶的有效高度（mm）。例如25mm的视象管，靶面的有效高度约为10mm，若可分辨的最多电视行数为400时，相当于20线对/mm。按这种方法表示的分辨率称为极限分辨率。,在电视中，通常是指在光栅高度范围内可分辨的最多电视行数（TVL/H）,（3)分辨率,分辨率表示能够分辨图像中明暗细节的能力，分辨率通常用两种方式表达，即极限分辨率和调制传递函数（MTF）。,1）极限分辨率,在最佳照度下，使高对比度的黑白相间条形图案投射到摄象管的光敏面上，然后在监视器上去观察可分辨的最高空间频率数。,调制传递函数（MTF）是在调制度的基础上提出的。调制度M是无线电学中的概念，引用到光学

29、中来可以说它是对比度。M的定义是，光信息的最大值A与光信息最小值B之差对A、B之和的百分比。MTF的定义是，输出调制度Mo与输入调制度Mi之比的百分数，即 MTF=(A-B)/(A+B)100%,2）调制传递函数（MTF）,图象在传送过程中，调制度M是随空间频率的增大而减小的。如果把调制度的损失程度以百分数表示（以零频时的调制度为100%），则调制度与空间频率的关系曲线，就是调制传递函数。,传递函数MTF能用仪器测量，并规定调制深度为10%的线数称为摄像管的极限分辨率。,摄像管的惰性是指输出信号的变化相对于照度的变化有一定的滞后。它反映了像管的瞬态响应特性。由于惰性的存在，遮光后摄像管的输出电

30、信号是逐渐变小的，通光后电信号是逐渐增大的，所以惰性包括衰减惰性和上升惰性。,(4)惰性,产生惰性的原因：,二是电容性惰性，它是由靶的充放电时间的延迟造成的。,一是光电导惰性，表现为光电导体电导率的变化滞后于照度的变化，对光电阴极来说，此惰性可忽略不计；,(6)动态范围,摄像管能处理的最高照度值与最低照度值之比称为摄像管的动态范围。动态范围的下限受噪声的限制，上限则受到靶面像元存贮信息容量的限制。,没有光照情况下摄像管输出的电流称为暗电流。,(5)暗电流和噪声,视像管，前置放大器和负载电阻的热噪声往往成为主要噪声。光电发射型摄像管，由于信号电子经过了倍增，管内噪声也同时放大，于是前置放大器噪声

31、就不再是主要噪声源。,噪声是由输入图像的光量子噪声、光电阴极量子噪声、靶面热噪声、电子束散粒噪声、管内倍增噪声及前置放大器噪声等组成。,对于视像管来说，暗电流的来源是靶材料的暗电导，它由靶的材料和工艺决定。,六.摄像管的发展方向,摄像管的总的发展趋向是高灵敏度、高像质和小型化。,目前各国都在研制超小型,高性能的摄像管,以便适应小型显微镜和小型电视监视系统对摄像机的需要。,在拍摄低照度景物时，需要超高灵敏度的摄像管，一般有以下几种形式的连接：,一种超小型1/2英寸高性能摄像管,管径只有14mm,管长为67.5mm,采用磁聚焦、静电偏转形式。优点是灵敏度高、分辨率好。,思考题:,1.像管的主要功能是什么?摄像管的主要功能是什么?,2.像管的基本组成是什么?每部分的主要功能是什么?,3.什么是第1代,第2代,第3代，第4代像增强器?,4.摄像管的工作原理是什么?,5.碲化锌镉靶由哪几部分组成?每部分的作用是什么?,作业:P144,6-3,6-5,本章结束,6.硒化镉靶由哪几部分组成?每部分的作用是什么?,