秦皇岛本征晶体科技有限公司高功率半导体器件用CVD金刚石衬底的产业化项目竣工环境保护验收报告.docx
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1、秦皇岛本征晶体科技有限公司高功率半导体器件用CVD金刚石衬底的产业化项目竣工环境保护验收报告建设单位:秦皇岛本征晶体科技有限公司编制单位:秦皇岛本征晶体科技有限公司2022年9月目录第一部分验收监测报告表第二部分专家验收意见第三部分情况说明及附图、附件第一部分验收监测报告表秦皇岛本征晶体科技有限公司高功率半导体器件用CVD金刚石衬底的产业化项目竣工环境保护验收监测报告表建设单位:秦皇岛本征晶体科技有限公司 编制单位:秦皇岛本征晶体科技有限公司 编制日期:2022年9月建设单位:秦皇岛本征晶体科技有限公司法人代表:王文宝编制单位:秦皇岛本征晶体科技有限公司法人代表:王文宝项目负责人:姜美燕建设单
2、位:秦皇岛本征晶体科技有限公司联系电话:邮 编:066000地 址:秦皇岛经济技术开发区西湖路1号编制单位:秦皇岛本征晶体科技有限公司联系电话:邮 编:066000地 址:秦皇岛经济技术开发区西湖路1号项目名称高功率半导体器件用CVD金刚石衬底的产业化项目建设单位名称秦皇岛本征晶体科技有限公司建设项目性质扩建建设地点秦皇岛经济技术开发区西湖路1号主要产品名称金刚石衬底、金刚石晶体材料及元器件设计生产能力多晶金刚石衬底IOO万平方毫米,金刚石晶体材料及元器件50万平 方毫米实际生产能力多晶金刚石衬底100万平方亳米,金刚石晶体材料及元器件50万平 方毫米建设项目环评 时间2022年6月开工建设时
3、间2022年7月调试时间/验收现场检测 时间2022年8月29日至30日环评报告表审 批部门秦皇岛经济技术开 发区行政审批局环评报告表 编制单位秦皇岛德百环境科技有限 公司环保设施设计 单位秦皇岛本征晶体科 技有限公司环保设施施工 单位秦皇岛本征晶体科技有限 公司投资总概算5000万元环保投资总概 算10万元比例0.2%实际总投资5000万元环保投资10万元比例0.2%验收检测依据1、中华人民共和国环境保护法(2015年1月1日)2、中华人民共和国环境影响评价法(2018修正版)(2018 年12月29日)3、中华人民共和国大气污染防治法(2016年1月1日)4、中华人民共和国环境噪声污染防治
4、法(2018年修正)5、中华人民共和国水污染防治法(2018年1月1日)6、中华人民共和国固体废物污染环境防治法(2020年9 月1日)7、建设项目环境保护管理条例(2017年10月1日)8、建设项目环境影响评价分类管理名录(2018年4月28 日)9、河北省环境保护条例(2016年9月22日)10、国务院令第682号,建设项目环境保护管理条例(2017 年10月)11、建设项目竣工环境保护验收暂行办法(国环规环评20174号)12、冀环办字函2017727号建设项目环境影响评价文件审批 及建设单位自主开展环境保护设施验收工作指引的通知(2017年 11月24日)13、生态环境部公告2018年
5、第9号建设项目竣工环境保护验 收技术指南污染影响类(2018年5月16日)14、秦皇岛本征晶体科技有限公司高功率半导体器件用CVD 金刚石衬底的产业化项目环境影响报告表(2022年6月编制)15、秦皇岛本征晶体科技有限公司高功率半导体器件用CVD 金刚石衬底的产业化项目环境影响报告表审批意见(2022年7月 21日,取得了秦皇岛经济技术开发区行政审批局批复(秦开审批环 表2022第 49 号)。1、废气项目运营期厂界颗粒物执行大气污染物综合排放标准 (GB16297-1996)表2与秦皇岛市人民政府办公室关于执行钢铁 等行业大气污染物特别要求的通知(2021-10)中无组织限值要求 0.3 m
6、gm3 o食堂油烟满足秦皇岛市大气污染防治总体实施方案(秦皇 岛市生态环境局2019年10月)浓度Lomg/m3, 75%限值,同时 满足饮食业油烟排放标准(试行)(GBl8483-2001 )o验收检测评价 标准、标号、 级别、限值2、噪声设备噪声排放执行工业企业厂界环境噪声排放标准 (GB123482008)中的 3 类标准,昼间65dB(A),夜间55dB(A)3、固体废物一般工业固体废物执行防流失、防渗漏、防扬尘措施和一般工 业固体废物执行一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准 (GB18599-2020);危险废物处置执行危险废物贮存污染控制标准 (GB18597-2001)及修改单
7、规定。4、废水项目废水排放浓度执行污水综合排放标准(GB8978-1996)表4三级标准及秦皇岛市第三污水处理厂收水标准。表1.1污水排放标准单位:mgL项目污水综合排 放标准(GB 8978-1996)表 4 三级标准污水处理厂进水水质本项目执行标准值CODcr500450450SS400200200NH3-N/3636PH69/69表2项目工程分析 工程建设内容1、项目由来2022年6月秦皇岛本征晶体科技有限公司委托秦皇岛德百环境科技有限公司编 制秦皇岛本征晶体科技有限公司高功率半导体器件用CVD金刚石衬底的产业化项 目环境影响报告表,2022年7月21日,取得了秦皇岛经济技术开发区行政审
8、批局 批复(秦开审批环表2022第49号)。项目于2022年8月建设完成并进入试运行阶段。2022年8月29日至30日,河 北欣蓝环境科技有限公司对该项目进行验收检测,检测报告见附件。对照建设项目竣工环境保护验收暂行办法、建设项目环境影响评价文件 审批及建设单位自主开展环境保护设施验收工作指引(试行)、建设项目竣工 环境保护验收技术指南污染影响类、本项目环境影响报告表和审批部门审批决定 等要求对本项目进行验收。因此根据检测报告与环境影响评价报告表及其审批意见, 秦皇岛本征晶体科技有限公司编制本秦皇岛本征晶体科技有限公司高功率半导体 器件用CVD金刚石衬底的产业化项目竣工环境保护验收报告。2、项
9、目概况2.1 项目名称高功率半导体器件用CVD金刚石衬底的产业化项目2.2 建设单位秦皇岛本征晶体科技有限公司2.3 建设性质扩建2.4 建设地点秦皇岛经济技术开发区西湖路1号,厂址中心位置坐标:北纬39。5616.751, 东经 119o30,5.872,o2.5 周边环境及敏感点项目西侧为西湖路、南侧为龙海道,东侧为卡尔凯旋木艺品有限公司,北侧为 秦皇岛荣科玻璃有限公司,西北侧为盛森机械制造有限责任公司、秦皇岛三农机械 设备有限公司。2.6 工程总投资项目总投资5000万元,其中环保投资10万元,占总投资的0.2%。2.7 劳动定员及工作制度本项目新增10名工作人员,一班制(8小时),年工
10、作300天,但生长部每日 有1名夜班人员(依托现有工程的值班人员)。2.8 建设规模扩建项目在现有厂房内建设,新增生产设备。本项目年产多晶金刚石衬底100 万平方毫米,金刚石晶体材料及元器件50万平方毫米。3、项目组成本项目组成见下表表21项目组成一览表项 目项目组成扩建项目工程内容一致性主体工程1号厂房1号厂房为两层,1109.6m?。本项目在抛光车间内新 增研磨、抛光、电脑、倒角设备,在冷加工车间内新 增包装机、切割机、磨边机,在1楼北侧增加工作台 并拆除部分现有设备。一致2号厂房利用现有厂房,占地面积为576 f,购置高端应用卤 化物晶体材料及器件生产、加工、检测等主要设备, 建设产品生
11、产线。本项目主要拆除现有设备。一致3号厂房3号厂房为两层,建筑面积4235 T,本项目增加退火 炉、干燥箱,并拆除现有设备。一致4号厂房设置抛光车间和镀膜车间,总建筑面积为1300 本 项目主要在抛光车间增加干涉仪、加湿器,并拆除现 有设备。5号厂房设置中长波红外光学晶体和闪烁晶体车间,建筑面积 为1296户,本项目主要拆除现有设备。一致公用工程供水供水由泰盛水务统一供水一致供电供电由当地电网供给一致供热冬季办公室使用空调供暖一致环保工程废气治理厨房油烟采取油烟净化器处理+高于屋顶0.5m排气筒一致废水治理职工废水(包括生活污水和食堂废水),食堂废水经 隔油池处理后与生活污水汇入化粪池后经污水
12、管网排 至秦皇岛市第三污水处理厂进一步处理一致晶体冷却水、抛光、切割、研磨、倒角、磨边水循环 使用,不外排一致噪声防治采取将产噪设备布置于厂房内并加隔声门窗,振动设 备加减震垫的隔声降噪措施一致固体废物般工 业不合 格品、 废料抛光、研磨、倒边、切割产生的不合格品、废料先返 回原工序重新利用,再次出现的不合格品作为样品展 示一致循环研磨、抛光的沉渣统一收集、回收利用于研磨、抛光一致一固废水箱 沉渣工序,切割、倒角、磨边工序产生的沉渣外售办公生活活圾 生垃集中存放,由环卫部门统一处理一致辅助工程办公区项目办公区位于办公楼1-3层,办公区建筑面积为 1675.275 m1一致4、E要生产设备本项目
13、有新增和拆除生产设备,设备一览表如下表: 表2-2生产设备一览表新增生产设备序号名称规格型号数量(台)位置一致性1退火炉立式23#厂房一致2研磨机PO6B1M-5P-C L61号厂房抛光车间一致3抛光机PO9B1M-5P-C L31号厂房抛光车间一致4联想电脑天逸5IOS11号厂房抛光车间一致5真空包装机390型11号厂房冷加工车间一致6干涉仪/14号厂房抛光车间一致7超声波加湿器QW-012HZD14号厂房抛光车间一致8精密光学倒角机CMO2 型21号厂房抛光车间一致9多线切割机MC 300D1I号厂房冷加工车间一致10磨边机SPCM-Ml11号厂房冷加工车间一致11干燥箱DZF-62102
14、3号厂房生长车间一致12洁净工作台/41号厂房北侧I楼一致/合计/25/一致拆除设备红外光学晶体产业化项目1自动内圆切片机J5060E-2 型11#厂房一致2XL单晶炉650型32#厂房一致3万能外圆磨床M131221#厂房一致4手动内圆切片机BNJ38011#厂房一致5透镜定心磨边机Q85313#厂房一致6晶体生长炉/105#厂房一致7立式内圆切割机QG-HO11#厂房一致8卧式内圆切片机J5060E11#厂房一致9变频调速六轴抛 光机BDL-1D2B41#厂房一致10高精度研磨抛光 机(四轴)GP3011#厂房一致11机械定心磨边机MB0914#厂房一致12XL单晶炉BRlOOO13#厂房
15、一致13外圆磨边机/11#厂房一致14自制倒角机/11#厂房一致15压杆磨抛机SBC6011#厂房一致16双面研磨抛光机/11#厂房一致光电功能材料及器件研发与产业化项目氟化物晶体17自动内圆切片机J5060E-2 型11#厂房一致18测径仪-测外径定制LDM-IOOl-C11#厂房一致19晶体磨圆机/11#厂房一致20平面磨床MYH25011#厂房一致21平面磨抛机FD-6B11#厂房一致年产15吨高硬度红外光学材料与器件的研发及智能产业化项目22高温箱式炉KSS-IOOOoC11#厂房一致23万能外圆磨床M141441#厂房一致24金刚石线切割机XQ-120131#厂房一致25下摆精磨抛光
16、机ZJP0.521#厂房一致26平磨机13B-6LP-3Q11#厂房一致27影像测量仪VMS-3020G2影像测量仪一致28G150激光干涉仪G1502G150激光干涉仪一致29修盘机-11#厂房一致30单轴磨透镜抛机JP350A11#厂房一致31激光平面干涉仪XQ15-GIII44#厂房一致32低温试验箱DW-60-8034#厂房一致5、主要原辅材料消耗项目主要原辅材料消耗情况表2-3主!见下表:更原辅材才桦、能源消耗一览表项目序号名称规格用量单位一致性原辅料1金刚石/3.2Kg一致2金刚砂1.3um2Kg一致3金刚砂/1Kg一致4真空泵油/16Kg一致能源1电/10万kW h一致2水/13
17、8.585m3一致6、产品方案年产多晶金刚石衬底IOO万平方毫米,金刚石晶体材料及元器件50万平方毫米。7、水资源及能源消耗情况7.1、 给排水(1)给水:扩建项目水源由泰盛水务统一供给,由于拆除了部分设备,有拆除 相应的循环水箱,因此现有工程可调剂水量为ll.lm3a,扩建项目年用水为149.685m 3a,新增新水用量为138.585a生活用水:本项目新增劳动定员为10人,根据2021年河北省用水定额,按 照每人每天用水量为40L计算,则职工用水量(包括生活用水、食堂用水)为0.4m 3d (120m3a) o生产用水:年用水总量为29.685m3a,日用水量为0.098950?/d。本项
18、目研磨机、抛光机所用水桶为635CmX23Cm (0.022m3),共9个,则循 环水量为0.198md,日补充水量为0.0198m3d (5.94m3a);倒角机所用水桶为4 28cmllcm (0.007m3),共2个,则循环水量为OQMnMd,日补充水量为0.0014m 3 /d (0.42m3/a);切割机循环水箱尺寸为 150cm 1 OOcm50cm (0.75m3),共 1 个,则循环水量为0.75m3d,日补充水量为0.075m3d (22.5m3a);磨边机循环水 箱尺寸为 40CmX25CmX27.5Cm (0.0275m3 ),共 1 个,则循环水量为 0.02750?/
19、d, 日补充水量为0.00275m3/d (0.825m3a)。则本项目补充水量约为0.09895m3d (29.685m3a)。(2)排水本次扩建项目职工废水(包括生活污水和食堂废水)产生量按照80%计算,为 0.32m3d (96m3a) o食堂废水经隔油池处理后与生活污水汇入化粪池后经污水管网 排至秦皇岛市第三污水处理厂进一步处理。生产废水:本项目生产水均循环使用,不外排。图1本项目水平衡m3a7.2、 供电企业供电由当地电网统一供给,新增用电量为10万kw-h,依托厂区内现有的 供电设施,能够满足日常生产及生活用电。7.3、 供暖本项目冬季生产、办公采用空调供暖。主要工艺流程及产污环节
20、1、工艺流程图本项目的产品虽然为多晶金刚石衬底和金刚石晶体材料及元器件两种产品,但 其生产线均为一条,具优异指标的产品为金刚石衬底产品,另一部分为金刚石晶体 材料及元器件产品。那酥、睁、小癖 娜 g4 K娴环原料 退火 r*切割r倒边)?I?Ii冷却泉i r? :I :水循环 I 水循环. IT睇、E好 麻、丽图2工艺流程图(1)退火按订单要求进行退火工序。将晶体块料投入到晶体炉中进行退火,退火炉最高 温度为950,保持60h左右,自然冷却。选取一部分合乎客户需要的晶体,比如具 有优异的表面粗糙度、翘曲度指标,为金刚石衬底产品毛坯料;另一部分作为金刚 石晶体材料及元器件产品的毛坯料。此工序产生
21、噪声。(2)切割根据订单要求,采用切割机将晶体毛坯切割成不同大小的半成品。此过程切割 机为湿式加工,有循环水箱,产生的边角料可以继续加工为更小尺寸半成品,最后 余下的残渣作为原料二次生长。此工序产生噪声、少量颗粒物和循环水箱内沉渣。(3)倒边、研磨检验合格后的毛坯经过倒角、磨边后使晶体边缘变得光滑,晶体毛坯表面不均 匀,将晶体毛坯放置在研磨机中进行研磨,倒边、研磨采取湿式加工,根据倒边、 研磨质量的不同要求选用不同颗粒的金刚砂进行研磨,去除表面不均匀部分。此过 程产生的废金刚砂经沉淀后回收利用。废水经研磨机自带的水箱循环使用,定期补 充损耗,不外排。此工序产生噪声、少量颗粒物和循环水箱内沉渣。
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